日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・コリオリ式流量計/微少流量計/デジタル指示計の販売

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製品紹介
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製品カテゴリー

ALICAT（アリキャット）製品一般モデル

マスフローメーター

1台で混合ガス含めて130種類のガスに対応。精度も高く高速応答。腐食/冷媒ガス対応や低圧力モデルもラインナップ。詳細はこちら
マスフローコントローラー

標準タイプのMC/MCRシリーズを筆頭にさまざまな環境に対応したマスフローコントローラーがラインナップ。詳細はこちら
液体用フローメーター

マスフローメーターと同様なラミナーフロー方式。安定した出力が特徴。純水の他、いろいろな薬液にも対応可能な液体用流量計。詳細はこちら
液体用フローコントローラー

100msの応答速度で指定流量へすばやく制御。希望流量を短時間で得られます。流量設定はフロントスイッチにより簡単操作。詳細はこちら

ALICAT（アリキャット）製品専用モデル

コリオリシリーズ

食品関係の低流量から高圧での流体まで正確に測定できます。可変流体混合物、腐食性の液体にも対応します。詳細はこちら
ポータブルシリーズ

持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーターです。フル充電で約18時間の稼動が可能。（モノクロディスプレイ）詳細はこちら
バイオシリーズ

長期間の安定性：極めて低いゼロドリフト。プロセス水汚染に対する保証。高コントラスト、くっきりディスプレイ。詳細はこちら
BASISシリーズ

OEM供給用に開発された小型でローコストのマスフローコントローラー。対応ガスはAirを含めて8種類。詳細はこちら

半導体製品装置市場向け製品専用モデル

マスフローコントローラー

混合ガスを含め98種のガスに対応。±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確度で100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。詳細はこちら
SEMI規格

混合ガスを含め98種のガスに対応。±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確度で100msの制御応答。※SEMI規格コンパチブル製品です。詳細はこちら
BASIS

標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。100msの制御応答。アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載。本シリーズはOEM製品です。詳細はこちら
圧力コントローラー

高速応答で安定性のある圧力制御。アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。±(0.25% FS) の高い圧力精度。詳細はこちら

オプション＆アクセサリー

アリキャットロゴ

TFTカラー液晶・リモートディスプレイ等さまざまなオプションがございます。

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その他　デジタル指示計 / パルスコンバーター

デジタル指示計96×96サイズ

瞬時流量、積算流量、比率、回転など多彩な指示計をご用意。
詳細はこちら
デジタル指示計48×96サイズ

通過時間、通過速度、瞬時流量、積算流量、比率、回転など多彩な指示計をご用意。
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パルスコンバータ

パルス信号をアナログ信号に変換する変換器です。DINレールに対応しています。
詳細はこちら