日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター

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製品紹介
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ALICAT 液体用フローメーター

ALICAT 液体用フローメーター商品画像

マスフローメーターと同じ原理を用いた液体用のフローメーター/コントローラー。高速応答で精度の高い計測を行います。
対応液体:純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン
これらの他にも対応できる場合もございます。詳しくはお問い合わせください。

オプション&アクセサリー
アリキャットロゴ

TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等 さまざまなオプションがございます。

特長

ラミナーフロー方式(差圧式)による20msの高速応答



仕様
流量精度
(TARE後の校正条件において)
±2% F.S.
繰り返し性 ±0.2% F.S.
動作範囲 2〜100% F.S.
流量レンジ比 50:1
応答速度
(Typical)
20ms
流体 導電率400ppm以下の純水または
メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、
イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン
※いずれか1種で校正。
流体温度/動作温度 -10〜60℃(凍結していないこと)
温度精度 ±0.75℃
ゼロシフト 0.02% F.S./℃/Atm
スパンシフト 0.02% F.S./℃/Atm
計測可能流量 128% F.S.
最大圧力 100PSIG (689kPa)
デジタル出力 RS-232C(標準) / RS-485(オプション)
出力データ:流量、温度、圧力
アナログ出力
(標準)
0〜5VDC
または0〜10VDC / 1〜5VDC / 4〜20mADC
出力データ:流量(CCM/LPM)
または圧力、温度のいずれか
アナログ第2出力
(オプション)
0〜5VDC / 0〜10VDC / 1〜5VDC / 4〜20mADC
出力データ:流量、温度、圧力のいずれか
信号接続 ミニDINコネクタ8ピン
<オプション>
ロック式コネクタ/Dサブコネクタ9ピンまたは15ピン
※ケーブルはオプションとなります >> ケーブル
供給電圧 7〜30VDC (*1)
供給電流 100mA
接液面材質 303,302ステンレススチール
316Lステンレススチール, VitonR

(*1)アナログ電流 4〜20mADC出力にはDC15V以上の電源電圧が必要です。
機種
流量レンジ 寸法 (mm) 接続口径
(めねじ)
圧力損失
(FS流量時)
0.5CCM
(0.01CCM〜)
H114.00 x W60.33 x D26.67 M5(10-32UNF) 13.79kPa
1CCM
(0.02CCM〜)
H114.00 x W60.33 x D26.67 M5(10-32UNF) 13.79kPa
2CCM
(0.04CCM〜)
H118.31 x W60.33 x D26.67 1/8" NPT 13.79kPa
5CCM
(0.1CCM〜)
H118.31 x W60.33 x D26.67 1/8" NPT 13.79kPa
10CCM
(0.2CCM〜)
H118.31 x W60.33 x D26.67 1/8" NPT 13.79kPa
20CCM
(0.4CCM〜)
H118.31 x W60.33 x D26.67 1/8" NPT 13.79kPa
50CCM
(1CCM〜)
H118.31 x W60.33 x D26.67 1/8" NPT 13.79kPa
100CCM
(2CCM〜)
H118.31 x W60.33 x D26.67 1/8" NPT 13.79kPa
200CCM
(4CCM〜)
H118.31 x W60.33 x D26.67 1/8" NPT 13.79kPa
500CCM
(10CCM〜)
H118.31 x W60.33 x D26.67 1/8" NPT 13.79kPa
1LPM
(0.02LPM〜)
H118.31 x W60.33 x D26.67 1/8" NPT 27.57kPa
2LPM
(0.04LPM〜)
H120.45 x W66.68 x D26.67 1/4" NPT 27.57kPa
5LPM
(0.1LPM〜)
H131.88 x W101.6 x D40.64 1/4" NPT 68.94kPa
10LPM
(0.2LPM〜)
H131.88 x W101.6 x D40.64 1/4" NPT 137.89kPa