日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター / デジタル指示計

ALICAT（アリキャット）本社ホームページ ALICAT正規代理店
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弊社はALICAT（アリキャット）社の正規代理店としてマスフローメーター、マスフローコントローラー、コリオリ式流量計、液体用流量計などの製品を販売しております。
相対湿度センサーオプション追加で、湿度補正することが可能。ガスミキシング販売、Equilibar社製レギュレーター販売も行っております。 詳しくはお見積もり／ご相談下さい。
2024.10.13 ：納期と納品時期に関するお知らせ

アリキャット製品の以下モデルの納期は 約４週間 となります。
フルスケール 2 mL/min 〜 500 L/minの標準仕様のモデル　(M/MBシリーズ)
フルスケール 2 mL/min 〜 100 L/minの標準仕様のモデル　(MCシリーズ)
フルスケール 2 mL/min 〜 100 L/minの低圧力損失のモデル　(MW/MWBシリーズ)
フルスケール 2 mL/min 〜 2 L/minの低圧力損失のモデル　(MCWシリーズ)
※コントローラーは圧力条件によりますのでお問合せ下さい。

それ以外のモデルの納期は 約２〜３ヶ月 となります。　詳しくはお見積もり／ご相談下さい。
ご注文の製品は入荷次第、順次発送させて頂きます。指定納期がある場合は、ご注文時に必ずお知らせ下さい。

イクイリバール製品の納期は 約６週間〜 となります。 詳しくはお見積もり／ご相談下さい。

  • インフォメーション
  • コリオリシリーズ
  • ベイシスシリーズ
  • イクイリバール

差圧センサーを搭載したラミナーフロー方式

流体が内部層流素子を流れると流体の持つ粘性により圧力降下が起き、上流圧と下流圧の圧力差から体積流量を算出します。 高精度な流量制御／高速応答制御を可能にし、あらゆる市場において注目を集めています。

Youtubeで見る

▼Youtubeで英語の動画を日本語の翻訳字幕を設定する方法　

NEWS

  • オプション

    2024.10.1


    相対湿度センサーオプションが追加になりました。

    [ 相対湿度センサーオプションがリリース ]
    湿度補正をすることで、より正確に測定出来ます。

    ＞詳しくはお問合せ下さい

  • 新製品

    2024.10.1


    本質安全防爆仕様マスフローメーター・コントローラーの販売を開始しました。

    [ IS-Max MFC / MFM ]
    相対湿度センサーオプション搭載可能です。

    ＞詳細はこちらから

  • 新製品

    2024.10.1


    大流量に対応したマスフローメーター・コントローラーを販売しております。

    [ 水素 10000 SLPMに対応 ]
    水素で10000 SLPMの大流量にも対応可能となりました。
    まずはお気軽にお問合せください。

    ＞お問合せはこちらから

  • お知らせ

    2024.8.30

    価格改定についてのお知らせ。 詳細はこちらから

  • 夏期休業

    2024.8.1

    平素は格別のご愛顧を賜り、厚くお礼申し上げます。
    誠に勝手ながら、下記の期間を夏期休業とさせていただきます。
    2024年8月13日（火）〜2024年8月16日（金）
    夏期休業はご不便をお掛け致しますが、何卒ご寛容下さいますようお願い申し上げます。

  • お知らせ

    2024.07.31

    新製品紹介：
    熱式流量計[BASISシリーズ]が新しくなりました。
    MEMSセンサーを使用し、直接流れるガスの温度を測るので、すばやく正確な温度の読み取りができます。 ＞詳しくはこちらから

  • お知らせ

    2024.04.01

    展示会・メディア情報：
    過去の展示会出展情報ページ・メディア掲載情報ページを追加しました。
    ＞詳しくはこちらから

  • お知らせ

    2024.2.20

    オプション＆アクセサリーページにAlicat機器の通信オプションの詳細の掲載と
    ソフトウェアおよび通信機能に関するyoutube動画を公開しました。
    ▼Alicat機器の通信オプション ＆ ソフトウェアおよび通信機能に関するyoutube動画
    ▼Alicat機器の通信オプションマニュアルはこちらからダウンロード

