日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター

MC/MCRシリーズ（標準タイプ）

• 混合ガスを含め98種のガスに対応。
• ±0.6% RD(16.7〜100% FS)の正確度で100msの制御応答。
• 積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。

※負圧および真空引きでご使用の場合は別途ご相談ください。

MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応）

• 標準タイプで可能なガスに加え、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種のガスに対応。
• 材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。
• 標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。

※負圧および真空引きでご使用の場合は別途ご相談ください。

MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ）

• 標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。
• 低圧のアプリケーションに対応。
• 0.5SCCMから1000SLPMまでラインナップ。

※負圧および真空引きでご使用の場合は別途ご相談ください。

IS-Max シリーズ（本質安全防爆仕様）

• CSA/ATEXの認証を受けた防爆仕様。 CSA規格「Class 1 Division 2 Group A, B, C and D T4」ATEX指令「Ex �U 3G EEx nA IIC T4」
• 相対湿度センサーオプション搭載可能です。

MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ）

• 最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。
• 耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。
• 標準タイプ同様98種のガスに対応。

※負圧および真空引きでご使用の場合は別途ご相談ください。

MCE/MCESシリーズ（SEMI規格：半導体装置向け高精度マスフローコントローラー）

• 流路に制御バルブを内蔵。
• ±0.6% RD(16.7〜100% FS)の正確度で100msの制御応答。
• 標準タイプで可能なガスに加え、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種のガスに対応。

MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載）

• 流路に制御バルブを内蔵し、外部にシャットオフバルブを搭載。
• より気密性が求められるアプリケーションに対応。
• MCVSシリーズは腐食性ガスに対応します。

[熱式流量計]BASISシリーズ（小型ローコストマスフローコントローラー）

• 標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。
• 100msの制御応答。
• アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載。

BIOシリーズ（バイオリアクター向け高精度フローコントローラー）

• 信頼性、適応性、互換性のあるフローコントロール。
• ASME（アメリカ機械学会）推奨：316Lステンレス鋼とUSPクラスVI、 FDA（食品医薬品局）グレードのエラストマー。
• 長期間の安定性：極めて低いゼロドリフト。プロセス水汚染に対する保証。

PC/PC3/PCD/PCRシリーズ（圧力コントローラー）

• 高速応答で安定性のある圧力制御。
• アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。
• ±(0.25% FS) の高い圧力精度。

IS-Pro シリーズ（本質安全防爆仕様）

• CSA/ATEXの認証を受けた防爆仕様。 CSA規格「Class 1 Division 2 Group A, B, C and D T4」ATEX指令「Ex �U 3G EEx nA IIC T4」
• 相対湿度センサーオプション搭載可能です。

MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ）

• バルブを2基搭載し、双方向制御が可能。
• 加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。
• 腐食性ガスおよび低圧力損失に対応したモデルもラインナップ。

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マスフロー制御
Mass Flow (or Volumetric Flow) Control

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真空引き
Inverse Mass Flow (or Volumetric Flow) Control with Vacuum

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双方向
Bidirectional Mass Flow (or Volumetric Flow) Control

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絶対圧制御
Flowing Absolute Pressure Control

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絶対圧制御
Dead-Ended Absolute Pressure Control