日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター

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製品紹介
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ALICAT マスフローコントローラー

マスフローコントローラー商品画像
▼機械仕様

流量範囲　

※1500SLPMタイプは生産終了しました。(2019.7)

流量レンジ 標準タイプ 腐食性対応 低圧力損失 真空対応
MCMCRシリーズ MCSMCRSシリーズ MCWMCRWシリーズ MCVMCRVシリーズ
レンジ比 200:1 100:1 200:1 MCV200:1
MCVS100:1
0.5SCCM
(mL/min)		 0.0025-0.5 0.005-0.5 0.0025-0.5 0.0025-0.5
(0.005-0.5)
1SCCM
(mL/min)		 0.005-1.0 0.01-1.0 0.005-1.0 0.005-1.0
(0.01-1.0)
2SCCM
(mL/min)		 0.01-2.0 0.02-2.0 0.01-2.0 0.01-2.0
(0.02-2.0)
5SCCM
(mL/min)		 0.025-5.0 0.05-5.0 0.025-5.0 0.025-5.0
(0.05-5.0)
10SCCM
(mL/min)		 0.05-10 0.1-10 0.05-10 0.05-10
(0.1-10)
20SCCM
(mL/min)		 0.1-20 0.2-20 0.1-20 0.1-20
(0.2-20)
50SCCM
(mL/min)		 0.25-50 0.5-50 0.25-50 0.25-50
(0.5-50)
100SCCM
(mL/min)		 0.5-100 1.0-100 0.5-100 0.5-100
(1.0-100)
200SCCM
(mL/min)		 1.0-200 2.0-200 1.0-200 1.0-200
(2.0-200)
500SCCM
(mL/min)		 2.5-500 5.0-500 2.5-500 2.5-500
(5.0-500)
1SLPM
(L/min)		 0.005-1.0 0.01-1.0 0.005-1.0 0.005-1.0
(0.01-1.0)
2SLPM
(L/min)		 0.01-2.0 0.02-2.0 0.01-2.0 0.01-2.0
(0.02-2.0)
5SLPM
(L/min)		 0.025-5.0 0.05-5.0 0.025-5.0 0.025-5.0
(0.05-5.0)
10SLPM
(L/min)		 0.05-10 0.1-10 0.05-10 0.05-10
(0.1-10)
20SLPM
(L/min)		 0.1-20 0.2-20 0.1-20 0.1-20
(0.2-20)
40SLPM
(L/min)		 - - 0.2-40 -
50SLPM
(L/min)		 0.25-50 0.5-50 0.25-50 -
100SLPM
(L/min)		 0.5-100 1.0-100 0.5-100 -
250SLPM
(L/min)		 1.25-250 2.5-250 1.25-250 -
500SLPM
(L/min)		 2.5-500 5.0-500 2.5-500 -
1000SLPM
(L/min)		 5.0-1000 10-1000 5.0-1000 -
2000SLPM
(L/min)		 10-2000 20-2000 - -
3000SLPM
(L/min)		 15-3000 30-3000 - -
5000SLPM
(L/min)		 25-5000 50-5000 - -

外形寸法

(単位：mm)

流量レンジ MC/MCRシリーズ MCS/MCRSシリーズ MCW/MCRWシリーズ
0.5SCCM H98.98
W84.79
D26.67		 H111.68
W84.79
D26.67		 H98.98
W84.79
D26.67
1SCCM H98.98
W84.79
D26.67		 H111.68
W84.79
D26.67		 H98.98
W84.79
D26.67
2SCCM H98.98
W84.79
D26.67		 H111.68
W84.79
D26.67		 H98.98
W84.79
D26.67
5SCCM H98.98
W84.79
D26.67		 H111.68
W84.79
D26.67		 H98.98
W84.79
D26.67
10SCCM H98.98
W84.79
D26.67		 H111.68
W84.79
D26.67		 H98.98
W84.79
D26.67
20SCCM H98.98
W84.79
D26.67		 H111.68
W84.79
D26.67		 H98.98
W84.79
D26.67
50SCCM H98.98
W84.79
D26.67		 H111.68
W84.79
D26.67		 H103.30
W91.14
D26.67
100SCCM H103.30
W91.14
D26.67		 H116.00
W91.14
D26.67		 H103.30
W91.14
D26.67
200SCCM H103.30
W91.14
D26.67		 H116.00
W91.14
D26.67		 H103.30
W91.14
D26.67
500SCCM H103.30
W91.14
D26.67		 H116.00
W91.14
D26.67		 H103.30
W91.14
D26.67
1SLPM H103.30
W91.14
D26.67		 H116.00
W91.14
D26.67		 H103.30
W91.14
D26.67
2SLPM H103.30
W91.14
D26.67		 H116.00
W91.14
D26.67		 H103.30
W91.14
D26.67
5SLPM H103.30
W91.14
D26.67		 H116.00
W91.14
D26.67		 H110.92
W137.36
D40.64
10SLPM H103.30
W91.14
D26.67		 H116.00
W91.14
D26.67		 H110.92
W137.36
D40.64
20SLPM H103.30
W91.14
D26.67		 H116.00
W91.14
D26.67		 H110.92
W101.60
D40.64
40SLPM - - H139.57
W184.79
D57.15
50SLPM H110.92
W137.36
D40.64		 H144.45
W194.31
D57.15		 H139.57
W184.79
D57.15
100SLPM H110.92
W137.36
D40.64		 H144.45
W194.31
D57.15		 H139.57
W184.79
D57.15
250SLPM H139.57
W194.31
D57.15		 H152.07
W194.31
D57.15		 H139.57
W184.79
D57.15
500SLPM H139.57
W184.79
D57.15		 H152.07
W184.79
D57.15		 H139.57
W205.74
D73.66
1000SLPM H139.57
W184.79
D57.15		 H152.07
W184.79
D57.15		 H159.18
W248.92
D97.54
2000SLPM H139.57
W205.74
D73.66		 H152.07
W205.74
D73.66		 -
3000SLPM H139.57
W226.06
D73.66		 H152.07
W226.06
D73.66		 -
5000SLPM H159.58
W248.92
D97.54		 H179.91
W254.00
D114.30		 -