  • お知らせ

    2024.2.14

    よくあるご質問のページに情報追加しました。
    ・ALICAT製品の通信方式についてを掲載。▼質問 Q30
    ・PLC製品とALICAT製品間でのEtherNet/IP通信についてを掲載。 ▼質問 Q31

  • 展示会

    2024.1.31〜2.2

    IIFES2024Alicat社製コリオリ式流量計、Fusion Flow Technologies社製ガスミキサー、Equilibar社製レギュレーターを出展しました。ご来場ありがとうございました。
    ＞展示会の様子はこちら

  • お知らせ

    2024.01.19

    展示会・メディア情報：
    過去の展示会出展情報ページ・メディア掲載情報ページを追加しました。
    ＞詳しくはこちらから

  • 冬季休業

    2023.12.20

    平素は格別のご愛顧を賜り、厚くお礼申し上げます。
    誠に勝手ながら、下記の期間を冬季休業とさせていただきます。
    2023年12月29日（金）〜2024年1月5日（金）
    冬季休業はご不便をお掛け致しますが、何卒ご寛容下さいますようお願い申し上げます。

  • お知らせ

    2023.12.6

    イクイリバール製品に関する資料。ダウンロードはこちら
    アリキャット製品に関する資料。ダウンロードはこちら
    フュージョンフロー製品に関する資料（英語版）。ダウンロードはこちら

  • 展示会

    2023.12.6

    IIFES2024 東京ビッグサイト 西ホール / 2024年1月31日(水)〜2月2日(金)出展。
    日本スターテクノ株式会社：リアル展 小間番号 1-73

  • お知らせ

    2023.10.20

    納品時期に関するお知らせ：
    標準モデル以外の納期は 約2〜3ヶ月 ですが、製品の種類によっては納品時期が早まっています。 ご注文の製品が入荷次第、順次発送させて頂きます。
    指定納期がある場合は、ご注文時に必ずお知らせ下さい。

  • お知らせ

    2023.10.2

    納期短縮のお知らせ：
    標準モデルの納期は現在 約4週間 。
    それ以外のモデルの納期は 約2〜3ヶ月 です。　詳しくはお見積もり下さい。

  • お知らせ

    2023.10.2

    米国Equilibar社製レギュレーターの販売を開始しました。

    [背圧レギュレーター]
    摩擦のない安定した動作を実現。
    ＞詳細はこちらから

    ＞お問い合わせはこちらから

    ▼公式WEBサイトはこちら
    Equilibar社

  • メディア

    2023.10.02

    Fusion Flow製品情報の記事が掲載されました。
    日刊工業新聞_9月29日モノづくり面

  • お知らせ

    2023.9.1


    Fusion Flow Technologies社製品(ガスミキシング製品)の販売を開始しました。

    [MXM精密ガスミキサー]
    最大10種類のガスのブレンドを簡単に行えます。
    ・データシート　・製品パンフレット[英語版]
    ＞詳細はこちらから

    [IMX工業用ガスミキサー]
    高流量の施設、大規模な商業規模の運用に最適。
    ＞詳細はこちらから

    ▼公式WEBサイトはこちら
    Fusion Flow Technologies社

  • 夏期休業

    2023.8.10

    平素は格別のご愛顧を賜り、厚くお礼申し上げます。
    誠に勝手ながら、下記の期間を夏期休業とさせていただきます。
    2023年8月14日（月）〜2023年8月16日（水）
    夏期休業はご不便をお掛け致しますが、何卒ご寛容下さいますようお願い申し上げます。

  • 展示会

    2023.8.1

    日本スターテクノ株式会社：IIFES2024 東京 / 日本
    2024年1月31日(水)〜2月2日(金)出展予定。

  • お知らせ

    2023.7.3

    納期短縮のお知らせ：
    標準モデルの納期は現在 約1ヶ月 。
    それ以外のモデルの納期は 約3ヶ月 です。　詳しくはお見積もり下さい。

  • お知らせ

    2023.5.29

    納期のお知らせ：
    標準モデルの納期は現在約1ヶ月で、ＨＣ(高精度)オプションも選択可能となりました。
    精度の詳細はこちら（マスフローメーター精度／マスフローコントローラー精度）
    それ以外のモデルの納期は 約3.5ヶ月 です。　詳しくはお見積もり下さい。

