日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・人工ダイヤモンド製造向けMFC・半導体装置向けMFC・コリオリ式流量計・微少流量計・液体用流量計 / デジタル指示計の販売

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よくあるご質問
Q and A

Alicat製品購入について

  • 使用方法は取扱説明書をご参照ください。
    取扱説明書ダウンロード
    取扱説明書に記載のない場合や不明点がある場合はお電話およびメール等でご連絡ください。その際にご使用される製品の型式をお伝えください。 お問い合わせフォーム
  • 当社は販売代理店となりますので保証につきましてはメーカー依存となります。メーカーおよび当社の責任による故障が発生した場合は無償で製品を修理させていただきます。 ただし、使用者側の取り扱いに問題がある場合は保証対象から除外させていただき、免責とさせていただきます。
  • 現在、世界的に電子部品や鉄鋼の不足が続いており、使用する部材の入荷による納期への影響が深刻となっております。
    お見積り時や受注の際に納期をお知らせいたしますが、部材の入荷状況により遅延が発生する可能性がございます。

    以下モデルの納期は 約1ヶ月 となります。
    フルスケール100 mL/min 〜 100 L/minの標準仕様のモデル (M/MC/MCRシリーズ)
    フルスケール 50 mL/min 〜 1 L/minの低圧力損失のモデル (MW/MCW/MCRWシリーズ)
    それ以外のモデルの納期は 4.5〜5ヶ月 となります。

    アリキャット工場では現在納期短縮に向け準備を進めています。
    ご迷惑をお掛けいたしますが、ご了承のほどよろしくお願いいたします。

    年間発注台数が分かっている場合、年間一括発注を行えば、事前に出荷をスケジュールすることができます。
    10〜30ユニットの間で可能となりますが、最初の発送にはおよそ4.5ヶ月かかります。

    納期は機種により異なりますので、詳しくはお見積り内容をご記入の上、お問合せください。 お見積りご依頼フォーム
  • 校正および修理はアメリカのメーカーにて行います。
    製品を当社大阪営業所に送っていただき、当社よりメーカーへ送ります。
    また、FAXまたはお問い合わせフォームより事前にご依頼品のシリアルNoをお知らせください。
    お見積依頼も承ります。
    尚、現在納期に関しまして少々お時間いただいております。 新型コロナの影響で、製品内部の状況により約1〜4ヶ月(製品弊社到着後)となっています。
    お問い合わせフォーム
  • Alicat製品すべてに標準で校正証明書 兼 試験成績書が付属します。
  • NISTトレーサブルの証明書が発行可能です。
  • 海外品のため、送料無料とすることは出来かねます。
    11台以上のご購入の場合は、お見積時にご相談下さい。11台目以上の送料を割引対象とさせて頂きます。
    校正の場合はまとめて3台以上のご依頼の場合、ご相談下さい。3台目以上の送料を割引対象とさせて頂きます。

Alicat製品の詳細について

  • 最大で 5000SLPM タイプがございます。
    上記以上の流量の場合は確認させていただきますので、お問い合わせください。 お問い合わせフォーム
  • ガスデータ等をお持ちの場合は製品に登録が可能な場合もございます。1度ご相談ください。
    お問い合わせフォーム
  • ガスを組成しているメタン、エタン、プロパン、ブタンの各割合を混合ガスと登録していただければ測定が行えます。
  • こちらはロット購入用のマスフローコントローラーのため、申し訳ございませんが、1台でのご購入ができない製品となっております。
    25台以上のロット購入をご検討されている場合は、評価用のデモ機1台のお貸出しが可能です。複数台での評価が必要な場合はご相談ください。
  • MCV/MCVS製品に搭載されるシャットオフバルブのオープンはエア供給で行いますので、製品および外部コマンドでの制御は行えません。
    (ノーマルクローズのため、圧を抜いてバルブをクローズします。)
  • @フローボディサイズが大きい
    低圧損タイプは通常タイプに比べて約4〜5倍のレンジの本体を使用しています。
    大きい本体で少ない流量を流すと、圧損は小さくなります。

    A搭載している差圧センサーが違う
    低圧損タイプはボディが非常に大きいため、通常の差圧センサーでは感度が低くなります。
    そのため、通常タイプよりはるかに感度の高い差圧センサーを使用しています。
  • 通信からのみ設定可能となります。
    バルブ制御をホールドする機能があります。短時間であれば、SETPOINTを最大流量で固定すれば可能です。
    長時間そのまま使用されますと、バルブが熱を持ち、故障の原因となりますのでご注意ください。
  • アリキャット本体の両側に、必ず100Ω〜120Ωの終端抵抗(最初と最後の両側に)を接続してください。信号"RS-485 (-)" 信号"RS-485 (+)" 間に接続してください。 ケーブルが長くなると、信号はケーブルの終端で反射し信号が乱れることがあります。終端抵抗は、この反射の乱れを防止する役割があります。 Knowledge Base
  • 本体操作により「Setpoint Limits(設定流量の上限および下限の設定)」の設定にて可能です。
  • アナログ出力のサンプリング周期は1msとなります。
    また、アナログ電圧出力の分解能に関しましては、4000分解能となっております。
  • 季節的な環境変化により、バルブの制御能力に影響を与えることはありません。
    使用当初と現在の入口圧、出口圧を確認し比較してください。
    PID調整を行っている場合は、工場出荷状態に戻して再度ご確認ください。
  • PID の各値は比例制御バルブの操作性能を決めます。これらの条件は制御速度や安定性、オーバーシュート、ハンチング等に影響します。
    すべての製品はほとんどのアプリケーションで扱えるよう一般的な調整をして工場から出荷されています。

