日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター
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| 標準タイプ MC/MCR |
腐食性対応タイプ MCS/MCRS |
低圧力損失タイプ MCW/MCRW |
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|---|---|---|---|
| 対応ガス種 | 98種類 | 128種類 | 98種類 |
| 流量精度 (TARE後の校正条件において) |
0.5〜5 SCCM ±(0.8% RD ±0.2% F.S.) 10SCCM〜20SLPM ±0.6% RD(16.7〜100% FS) ±0.1% FS(0〜16.7% FS) 50〜5000SLPM ±(0.8% RD ±0.2% F.S.) |
0.5SCCM〜5000SLPM ±(0.8% RD ±0.2% F.S.) |
0.5〜5 SCCM ±(0.8% RD ±0.2% F.S.) 10SCCM〜100SLPM ±0.75% RD(13.4〜100% FS) ±0.1% FS(0〜13.4% FS) 250〜1000SLPM ±(0.8% RD ±0.2% F.S.) |
| 高精度オプション （ＨＣオプション） |
0.5〜5 SCCM ±(0.4% RD ±0.2% F.S.) ※5SCCMに適用 10SCCM〜20SLPM ±0.5% RD(20〜100% FS) ±0.1% FS(0〜20% FS) 50〜5000SLPM ±(0.4% RD ±0.2% F.S.) ※50SLPM〜500SLPMに適用 |
0.5SCCM〜5000SLPM ±(0.4% RD ±0.2% F.S.) ※5SCCM〜500SLPMに適用 |
0.5〜5 SCCM ±(0.4% RD ±0.2% F.S.) ※5SCCMに適用 10SCCM〜100SLPM ±0.6% RD(16.7〜100% FS) ±0.1% FS(0〜16.7% FS) 250〜1000SLPM ±(0.4% RD ±0.2% F.S.) ※250SLPM〜500SLPMに適用 |
| 繰り返し性 | ±0.2% F.S. | ||
| 流量範囲 | 0.5〜100% F.S. (200:1) |
1.0〜100% F.S. (100:1) |
0.5〜100% F.S. (200:1) |
| ゼロシフト スパンシフト |
0.02% F.S./℃/Atm | ||
| 動作温度範囲 | -10〜60℃ | ||
| 温度精度 | ±0.75℃ | ||
| 最大動作圧力 | 160PSIA (1.1MPaA) | 160PSIA (1.1MPaA) | 60PSIA (0.4MPaA) |
| 圧力精度 | 1気圧以上：±0.5% of Reading 1気圧未満：±0.07PSIA |
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| センサー応答速度 | ＜ 1ms | ||
| 最小動作圧力 | 11.5PSIA（79.29kPaA) コモンモード圧力 各レンジの圧力損失を超える差圧 |
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|---|---|---|---|
| 耐圧 | コモンモード圧力 200PSIA （1.37MPaA) 差圧 75PSID (517kPaD) |
コモンモード圧力 200PSIA （1.37MPaA) 差圧 75PSID (517kPaD) |
コモンモード圧力 80PSIA (0.55MPaA) 差圧 15PSID (103.4kPaD) |
| 保護等級 | IP40 | ||
| 動作湿度 | 0〜95% (結露無きこと) | ||
| 取付姿勢 | MCシリーズ、MCSシリーズ、MCWシリーズ：自由 MCRシリーズ、MCRSシリーズ、MCRWシリーズ：バルブを水平面に垂直 |
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| バルブタイプ | ノーマルクローズ | ||
| 標準温度圧力(STP) | 20℃ 1atm または 25℃ 1atm ※設定変更可能 | ||
|---|---|---|---|
| ﾉﾙﾏﾙ温度圧力(NTP) | 0℃ 1atm | ||
| 表示器 | バックライト付きモノクロ液晶 (標準) |
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| アナログ出力 (標準) |
0〜5VDC または 0〜10VDC、1〜5VDC、4〜20mADC のいずれか |
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|---|---|---|---|
| オプション第２出力 | 0〜5VDC、0〜10VDC、1〜5VDC、4〜20mADC のいずれか |
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| デジタル出力 | RS-232C (標準) |
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| アナログ入力 (流量設定) |
0〜5VDC または 0〜10VDC、1〜5VDC、4〜20mA のいずれか |
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| インターフェース (コネクタ) |
ミニDINコネクタ8ピン (標準) |
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| 電源電圧 | <MCシリーズ> 12〜24VDC 250mA以上 (4-20mADC出力付15VDC以上) <MCRシリーズ> 24〜30VDC 1A以上 <MCRHシリーズ> 24〜30VDC 2A以上 |
<MCSシリーズ> 12〜24VDC 250mA以上 (4-20mADC出力付15VDC以上) <MCRSシリーズ> 24〜30VDC 1A以上 <MCRHSシリーズ> 24〜30VDC 2A以上 |
<MCWシリーズ> 12〜24VDC 250mA以上 (4-20mADC出力付15VDC以上) <MCRWシリーズ> 24〜30VDC 1A以上 <MCRWHシリーズ> 24〜30VDC 2A以上 |
| デジタルデータ更新レート | 25ms 19200bps |
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| アナログデータ更新レート | 1ms |
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| 表示更新レート | 100ms |
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| アナログ出力精度 | （流量精度に加えて）±0.1% of Full Scale |
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