日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・コリオリ式流量計/微少流量計/デジタル指示計の販売
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▼マスフローメーター
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ALICAT(アリキャット)製品
一般モデル
マスフローメーター
1台で混合ガス含めて130種類のガスに対応。精度も高く高速応答。 腐食/冷媒ガス対応や低圧力モデルもラインナップ。
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マスフローコントローラー
標準タイプのMC/MCRシリーズを筆頭にさまざまな環境に対応した マスフローコントローラーがラインナップ。
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液体用フローメーター
マスフローメーターと同様なラミナーフロー方式。安定した出力が特徴。純水の他、いろいろな薬液にも対応可能な液体用流量計。
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液体用フローコントローラー
100msの応答速度で指定流量へすばやく制御。希望流量を短時間で得られます。流量設定はフロントスイッチにより簡単操作。
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ALICAT(アリキャット)製品
専用モデル
コリオリシリーズ
食品関係の低流量から高圧での流体まで正確に測定できます。可変流体混合物、腐食性の液体にも対応します。
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ポータブルシリーズ
持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーターです。フル充電で約18時間の稼動が可能。(モノクロディスプレイ)
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バイオシリーズ
長期間の安定性:極めて低いゼロドリフト。プロセス水汚染に対する保証。高コントラスト、くっきりディスプレイ。
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BASISシリーズ
OEM供給用に開発された小型でローコストのマスフローコントローラー。対応ガスはAirを含めて8種類。
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半導体製品装置市場向け製品
専用モデル
マスフローコントローラー
混合ガスを含め98種のガスに対応。±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確度で100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。
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SEMI規格
混合ガスを含め98種のガスに対応。±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確度で100msの制御応答。※SEMI規格コンパチブル製品です。
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BASIS
標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。100msの制御応答。アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載。本シリーズはOEM製品です。
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圧力コントローラー
高速応答で安定性のある圧力制御。アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。±(0.25% FS) の高い圧力精度。
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オプション&アクセサリー
TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等
さまざまなオプションがございます。
こちらから
その他
デジタル指示計 / パルスコンバーター
デジタル指示計96×96サイズ
瞬時流量、積算流量、比率、回転など多彩な指示計をご用意。
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デジタル指示計48×96サイズ
通過時間、通過速度、瞬時流量、積算流量、比率、回転など多彩な指示計をご用意。
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パルスコンバータ
パルス信号をアナログ信号に変換する変換器です。DINレールに対応しています。
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