日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター

Q1購入方法を教えてください。

• 当社は営業所が茨城と大阪にありますのでお近くの営業所にご連絡ください。お電話およびメール等でご連絡ください。
  流量計お問い合わせフォーム 流量計のお見積りフォーム

Q2製品の使用方法について教えてください。

• 使用方法は取扱説明書をご参照ください。
  取扱説明書ダウンロード
  取扱説明書に記載のない場合や不明点がある場合はお電話およびメール等でご連絡ください。その際にご使用される製品の型式をお伝えください。 お問い合わせフォーム

Q3製品の保証について教えてください。

• 当社は販売代理店となりますので保証につきましてはメーカー依存となります。メーカーおよび当社の責任による故障が発生した場合は無償で製品を修理させていただきます。 ただし、使用者側の取り扱いに問題がある場合は保証対象から除外させていただき、免責とさせていただきます。

Q4納期はどれくらいかかりますか？

• 現在、世界的に電子部品や鉄鋼の不足が続いており、使用する部材の入荷による納期への影響が深刻となっております。
  お見積り時や受注の際に納期をお知らせいたしますが、部材の入荷状況により遅延が発生する可能性がございます。
  
  以下モデルの納期は 約4週間 となります。
  フルスケール 2 mL/min 〜 500 L/minの標準仕様のモデル　(M/MBシリーズ)
  フルスケール 2 mL/min 〜 100 L/minの標準仕様のモデル　(MCシリーズ)
  フルスケール 2 mL/min 〜 100 L/minの低圧力損失のモデル　(MW/MWBシリーズ)
  フルスケール 2 mL/min 〜 2 L/minの低圧力損失のモデル　(MCWシリーズ)
  それ以外のモデルの納期は 約2〜3ヶ月 となります。
  (2023年10月現在)
  
  アリキャット工場では現在納期短縮に向け準備を進めています。
  ご迷惑をお掛けいたしますが、ご了承のほどよろしくお願いいたします。
  
  年間発注台数が分かっている場合、年間一括発注を行えば、事前に毎月出荷をスケジュールすることができます。
  10〜30ユニット/月の間で可能となりますが、最初の発送には約2〜3ヶ月かかります。
  
  納期は機種により異なりますので、詳しくはお見積り内容をご記入の上、お問合せください。 お見積りご依頼フォーム

Q5再校正または修理はできますか？

• 校正および修理はアメリカのメーカーにて行います。
  製品を当社大阪営業所に送っていただき、当社よりメーカーへ送ります。
  また、FAXまたはお問い合わせフォームより事前にご依頼品のシリアルNoをお知らせください。
  お見積依頼も承ります。
  尚、現在納期に関しまして少々お時間いただいております。 新型コロナの影響で、製品内部の状況により約1〜3ヶ月（製品弊社到着後）となっています。
  お問い合わせフォーム

Q6試験成績書の発行は可能ですか？

• Alicat製品すべてに標準で校正証明書 兼 試験成績書が付属します。

Q7トレーサビリティの証明書の発行は可能ですか？

• NISTトレーサブルの証明書が発行可能です。

Q8送料の条件について教えて下さい。
まとめて購入等で送料無料になるでしょうか？

• 海外品のため、送料無料とすることは出来かねます。
  １１台以上のご購入の場合は、お見積時にご相談下さい。１１台目以上の送料を割引対象とさせて頂きます。
  校正の場合はまとめて３台以上のご依頼の場合、ご相談下さい。３台目以上の送料を割引対象とさせて頂きます。

Q9どのようなアプリケーションで使用できますか。

• 様々なケーススタディ＆アプリケーションがございます。以下のページをご参考下さい。 Case Studies and Applications（英語ページ）

Q1圧力損失の小さいものはありますか？

• 低圧力損失タイプの製品がございます。（※詳細は各営業所にご連絡ください） マスフローメーター機械仕様 お問い合わせフォーム

Q2低圧でも測定可能なものはありますか？

• 低圧力損失タイプの製品であれば低圧でのご使用が可能です。（※詳細は各営業所にご連絡ください） マスフローメーター機械仕様 お問い合わせフォーム

Q3高圧で使用できるものはありますか？

• 〇最大2.2MPaA(320PSIA)で使用できる製品がございます。
  マスフローメーター仕様
  〇燃料電池やロケットの研究でご使用になる場合は、 最大27.5MPaA(4000PSIA)で使用できる製品がございます。
  （※詳細は各営業所にご連絡ください）
  CODAシリーズ
  カタログダウンロード

