日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター

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製品紹介
product

ALICAT マスフローコントローラー

マスフローコントローラー商品画像

混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能。±0.6% RD(16.7〜100% FS)の正確な流量計測。50ms-100msの制御応答。
超微少流量(0.5SCCM)から大流量(5000SLPM)までの豊富な機種がラインナップ。現在納期約4週間。

オプション&アクセサリー
アリキャットロゴ

TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等 さまざまなオプションがございます。

特長

安定した納期を実現

フロント画面

さまざまな用途に対応

多種多様なガスが計測可能

フロント画面
PURE NON-CORROSIVE GASES
C2H2 アセチレン D2 重水素 Ne ネオン
Air 空気 C2H6 エタン N2 窒素
Ar アルゴン C2H4 エチレン N2O 亜酸化窒素
i-C4H10 イソブタン He ヘリウム O2 酸素
n-C4H10 ブタン H2 水素 C3H8 プロパン
CO2 二酸化炭素 Kr クリプトン SF6 六フッ化硫黄
CO 一酸化炭素 CH4 メタン Xe キセノン

PURE CORROSIVES (腐食性ガス MCS/MCRSシリーズ)
NH3 アンモニア tButene trans-ブテン NF3 三フッ化窒素
1Butene 1-ブテン COS 硫化カルボニル NO 一酸化窒素
cButene cis-2-ブテン CH3OCH3 ジメチルエーテル C3H6 プロピレン
iButene iso-ブテン H2S 硫化水素 SiH4 シラン

100ミリ秒の速い制御応答

±0.6% RD(16.7〜100% FS) の高い流量精度 ※10SCCM〜20SLPM

200:1の幅広い流量レンジ ※MCS/MCRS/MCVSシリーズは100:1

マスフロー(質量流量)の他、圧力、温度も計測

表示画面

バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載

液晶表示画面

アナログ出力/RS-232C通信を標準搭載

積算流量が可能

積算流量

高温ガスにも対応(オプション)

双方向の流量を計測(オプション)※Mシリーズのみ

防爆仕様(オプション)

配管

配管写真

校正

NISTトレーサブル校正書(兼試験成績書)