日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・コリオリ式流量計/微少流量計/デジタル指示計の販売

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製品紹介
product

ALICAT マスフローコントローラー

マスフローコントローラー商品画像
仕様

ALICAT マスフローコントローラー 仕様

標準タイプ
MC/MCR
腐食性対応タイプ
MCS/MCRS
低圧力損失タイプ
MCW/MCRW
対応ガス種 98種類 128種類 98種類
流量精度
(TARE後の校正条件において)
0.5〜5 SCCM
±(0.8% RD ±0.2% F.S.)
10SCCM〜20SLPM
±0.6% RD(16.7〜100% FS)
±0.1% FS(0〜16.7% FS)

50〜5000SLPM
±(0.8% RD ±0.2% F.S.)
0.5SCCM〜5000SLPM
±(0.8% RD ±0.2% F.S.)
0.5〜5 SCCM
±(0.8% RD ±0.2% F.S.)
10SCCM〜100SLPM
±0.75% RD(13.4〜100% FS)
±0.1% FS(0〜13.4% FS)

250〜1000SLPM
±(0.8% RD ±0.2% F.S.)
高精度オプション 0.5〜5 SCCM
±(0.4% RD ±0.2% F.S.)
※5SCCMに適用
10SCCM〜20SLPM
±0.5% RD(20〜100% FS)
±0.1% FS(0〜20% FS)

50〜5000SLPM
±(0.4% RD ±0.2% F.S.)
※50SLPM〜500SLPMに適用
0.5SCCM〜5000SLPM
±(0.4% RD ±0.2% F.S.)
※5SCCM〜500SLPMに適用
0.5〜5 SCCM
±(0.4% RD ±0.2% F.S.)
※5SCCMに適用
10SCCM〜100SLPM
±0.6% RD(16.7〜100% FS)
±0.1% FS(0〜16.7% FS)

250〜1000SLPM
±(0.4% RD ±0.2% F.S.)
※250SLPM〜500SLPMに適用
繰り返し性 ±0.2% F.S.
流量範囲 0.5〜100% F.S.
(200:1)
1.0〜100% F.S.
(100:1)
0.5〜100% F.S.
(200:1)
ゼロシフト
スパンシフト
0.02% F.S./℃/Atm
動作温度範囲 -10〜60℃
温度精度 ±0.75℃
最大動作圧力 160PSIA (1.1MPaA) 160PSIA (1.1MPaA) 60PSIA (0.4MPaA)
圧力精度 1気圧以上:±0.5% of Reading
1気圧未満:±0.07PSIA    
センサー応答速度 < 1ms

最小動作圧力 11.5PSIA(79.29kPaA) コモンモード圧力
各レンジの圧力損失を超える差圧
耐圧 175PSIA(1.2MkPaA) コモンモード圧力
差圧 75PSID (517kPaD)
175PSIA(1.2MkPaA) コモンモード圧力
差圧 75PSID (517kPaD)
80PSIA (0.55MPaA) コモンモード圧力
差圧 15PSID (103.4kPaD)
保護等級 IP40
動作湿度 0〜95% (結露無きこと)
取付姿勢 MCシリーズ、MCSシリーズ、MCWシリーズ:自由      
MCRシリーズ、MCRSシリーズ、MCRWシリーズ:バルブを水平面に垂直
バルブタイプ ノーマルクローズ

標準温度圧力(STP) 20℃ 1atm  または 0℃ 1atm 
ノルマル温度圧力(NTP) 0℃ 1atm  または 0℃ 1atm 
表示器

バックライト付きモノクロ液晶 (標準)

<オプション>
TFTカラー液晶、リモート表示 (モノクロまたはTFTカラー)


アナログ出力
(標準)

0〜5VDC または 0〜10VDC、1〜5VDC、4〜20mADC のいずれか

オプション第2出力

0〜5VDC、0〜10VDC、1〜5VDC、4〜20mADC のいずれか

デジタル出力

RS-232C (標準)

<オプション>
RS-485、Modbus TCP/IP、Modbus RTU(RS-232C/RS-485)
DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

アナログ入力
(流量設定)

0〜5VDC または 0〜10VDC、1〜5VDC、4〜20mA のいずれか

インターフェース
(コネクタ)

ミニDINコネクタ8ピン (標準)

<オプション>
6ピンロック式、8ピンM12、Dサブ9ピンまたは15ピン
※ケーブルはオプションとなります >> ケーブル

電源電圧 <MCシリーズ>
12〜24VDC 250mA以上
(4-20mADC出力付15VDC以上)

<MCRシリーズ>
24〜30VDC 1A以上

<MCRHシリーズ>
24〜30VDC 2A以上
<MCSシリーズ>
12〜24VDC 250mA以上
(4-20mADC出力付15VDC以上)

<MCRSシリーズ>
24〜30VDC 1A以上

<MCRHSシリーズ>
24〜30VDC 2A以上
<MCWシリーズ>
12〜24VDC 250mA以上
(4-20mADC出力付15VDC以上)

<MCRWシリーズ>
24〜30VDC 1A以上

<MCRWHシリーズ>
24〜30VDC 2A以上
デジタルデータ更新レート

25ms 19200bps

アナログデータ更新レート

1ms

表示更新レート

100ms

アナログ出力精度

(流量精度に加えて)±0.1% of Full Scale