日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター / デジタル指示計

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製品紹介
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製品カテゴリー

差圧式流量計アリキャット製品

マスフローメーター

1台で混合ガス含めて130種類のガスに対応。精度も高く高速応答。腐食/冷媒ガス対応や低圧力モデルもラインナップ。詳細はこちら
マスフローコントローラー

標準タイプのMC/MCRシリーズを筆頭にさまざまな環境に対応したマスフローコントローラーがラインナップ。詳細はこちら
液体用フローメーター

マスフローメーターと同様なラミナーフロー方式。安定した出力が特徴。純水の他、いろいろな薬液にも対応可能な液体用流量計。詳細はこちら
液体用フローコントローラー

100msの応答速度で指定流量へすばやく制御。希望流量を短時間で得られます。流量設定はフロントスイッチにより簡単操作。詳細はこちら

熱式流量計アリキャット製品

マスフローメーター

直接流れるガスの温度を測るので、すばやく正確な温度の読み取りができます。アナログ出力/入力、RS-485通信を搭載。詳細はこちら PDFダウンロードスペックシート
マスフローコントローラー

標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。100msの制御応答。アナログ出力/入力、RS-485通信を搭載。詳細はこちら PDFダウンロードスペックシート

専用モデルアリキャット製品

IS-MaX / IS-Pro シリーズ

本質安全防爆仕様 CSA/ATEXの認証を受けた防爆仕様。CSA規格「Class 1 Division 2 Group A, B, C and D T4」ATEX指令「Ex Ⅱ 3G EEx nA IIC T4」
相対湿度センサーオプション搭載可能です。詳細はこちら
コリオリシリーズ

コリオリ式流量計食品関係の低流量から高圧での流体まで正確に測定。可変流体混合物、腐食性の液体にも対応。表示応答時間：<100ms (40g/h-10kg/h) 詳細はこちら
ポータブルシリーズ

差圧式流量計持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーターです。フル充電で約18時間の稼動が可能。（モノクロディスプレイ）詳細はこちら
バイオシリーズ

差圧式流量計バイオリアクター向け高精度フローコントローラー。極めて低いゼロドリフトによる長期間安定。プロセス水による汚染を防止。詳細はこちら

半導体製品装置市場向け製品専用モデル

マスフローコントローラー

混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確度で100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。詳細はこちら
SEMI規格

混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確度で100msの制御応答。※SEMI規格コンパチブル製品です。詳細はこちら
BASIS

標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。100msの制御応答。アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載。詳細はこちら PDFダウンロードスペックシート
圧力コントローラー

高速応答で安定性のある圧力制御。アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。±(0.25% FS) の高い圧力精度。詳細はこちら

オプション＆アクセサリー

アリキャットロゴ

TFTカラー液晶・リモートディスプレイ等さまざまなオプションがございます。

こちらから

Fusion Flow ガスミキサーガス混合

MXM-TK ガスミキサー

低～中流量用途向けのオールインワン6チャンネルミキサー：MAP包装用等。詳細はこちら PDFダウンロードスペックシート
MXM-MINI ガスミキサー

低流量用途向けのオールインワン6チャンネルミキサー：MAP包装用等。詳細はこちら PDFダウンロードスペックシート
MXM-SA ガスミキサー

すべてのフロー用途(卓上型)向けのオープンフォームファクター10チャンネルミキサー：MAP包装用等。詳細はこちら PDFダウンロードスペックシート
MXM-RM ガスミキサー

すべてのフロー用途(ラックマウント)向けのオープンフォームファクター10チャンネルミキサー：MAP包装用等詳細はこちら PDFダウンロードスペックシート
IMX ガスミキサー

施設運用の高流量産業用ガスミキサー：包装ラインとコンプライアンスへのメリット。詳細はこちらスペックシート

背圧レギュレーターダイヤフラム採用の背圧レギュレーター

研究シリーズ

高圧・低流量の条件でも高精度を実現。バルブは、1/16、1/8、1/4インチをご用意。低流量・低デッドボリュームの要件に対応。詳細はこちら
一般シリーズ

1/4インチから1インチまでのポートサイズで、気体、液体、および混合相流体の安定した制御を実現します。詳細はこちら
産業用シリーズ

ステンレス鋼またはハステロイから機械加工されており、パーソナルケア製品、食品・飲料、医薬品製造などの業界での使用に適しています。詳細はこちら
電子式

電子式背圧制御とは、アナログ信号またはデジタル信号に基づいて背圧を自動的に制御するシステムのことです。詳細はこちら
サニタリー

ステンレス鋼またはハステロイから機械加工されており、パーソナルケア製品、食品・飲料、医薬品製造などの業界での使用に適しています。詳細はこちら

超臨界

目詰まりしない超臨界流体背圧レギュレーター。ジュール・トムソン効果を低減するためのブロック耐性設計。詳細はこちら
高温

SS316ダイヤフラム、グラファイトシール、CシールOリングなどを備えた精密背圧レギュレーター。詳細はこちら
高圧

最大10,000 psig / 689 bar(g)の高圧用途において、高精度な性能を発揮。詳細はこちら
マイティマイト

既存の機器と全く同じ形状で交換できる製品をお探しの方向け製品。詳細はこちら

真空レギュレーター

高精度

1/4インチから1インチまでの配管サイズに対応した高解像度・高精度。詳細はこちら
高流量真空バルブ

高精度高流量真空調整弁（EVR）は、最大4インチまでの配管サイズにおいて、他に類を見ない優れた性能を発揮します。詳細はこちら
電子式

プロセスを制御する電子式真空レギュレーター。クローズドループ制御（PID制御モード）で幅広い流量範囲でより高い精度が得られます。詳細はこちら
大型電子真空バルブ

プロセスオートメーション用電子真空バルブ。電子式真空調整弁サイズ1.5インチ～4インチ。詳細はこちら
パイロット

真空レギュレータのパイロット真空圧力を制御。詳細はこちら

電子式圧力調整器

EPR 3000 高精度電子圧力調整器

高精度な電子制御が求められる用途において、背圧レギュレータのパイロットレギュレータとしてよく使用されます。詳細はこちら

デジタル指示計/変換器　デジタル指示計 / パルスコンバーター

デジタル指示計 96×96サイズ

瞬時流量、積算流量、回転、位相差入力など多彩な指示計をご用意。
詳細はこちら
デジタル指示計 48×96サイズ

瞬時/積算流量、回転、比率、通過時間/速度など多彩な指示計をご用意。
詳細はこちら
パルスコンバーター

パルス信号をアナログ信号に変換します。DINレール対応です。
詳細はこちら