  • お知らせ

    2023.5.12

    本社移転のお知らせ。 詳細はこちらから

  • お知らせ

    2023.4.3

    納期短縮のお知らせ：
    標準モデルの納期は現在 約1ヶ月 。
    それ以外のモデルの納期は 約3.5ヶ月 です。　詳しくはお見積もり下さい。

  • お知らせ

    2023.2.3

    納期短縮対応モデル範囲拡大のお知らせ：
    標準仕様のモデル(M/MBシリーズ)の範囲がフルスケール 2 mL/min 〜 500 L/min
    低圧力損失のモデル(MW/MWBシリーズ)の範囲がフルスケール 2 mL/min 〜 100 L/min と拡大されました。
    納期は 約1ヶ月 となります。　詳しくはお見積もり下さい。

  • お知らせ

    2023.1.6

    納期短縮のお知らせ：
    標準モデルの納期は現在 約1ヶ月 。
    それ以外のモデルの納期は 約4ヶ月 です。　詳しくはお見積もり下さい。

  • 特設ページ

    2022.12.23

    ALICATの流量計が選ばれる特徴について
    詳細はこちらから

  • 冬季休業

    2022.12.15

    平素は格別のご愛顧を賜り、厚くお礼申し上げます。
    誠に勝手ながら、下記の期間を冬季休業とさせていただきます。
    2022年12月29日（木）〜2023年1月5日（木）
    冬季休業はご不便をお掛け致しますが、何卒ご寛容下さいますようお願い申し上げます。

  • お知らせ

    2022.10.14

    お問合せ回答に関するお知らせ：
    現在、多くのお問合せを頂いており、回答にお時間を頂いております。
    順次対応してまいりますので、ご了承下さい。

  • お知らせ

    2022.10.12

    納期短縮対応モデル範囲拡大のお知らせ：
    標準仕様のモデルの範囲がフルスケール 2 mL/min 〜 100 L/min
    低圧力損失のモデルの範囲がフルスケール 2 mL/min 〜 2 L/min と拡大されました。
    納期は 約1ヶ月 となります。　詳しくはお見積もり下さい。

  • お知らせ

    2022.8.31

    納期短縮対応モデルの現在納期のお知らせ：
    納期短縮対応モデルの納期は現在 約1ヶ月 となります。　詳しくはお見積もり下さい。

  • コラム

    2022.8.23

    現在注目されている、HPHT法 および CVD法 を用いた人工ダイヤモンド製造においてALICAT製品のマスフローメーター・コントローラーが活用できます。
    ・人工ダイヤモンド製造のための HPHT法 および CVD法 について（英語サイト）
    ・人工ダイヤモンド製造のためのALICAT製品について（英語サイト）

  • お知らせ

    2022.8.19

    価格改定についてのお知らせ。 詳細はこちらから

  • お知らせ

    2022.7.8

    納期短縮対応モデル追加のお知らせ：
    低圧力損失のモデルのフルスケール 50 mL/min 〜 1 L/min のモデルが追加されました。
    納期短縮対応モデルの納期は 約1〜1.5ヶ月 となります。　詳しくはお見積もり下さい。

  • お知らせ

    2022.4.15

    半導体製造装置市場向け差圧式マスフローコントローラーの特設ページ作成しました。
    詳細はこちらから

  • お知らせ

    2022.4.1

    ラミナーフロー方式についてのYoutubeを公開しました。
    Youtubeを見る

  • お知らせ

    2022.2.1

    半導体製造装置市場向け差圧式マスフローコントローラーの取り扱いについて。
    半導体製造工程において不可欠なプロセスガスの高精度な流量制御が可能です。
    取り扱いシリーズはこちらから

