日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・コリオリ式流量計/微少流量計/デジタル指示計の販売

ALICAT(アリキャット)本社ホームページ ALICAT正規代理店
お電話はこちらから
TEL 03-6432-4006
受付時間平日9:30〜17:30
FAX 24時間受付03-6432-4010

製品紹介
product

ALICAT(アリキャット)製品一般モデル

ALICAT(アリキャット)製品専用モデル

半導体製品装置市場向け製品専用モデル

  • マスフローコントローラーMC/MCRシリーズ

    マスフローコントローラー

    混合ガスを含め98種のガスに対応。±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確度で100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。 詳細はこちら

  • SEMI規格マスフローコントローラー

    SEMI規格

    混合ガスを含め98種のガスに対応。±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確度で100msの制御応答。※SEMI規格コンパチブル製品です。 詳細はこちら

  • BASISマスフローコントローラー

    BASIS

    標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。100msの制御応答。アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載。本シリーズはOEM製品です。 詳細はこちら

  • 圧力コントローラー

    圧力コントローラー

    高速応答で安定性のある圧力制御。アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。±(0.25% FS) の高い圧力精度。 詳細はこちら

オプション&アクセサリー
アリキャットロゴ

TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等 さまざまなオプションがございます。





その他 デジタル指示計 / パルスコンバーター