混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能。±0.6% RD(16.7〜100% FS)の正確な流量計測。50ms-100msの制御応答。
超微少流量(0.5SCCM)から大流量(5000SLPM)までの豊富な機種がラインナップ。現在納期約4週間。
C2H2 | アセチレン | D2 | 重水素 | Ne | ネオン |
---|---|---|---|---|---|
Air | 空気 | C2H6 | エタン | N2 | 窒素 |
Ar | アルゴン | C2H4 | エチレン | N2O | 亜酸化窒素 |
i-C4H10 | イソブタン | He | ヘリウム | O2 | 酸素 |
n-C4H10 | ブタン | H2 | 水素 | C3H8 | プロパン |
CO2 | 二酸化炭素 | Kr | クリプトン | SF6 | 六フッ化硫黄 |
CO | 一酸化炭素 | CH4 | メタン | Xe | キセノン |
NH3 | アンモニア | tButene | trans-ブテン | NF3 | 三フッ化窒素 |
---|---|---|---|---|---|
1Butene | 1-ブテン | COS | 硫化カルボニル | NO | 一酸化窒素 |
cButene | cis-2-ブテン | CH3OCH3 | ジメチルエーテル | C3H6 | プロピレン |
iButene | iso-ブテン | H2S | 硫化水素 | SiH4 | シラン |