  • 展示会

    2022.1.26〜28

    IIFES2022コリオリ式流量計を出展しました。
    ご来場ありがとうございました。展示会の様子はこちら

  • メディア

    2022.1.26

    展示会出展の記事が掲載されました。
    日経産業新聞掲載記事1月26日

  • お知らせ

    2021.12.27

    アリキャット製品に関する資料。ダウンロードはこちら

  • 展示会

    2021.12.3

    IIFES2022 東京ビッグサイト 西ホール / 2022年1月26日(水)〜28日(金)出展。
    日本スターテクノ株式会社：リアル展小間番号 1-10

  • 冬季休業

    2021.12.1

    平素は格別のご愛顧を賜り、厚くお礼申し上げます。
    誠に勝手ながら、下記の期間を冬季休業とさせていただきます。
    2021年12月29日（水）〜2022年1月5日（水）
    冬季休業はご不便をお掛け致しますが、何卒ご寛容下さいますようお願い申し上げます。

  • お知らせ

    2021.11.1

    高圧、低流量、様々な特性の流体を正確に測定出来るCODAシリーズ(最大4,000PSIA)。
    CODAシリーズ−コリオリ式マスフローメーター／コントローラーの紹介ページを作成。
    CODAシリーズ紹介ページはこちら　CODAシリーズカタログダウンロードはこちら

  • お知らせ

    2021.10.27

    納期短縮対応モデル追加のお知らせ：
    フルスケール100 mL/minのモデルが追加されました。
    納期短縮対応モデルの納期は 約1ヶ月 となります。　詳しくはお見積もり下さい。

  • お知らせ

    2021.10.15

    納期短縮対応モデルに関するお知らせ：
    フルスケールが200 mL/min 〜 100 L/minの標準仕様のモデルは納期短縮対応中となっています。現在の納期は 約1ヶ月 となります。　詳しくはお見積もり下さい。

  • お知らせ

    2021.10.1

    ALICAT（アリキャット）工場では現在納期1ヶ月となるように準備を進めています。
    2022年以降のご注文は納期が1ヶ月と短縮されます。
    ご迷惑をお掛けいたしますが、ご了承のほどよろしくお願いいたします。

  • お知らせ

    2021.09.16

    新型コロナの影響に関する現在納期のお知らせ：
    現在、世界的に電子部品や鉄鋼の不足が続いており、使用する部材の入荷による納期への影響が深刻となっております。
    お見積り時や受注の際に納期をお知らせいたしますが、部材の入荷状況により遅延が発生する可能性がございます。 現在の納期はおおよそ4.5ヶ月となります。
    ご迷惑をお掛けいたしますが、ご了承のほどよろしくお願いいたします。
    ※納期は機種により異なりますので詳しくはお問合せ下さい。

  • お知らせ

    2021.04.01

    高圧、低流量、様々な特性の流体を正確に測定出来るCODAシリーズ(最大4,000PSIA)。
    CODAシリーズ−コリオリ式マスフローメーター／コントローラーの販売を開始。
    CODAシリーズカタログダウンロードはこちら　その他カタログダウンロードはこちら

  • 展示会

    2021.03.01

    日本スターテクノ株式会社：IIFES2022 東京 / 日本
    2022年1月26日(水)〜28日(金)出展予定。

  • お知らせ

    2020.12.18

    液体用フローメーター・液体用フローコントローラーが以下の液体に対応しました。
    対応液体：純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン
    L/LCシリーズカタログダウンロードはこちら　その他カタログダウンロードはこちら

  • お知らせ

    2020.12.18

    マスフローコントローラー・ラインナップページにBASISシリーズ／BIOシリーズを掲載。詳細はこちら

  • お知らせ

    2020.11.13

    混合ガスを含め1台で98 - 130種類のガス流量の計測が可能で持ち運び可能なポータブルフローメーター MB/MBQ/MBS/MWB/LBシリーズのカタログ[英語版]を追加しました。
    MBシリーズカタログダウンロードはこちら　その他カタログダウンロードはこちら

