日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー/微少流量計/デジタル指示計の販売

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製品紹介
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製品カテゴリー

ALICAT マスフローメーター

マスフローメーター商品画像

混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能。±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確な流量計測。10msの高速応答で流量変化にすばやく追従。超微少流量(0.5SCCM)から大流量(5000SLPM)までの豊富な機種がラインナップ。

オプション&アクセサリー
アリキャットロゴ

TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等 さまざまなオプションがございます。

特長

多種多様なガスが計測可能

フロント画面
PURE NON-CORROSIVE GASES
C2H2 アセチレン D2 重水素 Ne ネオン
Air 空気 C2H6 エタン N2 窒素
Ar アルゴン C2H4 エチレン N2O 亜酸化窒素
i-C4H10 イソブタン He ヘリウム O2 酸素
n-C4H10 ブタン H2 水素 C3H8 プロパン
CO2 二酸化炭素 Kr クリプトン SF6 六フッ化硫黄
CO 一酸化炭素 CH4 メタン Xe キセノン

PURE CORROSIVES (腐食性ガス MSシリーズ)
NH3 アンモニア COS 硫化カルボニル NO 一酸化窒素
1Butene 1-ブテン CI2 塩素 C3H6 プロピレン
cButene cis-2-ブテン CH3OCH3 ジメチルエーテル SiH4 シラン
iButene iso-ブテン H2S 硫化水素 SO2 二酸化硫黄
tButene trans-ブテン NF3 三フッ化窒素

10ミリ秒の高速応答 / ±(0.8% Reading +0.2% F.S.) の高い流量精度

200:1の幅広い流量レンジ ※MSシリーズは100:1

マスフロー(質量流量)の他、圧力、温度も計測

表示画面

バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載

液晶表示画面

アナログ出力/RS-232C通信を標準搭載

積算流量が可能(オプション)

積算流量

高温ガスにも対応(オプション)

高温ガス対応モデル

双方向の流量を計測(オプション)※Mシリーズのみ

防爆仕様(オプション)

防爆仕様機械

配管

配管写真

校正

NISTトレーサブル校正書(兼試験成績書)