MCD/MCRDシリーズ(デュアルバルブ)
MCD/MCRDシリーズ
- バルブを2基搭載し、双方向制御が可能。
- 加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。
- 腐食性ガスおよび低圧力損失に対応したモデルもラインナップ。
マスフロー制御
Mass Flow (or Volumetric Flow) Control
![マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ](img_product/massflowcontroller/mfc_mcd_ex1.png)
真空引き
Inverse Mass Flow (or Volumetric Flow) Control with Vacuum
![マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ](img_product/massflowcontroller/mfc_mcd_ex2.png)
双方向
Bidirectional Mass Flow (or Volumetric Flow) Control
![マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ](img_product/massflowcontroller/mfc_mcd_ex3.png)
絶対圧制御
Flowing Absolute Pressure Control
![マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ](img_product/massflowcontroller/mfc_mcd_ex4.png)
絶対圧制御
Dead-Ended Absolute Pressure Control