Q41台の流量計で気体と液体を計測する事ができますか？

• CODAシリーズのコリオリ式が該当します。 但し、色々な条件がありますので詳しくは各営業所までご連絡ください。 CODAシリーズ
  カタログダウンロード お問い合わせフォーム

Q5リークを測定したいのですが、どこまで小さなレンジがありますか？

• 最も微少タイプで 0.5SCCM がございます。範囲としましては 0.0025SCCM から測定が可能です。 マスフローメーター
  ラインナップ

Q6大流量はどのくらいまで測定が可能ですか。

• 最大で 5000SLPM タイプがございます。
  上記以上の流量の場合は確認させていただきますので、お問い合わせください。 お問い合わせフォーム

Q7ガスリストに無いガスの測定はどのようにすれば測定できますか？

• ガスデータ等をお持ちの場合は製品に登録が可能な場合もございます。１度ご相談ください。
  お問い合わせフォーム

Q813Ａガスは測定できますか？

• ガスを組成しているメタン、エタン、プロパン、ブタンの各割合を混合ガスと登録していただければ測定が行えます。

Q9BASISシリーズは1台でも購入できますか？

• 可能です。
  当社は営業所が茨城と大阪にありますのでお近くの営業所にご連絡ください。お電話およびメール等でご連絡ください。
  流量計お問い合わせフォーム 流量計のお見積りフォーム

Q10MCV/MCVSのシャットオフバルブの開閉は外部コマンドから制御可能でしょうか。

• MCV/MCVS製品に搭載されるシャットオフバルブのオープンはエア供給で行いますので、製品および外部コマンドでの制御は行えません。
  (ノーマルクローズのため、圧を抜いてバルブをクローズします。)

Q11低圧損タイプはなぜ低圧損を実現できるのでしょうか。

• �@フローボディサイズが大きい
  低圧損タイプは通常タイプに比べて約４〜５倍のレンジの本体を使用しています。
  大きい本体で少ない流量を流すと、圧損は小さくなります。
  
  �A搭載している差圧センサーが違う
  低圧損タイプはボディが非常に大きいため、通常の差圧センサーでは感度が低くなります。
  そのため、通常タイプよりはるかに感度の高い差圧センサーを使用しています。

Q12マスフローコントローラーをマスフローメーターとして使用するため設定値をフルオープンにしたいのですが、可能でしょうか？

• 通信からのみ設定可能となります。
  バルブ制御をホールドする機能があります。短時間であれば、SETPOINTを最大流量で固定すれば可能です。
  長時間そのまま使用されますと、バルブが熱を持ち、故障の原因となりますのでご注意ください。

Q13RS-485通信ができません。

• アリキャット本体の両側に、必ず100Ω〜120Ωの終端抵抗(最初と最後の両側に)を接続してください。信号"RS-485 (-)" 信号"RS-485 (+)" 間に接続してください。 ケーブルが長くなると、信号はケーブルの終端で反射し信号が乱れることがあります。終端抵抗は、この反射の乱れを防止する役割があります。 Knowledge Base

Q14 マスフローコントローラーで制御する最大流量を制限することは可能でしょうか。

• 本体操作により「Setpoint Limits（設定流量の上限および下限の設定）」の設定にて可能です。

Q15 −30℃のエタノールの流量を制御をすることは可能でしょうか。

• CODAシリーズのコリオリコントローラーで対応可能です。 動作温度： -35〜70℃（流体）; 0〜60℃（周囲）
  但し、色々な条件がありますので詳しくは各営業所までご連絡ください。 CODAシリーズ
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Q16 アナログ出力のサンプリング周期を教えてください。

• アナログ出力のサンプリング周期は1msとなります。
  また、アナログ電圧出力の分解能に関しましては、4000分解能となっております。

Q17 マスフローコントローラーが運転中、突然設定値を超える異常な流量が流れます。
使用当初は制御が出来ていましたが、最近になって異常流量が流れます。原因は何ですか？

• 季節的な環境変化により、バルブの制御能力に影響を与えることはありません。
  使用当初と現在の入口圧、出口圧を確認し比較してください。
  PID調整を行っている場合は、工場出荷状態に戻して再度ご確認ください。

Q18 PID調整とは何ですか？変更して構わないでしょうか？

• PID の各値は比例制御バルブの操作性能を決めます。これらの条件は制御速度や安定性、オーバーシュート、ハンチング等に影響します。
  すべての製品はほとんどのアプリケーションで扱えるよう一般的な調整をして工場から出荷されています。
  
  PID それぞれの値を調整することで、設定流量に達するまでの制御速度を調整できます。
  速度を早くするとオーバーシュート、アンダーシュートなど繰り返したりしますので装置に応じた値を設定してください。
  