    PID それぞれの値を調整することで、設定流量に達するまでの制御速度を調整できます。
    速度を早くするとオーバーシュート、アンダーシュートなど繰り返したりしますので装置に応じた値を設定してください。

    もし安定性や異常な流量、ハンチング、制御速度などに関して問題が起こった場合は、工場出荷状態に戻してください。
  • ケーブル長をご確認ください。
    アナログ出力および入力をアナログ電圧でご使用の場合、推奨されるケーブルの長さは本体単体で1.8〜6.0mとなります。
    6.0mを越えるケーブルをご使用される場合は、アナログ電流をご選択下さい。 アクセサリー:ケーブル類 お問い合わせフォーム
  • 現在、製造されておりません。
    腐食性ガス/冷媒ガス対応で高圧が必要な場合は、CODAシリーズ(コリオリ式 マスフローメーター/コントローラー)をご使用ください。
    但し、色々な条件がありますので詳しくは各営業所までご連絡ください。 CODAシリーズ
    カタログダウンロード
    お問い合わせフォーム
  • ガスボンベをご使用される場合などクリーンなガスの場合、フィルターは特に必要ありません。
    ただしコンプレッサーなどをご使用される場合は使用を推奨しております。 オプション:ラインフィルター
  • 電源供給には、オプション品のAC電源アダプタもしくはケーブルが必要となります。
    AC電源アダプタを本体の電源ジャックに接続して電源供給が可能です。
    アナログ出力やPC接続など、外部出力される場合はケーブルが必要となりますが、
    このケーブルを使用してコネクタから24VDCの電源供給も可能です。
    ※電源供給は電源ジャック、またはコネクタのどちらか一方からの供給となります。
    ※AC電源アダプタ、ケーブルはオプション品で別売りとなります。 アクセサリー:ケーブル類 アクセサリー:AC電源アダプタ
  • マスフローコントローラー本体に99%または99.9%のイソプロピルアルコール(isopropyl alcohol)を流して殺菌する方法があります。
    流した後は窒素などの乾燥した不活性ガスをデバイス本体に15分間流して乾燥させることが必要となります。
  • ・標準タイプをオプションでダウンポートに変更することも可能です。
    MCシリーズ(標準タイプ)
    ・SEMI規格対応の互換製品としてMCE/MCESシリーズがあります。
    MCEシリーズ(SEMI規格)
    ・標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサー使用の組み込み用小型マスフローコントローラーもラインナップしています。 BASISシリーズ
    アリキャット製品は、半導体製造工程において不可欠なプロセスガスの高精度な流量制御が可能です。 ラミナーフロー方式(層流方式)で 差圧を高速測定することにより高精度な流量制御/高速応答制御を可能にします。
    詳細はこちら
    年間発注台数が分かっている場合、年間一括発注を行えば、事前に出荷をスケジュールすることができます。
    10〜30ユニットの間で可能となりますが、最初の発送にはおよそ4ヶ月かかります。
    半導体装置向け製品に関するご相談および納期については以下よりお問い合わせください。
    お問い合わせフォーム
  • Alicatのマスフロー機器は1msec毎に圧力と温度を測定します。
    機器本体には予めNISTトレーサブルな3次元ガス特性データ(圧力と温度に対する粘度データ)が登録されています。
    測定した圧力と温度の値より、登録された3次元ガス特性データから選択したガスの粘度データを決定し、流量の演算に使用します。
    その粘度データに含まれるAirで校正することによって、登録されたガスでの測定を可能としております。
  • はい、内部を乾燥させるために乾燥窒素を流しても大丈夫です。
  • 通常、上流部および下流部ともに直管部分は必要ありません。
    ※高速で流れがON/OFFを繰り返すような場合は乱流が発生するため、直管部分が必要となる場合もございます。
    ラミナーフロー方式(層流方式)を採用しており、本体内部で層流を作成します。 それにより直管部分が必要なくなり、コンパクトな配管が可能です。 ラミナーフロー方式とは

Alicat製品以外の製品について

  • 温度の仕様が90℃までとなっておりますので90℃以下のお湯であれば使用可能です。量産の場合は他の製品をご紹介させて頂きます。
    (※詳細は各営業所にご連絡ください)
    取り扱い終了しました お問い合わせフォーム
  • BIO-TECH容積式微少流量計は飲料用にはご使用頂けません。飲料用にも使用可能なNSF認証を受けている他の製品をご紹介させて頂きます。
    (※詳細は各営業所にご連絡ください)
    取り扱い終了しました お問い合わせフォーム

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流量計

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