日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター

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ALICAT マスフローメーター

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オプション＆アクセサリー
アリキャットロゴ

TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等 さまざまなオプションがございます。

こちらから
▼仕様

ALICAT マスフローメーター 仕様

Mシリーズ
標準タイプ		 MQシリーズ
高圧タイプ		 MSシリーズ
腐食性対応タイプ		 MWシリーズ
低圧力損失タイプ
対応ガス種 98種類 98種類 130種類 98種類
流量精度
(TARE後の校正条件において)		 0.5〜5 SCCM
±(0.8% RD ±0.2% F.S.)
10SCCM〜20SLPM
±0.6% RD(16.7〜100% FS)
±0.1% FS(0〜16.7% FS)
50〜5000SLPM
±(0.8% RD ±0.2% F.S.)		 10SCCM〜20SLPM
±06% RD(16.7〜100% FS)
±0.1% FS(0〜16.7% FS)
50〜3000SLPM
±2% F.S		 0.5SCCM〜5000SLPM
±(0.8% RD ±0.2% F.S.)
 0.5〜5 SCCM
±(0.8% RD ±0.2% F.S.)
10SCCM〜100SLPM
±0.75%RD(13.4〜100%FS)
±0.1%FS(0〜13.4%FS)
250〜1000SLPM
±(0.8% RD ±0.2% F.S.)
高精度オプション
（ＨＣオプション）		 0.5〜5 SCCM
±(0.4% RD ±0.2% F.S.)
※5SCCMに適用
10SCCM〜20SLPM
±0.5% RD(20〜100% FS)
±0.1% FS(0〜20% FS)
50〜5000SLPM
±(0.4% RD±0.2% F.S.)
※50〜500SLPMに適用		 - 0.5SCCM〜5000SLPM
±(0.4% RD ±0.2% F.S.)
※5SCCM〜500SLPMに適用		 0.5〜5 SCCM
±(0.4% RD ±0.2% F.S.)
※5SCCMに適用
10SCCM〜100SLPM
±06% RD(16.7〜100% FS)
±0.1% FS(0〜16.7% FS)
250〜1000SLPM
±(0.4% RD ±0.2% F.S.)
※250〜500SLPMに適用
繰り返し性 ±0.2% F.S.
流量範囲 0.5〜100% F.S.
(200:1)		 0.5〜100% F.S.
(200:1)		 1.0〜100% F.S.
(100:1)		 0.5〜100% F.S.
(200:1)
ゼロシフト
スパンシフト		 0.02% F.S./℃/Atm
動作温度範囲 -10〜 60℃
温度精度 ±0.75℃
最大動作圧力 160PSIA
(1.1MPaA)		 320PSIA
(2.2MPaA)		 160PSIA
(1.1MPaA)		 60PSIA
(0.4MPaA)
センサー応答速度 ＜ 1ms
取付姿勢 自由

最小動作圧力 11.5PSIA(79.29kPaA) コモンモード圧力
各レンジの圧力損失を超える差圧
耐圧 コモンモード圧力
200PSIA
(1.37MPaA)
差圧 75PSID
(517kPaD)		 コモンモード圧力
400PSIA
(2.75MPaA)
差圧 75PSID
(517kPaD)		 コモンモード圧力
200PSIA
(1.37MPaA)
差圧 75PSID
(517kPaD)		 コモンモード圧力
80PSIA
(0.55MPaA)
差圧 10PSID
(68.9kPaD)
IP保護 IP40
動作湿度 0〜95% (結露無きこと)
接ガス部材質

SUS302
SUS303
Viton(R)
ポリアミド
アルミナセラミック
ガラス
ゴールド
シリコン
熱硬化型エポキシ
熱硬化型シリコンゴム

SUS302
SUS303
SUS304
SUS316L
FKM
ポリアミド
アルミナセラミック
ガラス
ゴールド
シリコン
熱硬化型エポキシ
熱硬化型シリコンゴム

SUS316L
FFKM(Kalrez)

SUS303
SUS302
Viton(R)
ガラス繊維強化
ポリフェニレンサルファイド
アルミナセラミック
ガラス
ゴールド
シリコン
熱硬化型エポキシ
熱硬化型シリコンゴム

アナログ出力
(標準)

0〜5VDC または 0〜10VDC、1〜5VDC、4〜20mADC のいずれか
アナログ第2出力
(オプション)

0〜5VDC または 0〜10VDC、1〜5VDC、4〜20mADC のいずれか
デジタル出力

RS-232C (標準)
<オプション>
RS-485、Modbus TCP/IP、Modbus RTU(RS-232C/RS485)、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
インターフェース
(コネクタ)

8ピンミニDIN(標準)
<オプション>
6ピンロック式、8ピンM12、Dサブ9ピンまたは15ピン
※ケーブルはオプションとなります >> ケーブル
供給電源

9〜24VDC 100mA (4〜20mA 出力付きは15VDC以上)
コネクタまたはジャックより供給
※別売りのAC電源アダプタが必要となります。

デジタルデータ更新レート

25ms / 19200baud
アナログデータ更新レート

1ms
表示更新レート

100ms
アナログ出力精度

(流量精度に加えて)±0.1 of Full Scale

標準温度圧力(STP)

20℃ 1atm または 25℃ 1atm　※設定変更可能
ノルマル温度圧力(NTP)

0℃ 1atm
表示器

バックライト付きモノクロ液晶(標準)
<オプション>
TFTカラー液晶、リモート表示(モノクロ／TFTカラー)
カタログ
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