  もし安定性や異常な流量、ハンチング、制御速度などに関して問題が起こった場合は、工場出荷状態に戻してください。

Q19 アナログ電圧出力がドロップしてしまう。

• ケーブル長をご確認ください。
  アナログ出力および入力をアナログ電圧でご使用の場合、推奨されるケーブルの長さは本体単体で1.8〜3.0ｍとなります。
  6.0ｍを越えるケーブルをご使用される場合は、アナログ電流をご選択下さい。 アクセサリー：ケーブル類 お問い合わせフォーム

Q20 MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応）の高圧モデルはありませんでしょうか。

• 現在、製造されておりません。
  腐食性ガス／冷媒ガス対応で高圧が必要な場合は、CODAシリーズ（コリオリ式 マスフローメーター/コントローラー）をご使用ください。
  但し、色々な条件がありますので詳しくは各営業所までご連絡ください。 CODAシリーズ
  カタログダウンロード お問い合わせフォーム

Q21 マスフローメーター入口にフィルターなどは不要なのでしょうか？

• ガスボンベをご使用される場合などクリーンなガスの場合、フィルターは特に必要ありません。
  ただしコンプレッサーなどをご使用される場合は使用を推奨しております。 オプション：ラインフィルター

Q22 電源供給方法を教えてください。またAC電源アダプタ、ケーブルは付属されてますか？

• 電源供給には、オプション品のAC電源アダプタもしくはケーブルが必要です。AC電源アダプタを本体の電源ジャックに接続して電源供給が可能です。
  アナログ出力やPC接続など、外部出力される場合はケーブルが必要となりますが、このケーブルを使用してコネクタから24VDCの電源供給も可能です。
  ※電源供給は電源ジャック、またはコネクタのどちらか一方からの供給となります。
  ※AC電源アダプタ、ケーブルはオプション品で別売りとなります。
  
  オプション＆アクセサリーページよりご確認ください ケーブル類 AC電源アダプタ

Q23 BIOシリーズと繋がっている配管をアルコールで殺菌したいと思っています。 故障につながりますか？

• マスフローコントローラー本体に99%または99.9%のイソプロピルアルコール(isopropyl alcohol)を流して殺菌する方法があります。
  流した後は窒素などの乾燥した不活性ガスをデバイス本体に15分間流して乾燥させることが必要となります。

Q24 半導体装置に使用できるマスフローコントローラーは取り扱っていますか？

• ・標準タイプをオプションでダウンポートに変更することも可能です。
  MCシリーズ（標準タイプ）
  ・SEMI規格対応の互換製品としてMCE/MCESシリーズがあります。
  MCEシリーズ（SEMI規格）
  ・標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサー使用の組み込み用小型マスフローコントローラーもラインナップしています。 BASISシリーズ
  
  アリキャット製品は、半導体製造工程において不可欠なプロセスガスの高精度な流量制御が可能です。 ラミナーフロー方式（層流方式）で 差圧を高速測定することにより高精度な流量制御／高速応答制御を可能にします。

  詳細はこちら
  年間発注台数が分かっている場合、年間一括発注を行えば、事前に出荷をスケジュールすることができます。
  10〜30ユニットの間で可能となりますが、最初の発送にはおよそ4ヶ月かかります。
  半導体装置向け製品に関するご相談および納期については以下よりお問い合わせください。
  お問い合わせフォーム

Q25 Alicatの製品はAirの校正でなぜ複数種類の測定ができるのですか？

• Alicatのマスフロー機器は1msec毎に圧力と温度を測定します。
  機器本体には予めNISTトレーサブルな3次元ガス特性データ(圧力と温度に対する粘度データ)が登録されています。
  測定した圧力と温度の値より、登録された3次元ガス特性データから選択したガスの粘度データを決定し、流量の演算に使用します。
  その粘度データに含まれるAirで校正することによって、登録されたガスでの測定を可能としております。

Q26 LCシリーズの乾燥方法について：内部を乾燥させるために窒素を流しても大丈夫ですか？

• はい、内部を乾燥させるために乾燥窒素を流しても大丈夫です。

Q27 ALICAT社製のMFCでは、前後に整流のための直管部が必要でしょうか？

• 通常、上流部および下流部ともに直管部分は必要ありません。
  ※高速で流れがON/OFFを繰り返すような場合は乱流が発生するため、直管部分が必要となる場合もございます。
  ラミナーフロー方式（層流方式）を採用しており、本体内部で層流を作成します。 それにより直管部分が必要なくなり、コンパクトな配管が可能です。 ラミナーフロー方式とは

