圧力式マスフローコントローラー

差圧センサーを搭載したラミナーフロー方式採用半導体製造で重要なプロセスガスを、ラミナーフロー方式（層流方式）で差圧を高速測定することにより高精度な流量制御／高速応答制御を可能にします。

ラミナーフロー方式について

流体が内部層流素子を流れると流体の持つ粘性により圧力降下が起き、上流圧と下流圧の圧力差から体積流量を算出します。
高精度な流量制御／高速応答制御を可能にし、半導体製造装置市場において新たに注目を集めています。

MCEシリーズ（SEMI規格）
流路に制御バルブを内蔵。標準タイプで可能なガスに加え、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種のガスに対応。
※SEMI規格コンパチブル製品です。
BASISシリーズ
OEM供給用に開発された小型でローコストのマスフローコントローラー。
対応ガスはAirを含めて8種類。MEMSセンサー使用で高速制御可能。
※圧力式ではありません。

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マスフローメーター

1台で混合ガス含めて130種類のガスに対応。精度も高く高速応答。腐食/冷媒ガス対応や低圧力モデルもラインナップ
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マスフローコントローラー

標準タイプのMC/MCRシリーズを筆頭にさまざまな環境に対応したマスフローコントローラーがラインナップ。
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液体用フローメーター

マスフローメーターと同様なラミナーフロー方式。安定した出力が特徴。純水の他、いろいろな薬液にも対応。
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液体用フローコントローラー

100msの応答速度で指定流量へすばやく制御。希望流量を短時間で得られます。流量設定はフロントスイッチにより簡単操作。
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