流体が内部層流素子を流れると流体の持つ粘性により圧力降下が起き、上流圧と下流圧の圧力差から体積流量を算出します。 高精度な流量制御/高速応答制御を可能にし、半導体製造装置市場において新たに注目を集めています。
流路に制御バルブを内蔵。標準タイプで可能なガスに加え、腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種のガスに対応。 ※SEMI規格コンパチブル製品です。
OEM供給用に開発された小型でローコストのマスフローコントローラー。 対応ガスはAirを含めて8種類。MEMSセンサー使用で高速制御可能。 ※圧力式ではありません。
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