接続口径

※1500SLPMタイプは生産終了しました。(2019.7)

流量レンジ MC/MCRMCS/MCRSシリーズ MCW/MCRWシリーズ MCV/MCRVシリーズ
0.5SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
1SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
2SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
5SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
10SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
20SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
50SCCM M5(10-32) めねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
100SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
200SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
500SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
1SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
2SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
5SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
10SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
20SLPM 1/8inchNPTめねじ 1/4inchNPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
40SLPM - 1/2inch NPTめねじ -
50SLPM 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
100SLPM 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
250SLPM 1/2inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
500SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
1000SLPM 3/4inch NPTめねじ 2inch NPTめねじ -
2000SLPM 3/4inch NPTめねじ
(1-1/4inch NPTめねじ)		 - -
3000SLPM 1-1/4inch NPTめねじ - -
5000SLPM 1-1/2inch NPTめねじ - -

F.S.流量時の圧力損失　

（下流大気圧開放において）

流量レンジ MC/MCRシリーズ MCS/MCRSシリーズ MCW/MCRWシリーズ
0.5SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
1SCCM 13.79kPa(D) 13.79kPa(D) 0.483kPa(D)
2SCCM 13.79kPa(D) 13.79kPa(D) 0.483kPa(D)
5SCCM 13.79kPa(D) 13.79kPa(D) 0.483kPa(D)
10SCCM 19.31kPa(D) 19.31kPa(D) 0.483kPa(D)
20SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
50SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
100SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
200SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
500SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
1SLPM 10.34kPa(D) 10.34kPa(D) 0.689kPa(D)
2SLPM 20.68kPa(D) 20.68kPa(D) 1.241kPa(D)
5SLPM 13.79kPa(D) 13.79kPa(D) 0.689kPa(D)
10SLPM 37.92kPa(D) 37.92kPa(D) 0.827kPa(D)
20SLPM 137.9kPa(D) 137.9kPa(D) 1.793kPa(D)
40SLPM - - 0.965kPa(D)
50SLPM 34.47kPa(D) 17.24kPa(D) 1.172kPa(D)
100SLPM 106.87kPa(D) 17.24kPa(D) 2.068kPa(D)
250SLPM 16.55kPa(D) 16.55kPa(D) 4.757kPa(D)
500SLPM 44.82kPa(D) 44.82kPa(D) 4.757kPa(D)
1000SLPM 96.53kPa(D) 96.53kPa(D) 11.376kPa(D)
2000SLPM 197.19kPa(D) 197.19kPa(D) -
3000SLPM 115.83kPa(D) 115.83kPa(D) -
5000SLPM 97.22kPa(D) 97.22kPa(D) -

型式

（シリーズ名 - レンジ - 表示タイプ - オプション1 / オプション2）

シリーズ レンジ 表示タイプ オプション1 オプション2
MC/MCR
MCS/MCRS
MCW/MCRW		 上表参照 -D
-TFT
-RD
-TFTRD		 -REMOTE
-485
-X
など
 TOT
HC
NTP:0℃
など


表示タイプ
-D  モノクロ液晶
-TFT  カラー液晶
-RD  センサー部表示部セパレートタイプ モノクロ液晶
-TFTRD  センサー部表示部セパレートタイプ カラー液晶
[オプション1] 主なオプション
-REMOTE  高温度ガス対応 (流体温度:-10〜100℃/周囲温度:-10〜85℃)
-485  RS-485通信対応
-X  防爆対応 (CSA規格およびATEX規格)
[オプション2] 主なオプション
TOT  積算機能搭載
HC  不確かさ ±(0.4% Reading +0.2% F.S.)
NPT:0℃  ノルマル校正 (標準は STP:20℃ の20℃校正)
【例】 シリーズ名 − 流量レンジ − 表示タイプ − オプション1 ／ オプション2
M-20SCCM-D
MB-100SCCM-D/TOT,HC
M-500SLPM-D-REMOTE/TOT
MW-0.5SCCM-D/HC
MW-5SCCM-TFT/NTP:0℃
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