日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター

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製品紹介
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製品カテゴリー

ALICAT マスフローコントローラー

マスフローコントローラー商品画像

混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確な流量計測。50ms-100msの制御応答。
超微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までの豊富な機種がラインナップ。現在納期約4週間。

オプション＆アクセサリー

アリキャットロゴ

TFTカラー液晶・リモートディスプレイ等さまざまなオプションがございます。

こちらから

▼特長

安定した納期を実現

ALICATはアメリカのアリゾナに自社工場を構え、長年培った経験と知識により発展してまいりました。
様々な用途に対応した機種の開発を行っており、多様なニーズに対応できます。
近年では大幅な人員増強・生産設備の増加を行い、安定供給が可能となりました。
世界情勢による不安定な状況の中で、ALICAT製品は安定した納期を実現しております。

フロント画面

さまざまな用途に対応

標準タイプのMC/MCRシリーズを筆頭にさまざまな環境に対応したマスフローコントローラーがラインナップ。
低圧のアプリケーションに対応した低圧力損失のMCW/MCRWシリーズ。
腐食性ガスや冷媒ガスに対応したMCS/MCRSシリーズ。
双方向の制御が可能なMCD/MCRDシリーズ。
真空域など気密性が求められる環境に対応したシャットオフバルブ搭載のMCVシリーズ。
ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。50ms-100msの制御応答。［PIDチューニングで最速25ms　※条件による］

多種多様なガスが計測可能

標準タイプは混合ガスを含め98種類のガスに対応します。また腐食性ガス／冷媒ガス対応タイプは標準のガス種を加え128種類のガスに対応します。
ガスの選択はフロントのボタン操作で簡単選択。
また任意の比率の混合ガスの計測も可能。
相対湿度センサーオプション追加で、湿度補正も可能。

フロント画面

PURE NON-CORROSIVE GASES
C2H2	アセチレン	D2	重水素	Ne	ネオン
Air	空気	C2H6	エタン	N2	窒素
Ar	アルゴン	C2H4	エチレン	N2O	亜酸化窒素
i-C4H10	イソブタン	He	ヘリウム	O2	酸素
n-C4H10	ブタン	H2	水素	C3H8	プロパン
CO2	二酸化炭素	Kr	クリプトン	SF6	六フッ化硫黄
CO	一酸化炭素	CH4	メタン	Xe	キセノン

PURE CORROSIVES （腐食性ガス MCS/MCRSシリーズ）
NH3	アンモニア	tButene	trans-ブテン	NF3	三フッ化窒素
1Butene	1-ブテン	COS	硫化カルボニル	NO	一酸化窒素
cButene	cis-2-ブテン	CH3OCH3	ジメチルエーテル	C3H6	プロピレン
iButene	iso-ブテン	H2S	硫化水素	SiH4	シラン

100ミリ秒の速い制御応答

ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。
流量変化にすばやく追従し、リアルタイムに流量の確認ができます。
制御流量の設定はボタン操作で簡単に行えます。またアナログ入力、通信でも設定可能です。

±0.6% RD(16.7～100% FS) の高い流量精度　※10SCCM～20SLPM

精度の高い差圧センサーを搭載し、より正確な流量制御を実現。
さらに精度の高い ±0.5% RD(20～100% FS)のご指定も可能です。
繰り返し性 ±0.2% Full Scale により安定した制御を行います。

200:1の幅広い流量レンジ ※MCS/MCRS/MCVSシリーズは100:1

超微少流量の 0.5SCCM から大流量の 12000SLPM までラインナップ。
(※MC/MCR/MS/MCRS/MCD/MCRDシリーズ)
流量範囲は0.5%～100% F.S.の200:1。0.5SCCM は超微少の 0.0025mL/min から計測が可能です。

マスフロー(質量流量)の他、圧力、温度も計測

表示画面にはマスフローに加え、体積流量、圧力、温度も表示します。
(※マスフローは体積流量を標準温度圧力に換算した値となります。)
また各データの表示単位も変更が可能です。その単位に換算した値が表示されます。
(例えば圧力単位をPSIAからkPaAに変更など)
各データそばのボタンを押すことで、そのデータを画面中央に大きく表示できます。

表示画面

バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載

バックライト付きのモノクロ液晶を標準搭載。バックライトはボタン操作で簡単にON/OFFが行えます。
より視認性の良いTFTカラー液晶にもオプションで対応が可能です。
また配管から離れた場所や盤に取り付け可能なリモートディスプレイもオプションで選択できます。

液晶表示画面

アナログ出力／RS-232C通信を標準搭載

標準で0-5VDC出力を搭載。マスフローをアナログ出力します。またオプションでアナログ第2出力も可能です。
出力データはマスフローの他、体積流量、圧力、温度も可能。また、0-10VDC、1-5VDC、4-20mA出力もご指定できます。
RS-232C通信ではマスフロー、体積流量、圧力、温度、ガス種を出力します。またオプションでRS-485通信も選択できます。

積算流量が可能

積算流量オプションをつけることにより積算流量表示が可能です。
電源投入後およびリセット後から流量の積算を開始します。
計測中のピーク流量や経過時間も同時に計測します。

積算流量

高温ガスにも対応（オプション）

100℃までの高温ガスの計測が可能です。
ガス温度：-10～100℃
周囲温度：-10～85℃
センサー部と表示部は分離したタイプとなります。
Mシリーズ、MSシリーズ、MWシリーズと全シリーズ対応可能です。

双方向の流量を計測（オプション）※Mシリーズのみ

標準の正方向に加え、逆方向に流れる流量も計測。
逆方向に流れる流量はマイナスで表示します。
校正で双方向オプションをご指定ただくことで双方向の計測が可能になります。

防爆仕様（オプション）

CSA/ATEXの認証を受けた防爆仕様。
CSA規格「Class 1 Division 2 Group A, B, C and D T4」
ATEX指令「Ex Ⅱ 3G EEx nA IIC T4」
外部電気接続は6ピンのロック式コネクタとなります。

配管

接続口径はNPT規格のめねじとなります。（機械仕様参照）
VCR継手やSwagelok継手を溶接するオプションもございます。

配管写真

校正

校正はメーカーにて行います。通常20℃ 1atmで校正を行いますが、0℃ 1atmでの校正もご指定ただけます。
実ガスによる校正にも対応が可能です。
※流量レンジおよび流体により対応できない場合がございます。詳しくはお問い合わせください。
NISTトレーサブル校正書(兼試験成績書)がすべてに付属します。またトレーサビリティ体系図の発行も可能です。

NISTトレーサブル校正書(兼試験成績書)

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