日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター / デジタル指示計

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製品紹介
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差圧式流量計アリキャット製品

熱式流量計アリキャット製品

専用モデルアリキャット製品

半導体製品装置市場向け製品専用モデル

  • マスフローコントローラーMC/MCRシリーズ

    マスフローコントローラー

    混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確度で100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。 詳細はこちら

  • SEMI規格マスフローコントローラー

    SEMI規格

    混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確度で100msの制御応答。※SEMI規格コンパチブル製品です。 詳細はこちら

  • BASISマスフローコントローラー

    BASIS

    標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。100msの制御応答。アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載。 詳細はこちら

  • 圧力コントローラー

    圧力コントローラー

    高速応答で安定性のある圧力制御。アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。±(0.25% FS) の高い圧力精度。 詳細はこちら

Fusion Flow Technologiesガス混合

  • 精密ガスミキサー MXMシリーズ

    MXM 精密ガスミキサー

    単一ガスの工業用高流量操作から複雑なガス混合の研究開発まで、何百もの一般的な用途向けに構築されます。
    200 SCCM ～ 50,000 SLPM の流量で最大 10 種類のガスのブレンドが可能。
    流量コントロール、圧力コントロールが同時に制御可能です。 詳細はこちら カタログ

  • 工業用ガスミキサー IMXシリーズ

    IMX 工業用ガスミキサー

    ガス混合プラットフォームは、パーセントレベルの高流量の施設インフラストラクチャ アプリケーション向けに設計されており、大規模な商業規模の運用に最適。
    100SLPM ～ 3200SLPM の範囲の組み合わせ流量で、最大4つのガスの正確なブレンドが可能で、 流量コントロール、圧力コントロールが同時に制御可能です。 詳細はこちら

Equilibarレギュレーター

  • 精密ガスミキサー MXMシリーズ

    背圧レギュレーター(研究モデル)

    Researchシリーズの背圧レギュレータは、世界中のラボおよびガス分析システムの重要な性能問題を解決します。特に、触媒研究や貯留層コア分析などの用途で人気があります。 詳細はこちら

  • 精密ガスミキサー MXMシリーズ

    背圧レギュレーター(一般モデル)

    唯一の可動部分としてフレキシブルダイヤフラムを採用し、摩擦のない安定した動作を実現します。Equilibar のドーム型マルチオリフィス設計は、最も複雑なアプリケーションに対して瞬時の制御と優れた精度を提供します。 詳細はこちら

  • 精密ガスミキサー MXMシリーズ

    背圧レギュレーター(産業用モデル)

    産業用BDシリーズ背圧バルブは、より大きなサイズとより高いスループットを必要とするアプリケーション向けに設計されています。ポートサイズは1.5インチから4インチまでの標準で、ご要望に応じてカスタムサイズもご用意しています。 詳細はこちら

オプション＆アクセサリー
アリキャットロゴ

TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等 さまざまなオプションがございます。

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デジタル指示計/変換器　デジタル指示計 / パルスコンバーター