  • 展示会

    2020.11.05

    計測展2020 OSAKAでの出展の様子を展示会出展情報ページに掲載。詳細はこちら

  • 展示会

    2020.10.23

    日本スターテクノ株式会社：計測展2020 OSAKA 大阪 / 日本
    2020年10月21日(水)〜23日(金)出展しました。

  • お知らせ

    2020.10.09

    ホームページリニューアルしました。

  • お知らせ

    2020.07.01

    2020年7月1日大阪営業所を移転しました。

  • 展示会

    2020.03.01

    ALICAT（アリキャット） Scientific(米国本社)：PITTCON 2020 Conference and Expo シカゴ / 米国
    2020年03月01日(日)〜05日(木)出展しました。Alicat Scientific出展情報

  • 展示会

    2020.03.01

    日本スターテクノ株式会社：計測展2020 OSAKA 大阪 / 日本
    2020年10月21日(水)〜23日(金)出展予定。

  • ブログ記事

    2016.04.28

    真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第215話　圧力式ＭＦＣとは？その6
    Alicat社のWhisperシリーズ、驚くべき低圧力損失仕様として紹介されました。

  • ブログ記事

    2016.04.21

    真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第214話　圧力式ＭＦＣとは？その5
    Alicat社ＭＦＣの優れた点の一つ高速応答性能が紹介されました。

  • ブログ記事

    2016.04.14

    真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第213話　圧力式ＭＦＣとは？その4
    Alicat社のラミナーフロー式（層流式）マスフロー（ＭＦＣ＆ＭＦＭ）が紹介されました。

  • メディア

    2015.12.25

    計測技術 2016年1月号マスフロー干夜一夜物語 第19回でラミナーフロー式流量センサーを搭載したＭＦＣ（マスフローコントローラー）であるＡｌｉｃａｔ社の製品解説記事が掲載されました。

販売製品

差圧式流量計アリキャット製品

  • ALICAT（アリキャット）マスフローメーター

    マスフローメーター

    1台で混合ガス含めて130種類のガスに対応。精度も高く高速応答。 腐食/冷媒ガス対応や低圧力モデルもラインナップ。 詳細はこちら

  • ALICAT（アリキャット）マスフローコントローラー

    マスフローコントローラー

    標準タイプのMC/MCRシリーズを筆頭にさまざまな環境に対応した マスフローコントローラーがラインナップ。 詳細はこちら

  • ALICAT（アリキャット）液体用フローメーター

    液体用フローメーター

    マスフローメーターと同様なラミナーフロー方式。安定した出力が特徴。純水の他、いろいろな薬液にも対応可能な液体用流量計。 詳細はこちら

  • ALICAT液体用フローコントローラー

    液体用フローコントローラー

    100msの応答速度で指定流量へすばやく制御。希望流量を短時間で得られます。流量設定はフロントスイッチにより簡単操作。 詳細はこちら

熱式流量計アリキャット製品

  • BASISマスフローコントローラー

    マスフローメーター

    直接流れるガスの温度を測るので、すばやく正確な温度の読み取りができます。アナログ出力/入力、RS-485通信を搭載。詳細はこちら

  • BASISマスフローコントローラー

    マスフローコントローラー

    標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。100msの制御応答。アナログ出力/入力、RS-485通信を搭載。 詳細はこちら

専用モデルアリキャット製品

  • IS-MaX / IS-Pro シリーズ

    IS-MaX / IS-Pro シリーズ

    本質安全防爆仕様 CSA/ATEXの認証を受けた防爆仕様。CSA規格「Class 1 Division 2 Group A, B, C and D T4」ATEX指令「Ex �� 3G EEx nA IIC T4」
    相対湿度センサーオプション搭載可能です。 詳細はこちら

  • ALICAT液体用フローコントローラー

    コリオリシリーズ

    コリオリ式流量計 食品関係の低流量から高圧での流体まで正確に測定。可変流体混合物、腐食性の液体にも対応。表示応答時間：<100ms (40g/h-10kg/h) 詳細はこちら

  • ALICAT液体用フローコントローラー

    ポータブルシリーズ

    差圧式流量計 持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーターです。フル充電で約18時間の稼動が可能。（モノクロディスプレイ） 詳細はこちら

