日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター

ラミナーフロー方式(差圧式)による20msの高速応答

• ラミナーフロー方式(差圧式)による20msの高速応答。流量変化にすばやく追従し、リアルタイムに流量の確認ができます。
• 流量レンジは 2〜100% F.S.の 50:1。0.5CCMタイプでは0.01mL/minから計測できます。
• 外部出力として0〜5VDC出力およびRS-232C通信を標準搭載。
• NISTトレーサブル検査成績証が標準で付属します。
• 持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーターもございます。
• 対応液体：純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトンのいずれか１種で校正。その他液体についてはお問い合わせ下さい。※使用液体の切り替えはできません。

流量精度 (TARE後の校正条件において)	±2% F.S.
繰り返し性	±0.2% F.S.
動作範囲	2〜100% F.S.
流量レンジ比	50:1
応答速度 (Typical)	20ms
流体	導電率400ppm以下の純水または メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、 イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン ※いずれか１種で校正。
流体温度/動作温度	-10〜60℃(凍結していないこと)
温度精度	±0.75℃
ゼロシフト	0.02% F.S./℃/Atm
スパンシフト	0.02% F.S./℃/Atm
計測可能流量	128% F.S.
最大圧力	100PSIG (689kPa)
デジタル出力	RS-232C(標準) / RS-485(オプション) 出力データ：流量、温度、圧力
アナログ出力 (標準)	0〜5VDC または0〜10VDC / 1〜5VDC / 4〜20mADC 出力データ：流量(CCM/LPM) または圧力、温度のいずれか
アナログ第2出力 （オプション）	0〜5VDC / 0〜10VDC / 1〜5VDC / 4〜20mADC 出力データ：流量、温度、圧力のいずれか
信号接続	ミニDINコネクタ8ピン <オプション> ロック式コネクタ／Dサブコネクタ9ピンまたは15ピン ※ケーブルはオプションとなります >> ケーブル
供給電圧	7〜30VDC (*1)
供給電流	100mA
接液面材質	303,302ステンレススチール 316Lステンレススチール, VitonR

(*1)アナログ電流 4〜20mADC出力にはDC15V以上の電源電圧が必要です。