Q28 ガスが流れていない状態で、セットポイントをセットするとアナログ電圧出力が上昇する。（アナログ電流出力が増加する。）

• まずは、ガスが流れていない状態では、セットポイントをセットしないように制御して下さい。
  また、ケーブル長をご確認ください。
  アナログ出力および入力をアナログ電圧でご使用の場合、推奨されるケーブルの長さは本体単体で1.8〜3.0ｍとなります。
  6.0ｍを越えるケーブルをご使用される場合は、アナログ電流をご選択下さい。
  アナログ出力および入力をアナログ電流で6〜30ｍのケーブルをご使用される場合は、電源、GNDノイズに注意して下さい。
  電源、GNDの配線も6〜30ｍのケーブルを使用することになりますので、ノイズ対策を考慮して下さい。
  マスフロー本体へ供給する電源をアイソレートした別電源(ACアダプタ等)を使用することで、ノイズ対策となることもあります。 アクセサリー：ケーブル類 お問い合わせフォーム

Q29 ALICAT製コリオリ製品の応答時間100msと速いですが、何故ですか？

• 応答速度が速いのは流管を速い周波数で振動させているためです。
  これにより、より多くのデータを取得できることに加えて、ユニットは他の振動による影響を受けにくくなります。
  つまり応答速度が速く、かつ振動に強い製品と言えます。

Q30 ALICAT製品の通信方式は何がありますか？

• Alicat本体では、アナログ、シリアル、または産業用 通信プロトコルと互換性があり、データの収集と分析を容易にします。
  オプションには、アナログ (4 〜 20 mA、0 〜 10 Vdc、0 〜 5 Vdc、または 1 〜 5 Vdc)、RS-232 経由の ASCII および Modbus RTU、RS-485 経由の ASCII および Modbus RTU、PROFIBUS、PROFINET、DeviceNet、 EtherNet/IP、Modbus TCP/IP、および EtherCATがあります。 EtherNet/IPマニュアル[英] EtherNet/IPマニュアル[日] その他通信オプションはこちら

Q31 PLC製品とALICAT製品間でEtherNet/IP通信が出来ません。

• EtherNet/IP操作マニュアルをご確認頂き、PLC側の設定をご確認下さい。 EtherNet/IPマニュアル
  [英語版26ページ参照]
  
  
  EtherNet/IPマニュアル
  [日本語版31ページ参照]
  

Q32 Mシリーズ製品において、瞬時流量および積算流量を取り込みたいのですが、対応可能でしょうか？

• Mシリーズでは、瞬時流量と積算流量の測定及び出力が可能です。
  瞬時流量はアナログ出力及びデジタル通信(RS-232C)の出力となります。
  積算流量はアナログ出力の対応がなく、デジタル通信(RS-232C)での出力となります。
  デジタル通信(RS-232C)は標準搭載機能となり、瞬時値と積算値の同時出力も可能です。
  
  取扱説明書の19ページ
  「データ収集」を参照

Q33 本体の画面にある出力単位slpmとは何でしょうか？

• slpmはSL/minと同じ単位のことであり、基準温度圧力に換算された体積流量となります。
  
  基準温度圧力は本体から設定変更することも可能で、
  例えば、M-100SLPM-D / 5V, GAS: N2, BD, STP: 20℃ の型式の場合、
  STP: 20℃(20℃ & 1 atm) での換算する仕様となっております。 「質量流量とは何ですか?」
  を参照

Q34 質量流量と体積流量の違いは？

• Alicatのマスフローメーターは、まず体積流量を計測し、同時に測定した温度と圧力の情報から基準温度・圧力に換算した質量流量(標準化した体積流量)を出力します。
  質量流量は温度と圧力が変わっても同じとなるため、流量の確認・比較をされる際は同じ基準での質量流量を使用する必要があります。
  例えば、体積流量は圧力が変わると膨張・圧縮により流量が変わるため、異なる圧力では流量を比較することは難しいことになります。
  

Q35 シールド線は、ＦＧに接続する必要がありますか。

• Alicatのシールド部分とGNDは導通しておりますが、 シールド部分も接続していただくことでノイズに強くなります。
  只、接続機器に依っては反対に大きなノイズの影響を受ける場合もあるため、 接続後にノイズの状態を見ていただければと思います。
  