  • ALICAT液体用フローコントローラー

    バイオシリーズ

    差圧式流量計 バイオリアクター向け高精度フローコントローラー。極めて低いゼロドリフトによる長期間安定。プロセス水による汚染を防止。 詳細はこちら

BASIS　ベイシス

BASIS小型・ローコストモデル

  • BASISマスフローコントローラー

    マスフローメーター

    直接流れるガスの温度を測るので、すばやく正確な温度の読み取りができます。アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載。 詳細はこちら

  • BASISマスフローコントローラー

    マスフローコントローラー

    標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。100msの制御応答。アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載。 詳細はこちら

高精度のMEMSセンサーで、誤差が少なくスピーディな計測ができます。
半導体産業

半導体製品装置市場向け製品専用モデル

  • マスフローコントローラーMC/MCRシリーズ

    マスフローコントローラー

    混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7〜100% FS)の正確度で100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。 詳細はこちら

  • SEMI規格マスフローコントローラー

    SEMI規格

    混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7〜100% FS)の正確度で100msの制御応答。※SEMI規格コンパチブル製品です。 詳細はこちら

  • BASISマスフローコントローラー

    BASIS

    標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。100msの制御応答。アナログ出力/入力、RS-485通信を搭載。 詳細はこちら

  • 圧力コントローラー

    圧力コントローラー

    高速応答で安定性のある圧力制御。アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。±(0.25% FS) の高い圧力精度。 詳細はこちら

Fusion Flow Technologieフュージョン フロー テクノロジー

Fusion Flow Technologiesガス混合

  • 精密ガスミキサー MXMシリーズ

    MXM 精密ガスミキサー

    単一ガスの工業用高流量操作から複雑なガス混合の研究開発まで、何百もの一般的な用途向けに構築されます。
    200 SCCM 〜 50,000 SLPM の流量で最大 10 種類のガスのブレンドが可能。
    流量コントロール、圧力コントロールが同時に制御可能です。 詳細はこちら カタログ

  • 工業用ガスミキサー IMXシリーズ

    IMX 工業用ガスミキサー

    ガス混合プラットフォームは、パーセントレベルの高流量の施設インフラストラクチャ アプリケーション向けに設計されており、大規模な商業規模の運用に最適。
    100SLPM 〜 3200SLPM の範囲の組み合わせ流量で、最大4つのガスの正確なブレンドが可能で、 流量コントロール、圧力コントロールが同時に制御可能です。 詳細はこちら

Equilibar イクイリバール

Equilibarレギュレーター

  • 精密ガスミキサー MXMシリーズ

    背圧レギュレーター(研究モデル)

    Researchシリーズの背圧レギュレータは、世界中のラボおよびガス分析システムの重要な性能問題を解決します。特に、触媒研究や貯留層コア分析などの用途で人気があります。 詳細はこちら

  • 精密ガスミキサー MXMシリーズ

    背圧レギュレーター(一般モデル)

    唯一の可動部分としてフレキシブルダイヤフラムを採用し、摩擦のない安定した動作を実現します。Equilibar のドーム型マルチオリフィス設計は、最も複雑なアプリケーションに対して瞬時の制御と優れた精度を提供します。 詳細はこちら

  • 精密ガスミキサー MXMシリーズ

    背圧レギュレーター(産業用モデル)

    産業用BDシリーズ背圧バルブは、より大きなサイズとより高いスループットを必要とするアプリケーション向けに設計されています。ポートサイズは1.5インチから4インチまでの標準で、ご要望に応じてカスタムサイズもご用意しています。 詳細はこちら

デジタル指示計/変換器　デジタル指示計 / パルスコンバーター

  • デジタル指示計

    デジタル指示計 96×96サイズ

    瞬時流量、積算流量、回転、位相差入力など多彩な指示計をご用意。
    詳細はこちら

  • デジタル指示計

    デジタル指示計 48×96サイズ

    瞬時/積算流量、回転、比率、通過時間/速度など多彩な指示計をご用意。
    詳細はこちら

  • パルスコンバータ

    パルスコンバーター

    パルス信号をアナログ信号に変換します。DINレール対応です。
    詳細はこちら