Q36 マスフロ流量の0点設定(風袋引き)は、メモリへの書き込みは行っているのでしょうか。

• 0点設定(TARE)時に不揮発性メモリ(EEPROM)への書き込みが行われます。
  コントローラーの場合、SETPOINTの0設定の2秒後に自動風袋引き(AUTO TARE)が行われますが、この自動風袋引きが繰り返し呼び出される場合、不揮発性メモリ(EEPROM) の焼損を避けるために不揮発性メモリ(EEPROM)への書き込みは最大30分ごとにのみ書き込まれます。

Q37 不揮発性メモリ(EEPROM)の書き込み上限回数は何回でしょうか。

• 最大100万回となります。

Q38 ガスが流れていない状態でアナログ電流出力が増加する。又は、アナログ電圧出力が上昇する。

• ガスが流れていない状態で、セットポイントをセットしていないか確認して下さい。
  セットポイントがセットされいる場合は、セットポイントをセットしないような制御にして下さい。 また、ケーブル長をご確認ください。
  アナログ出力および入力をアナログ電圧でご使用の場合、推奨されるケーブルの長さは本体単体で1.8〜3.0ｍとなります。
  6.0ｍを越えるケーブルをご使用される場合は、アナログ電流をご選択下さい。
  アナログ出力および入力をアナログ電流で6〜30ｍのケーブルをご使用される場合は、電源、GNDノイズに注意して下さい。
  電源、GNDの配線も6〜30ｍのケーブルを使用することになりますので、ノイズ対策を考慮して下さい。
  マスフロー本体へ供給する電源をアイソレートした別電源(ACアダプタ等)を使用することで、ノイズ対策となることもあります。 アクセサリー：ケーブル類 お問い合わせフォーム

Q39 ガスが流れていない状態だとバルブが熱くなる。

• 直接触れると危険です。火傷に注意して下さい。
  ガスが流れていない状態で、セットポイントがセットされていないか確認して下さい。
  セットポイントがセットされるとガスが設定流量になるまで、バルブ全開を維持するため、熱を持ってしまいます。
  ガスが流れていない時は、セットポイントをセットしないような制御にして下さい。
  

Q40 マスフロー本体で設定されているガスと、試験で使用するガスが異なる際に、ＣＦ（コンバージョンファクタ）にてガスの係数を計算して実ガス流量に換算して流量値を求めることは可能か。
（ＣＦを使用した実ガス換算は可能か。）

• Alicatのマスフローメーターは実ガス校正をせずに１台でガスを切替えることにより、 複数ガスの測定が可能で、それをAirでの校正で実現しています。
  
  まず、Alicatのマスフローコントローラーは1msec毎に圧力と温度を測定します。
  機器本体には予めNISTトレーサブルな3次元ガス特性データ(圧力と温度に対する粘度データ)が 登録されており、測定した圧力と温度の値より、登録された3次元ガス特性データから 本体で選択したガスの粘度データを決定し、流量の演算に使用します。
  その粘度データに含まれるAirで校正することによって、登録されたガスでの測定を可能となります。
  
  下記がメーカーサイトの説明ページとなります。
  
  Gas Select機能を使用した
  高精度のマルチガス校正 お問い合わせフォーム

Q41 結露が発生していますがこのまま使用しても大丈夫でしょうか。

• アリキャット本体に結露が発生した場合（結露が予想される場合）は、ご使用にならないで下さい。故障の原因となります。
  結露（防止）対策を施してから、使用するようにして下さい。
  アリキャット本体に結露（防止）対策をし、アリキャットオプションのリモートディスプレーを使用することをオススメします。
  また、結露が予め、予想される場合は、アリキャットオプションでコンフォーマルコーティングを行うことをオススメします。

Q42 アリキャット本体から出力されるアナログ出力：4-20mAの最大負荷抵抗は何Ωですか。

• 最大負荷抵抗は 500 Ω となります。
  

Q1イクイリバール社製品の見積回答が1週間程度時間を要するのは何故ですか。

• お客様の使用アプリケーションの確認、使用条件の確認後、イクイリバール社（米国本社）にて、使用製品の選定を行います。
  その後、在庫状況の確認が取れてからの見積発行となります。（2〜4営業日程度）
  お客様への見積回答に、3〜5営業日程度必要となります。
  イクイリバール社（米国本社）からの使用製品の選定、在庫確保次第、見積発行させて頂きます。

Q2水素エネルギー業界向けではないのですが、アリキャット製品と同時購入希望です。可能でしょうか。

• 水素エネルギー業界向け以外への販売も可能です。
  同時購入可能です。
  お客様の使用アプリケーションの確認、使用条件の確認後、イクイリバール社（米国本社）にて、使用製品の選定を行います。
  まずは、お問い合わせ下さい。