日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー/微少流量計/デジタル指示計の販売

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製品紹介
product

ALICAT マスフローメーター

マスフローメーター商品画像
オプション&アクセサリー
アリキャットロゴ

TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等 さまざまなオプションがございます。

仕様

ALICAT マスフローメーター 仕様

Mシリーズ
標準タイプ
MQシリーズ
高圧タイプ
MSシリーズ
腐食性対応タイプ
MWシリーズ
低圧力損失タイプ
対応ガス種 98種類 98種類 130種類 98種類
流量精度
(TARE後の校正条件において)
±(0.8% RD +0.2% F.S.)
<オプション>
±(0.4% RD +0.2% F.S.)
※5SCCM〜500SLPMに適用
±2% F.S. ±(0.8% RD +0.2% F.S.)
<オプション>
±(0.4% RD +0.2% F.S.)
※5SCCM〜500SLPMに適用
±(0.8% RD +0.2% F.S.)
<オプション>
±(0.4% RD +0.2% F.S.)
※5SCCM〜500SLPMに適用
繰り返し性 ±0.2% F.S.
流量範囲 0.5〜100% F.S.
(200:1)
0.5〜100% F.S.
(200:1)
1.0〜100% F.S.
(100:1)
0.5〜100% F.S.
(200:1)
ゼロシフト
スパンシフト
0.02% F.S./℃/Atm
動作温度範囲 -10〜 60℃
温度精度 ±0.75℃
最大動作圧力 160PSIA
(1.1MPaA)
320PSIA
(2.2MPaA)
160PSIA
(1.1MPaA)
60PSIA
(0.4MPaA)
センサー応答速度 < 1ms
取付姿勢 自由

最小動作圧力 11.5PSIA(79.29kPaA) コモンモード圧力
各レンジの圧力損失を超える差圧
耐圧 コモンモード圧力
175PSIA
(1.2MPaA)
差圧 75PSID
(571kPaD)
コモンモード圧力
400PSIA
(2.7MPaA)
差圧 75PSID
(571kPaD)
コモンモード圧力
175PSIA
(1.2MPaA)
差圧 75PSID
(571kPaD)
コモンモード圧力
76.8PSIA
(0.53MPaA)
差圧 10PSID
(68.9kPaD)
IP保護 IP40
動作湿度 0〜95% (結露無きこと)
接ガス部材質

SUS302
SUS303
Viton(R)
ポリアミド
アルミナセラミック
ガラス
ゴールド
シリコン
熱硬化型エポキシ
熱硬化型シリコンゴム

SUS302
SUS303
SUS304
SUS316L
FKM
ポリアミド
アルミナセラミック
ガラス
ゴールド
シリコン
熱硬化型エポキシ
熱硬化型シリコンゴム

SUS316L
FFKM(Kalrez)

SUS303
SUS302
Viton(R)
ガラス繊維強化ポリフェニレンサルファイド
アルミナセラミック
ガラス
ゴールド
シリコン
熱硬化型エポキシ
熱硬化型シリコンゴム


アナログ出力
(標準)

0〜5VDC または 0〜10VDC、1〜5VDC、4〜20mADC のいずれか

アナログ第2出力
(オプション)

0〜5VDC、、0〜10VDC、1〜5VDC、4〜20mADC のいずれか

デジタル出力

RS-232C (標準)
<オプション>
RS-485、Modbus TCP/IP、Modbus RTU(RS-232C/RS485)、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

インターフェース
(コネクタ)

8ピンミニDIN(標準)
<オプション>
6ピンロック式、8ピンM12、Dサブ9ピンまたは15ピン
※ケーブルはオプションとなります >> ケーブル

供給電源

9〜24VDC 100mA (4〜20mA 出力付きは15VDC以上)
コネクタまたはジャックより供給
※AC電源アダプタが付属します。


デジタルデータ更新レート

25ms / 19200baud

アナログデータ更新レート

1ms

表示更新レート

100ms

アナログ出力精度

(流量精度に加えて)±0.1 of Full Scale


標準温度圧力(STP)

20℃ 1atm

ノルマル温度圧力(NTP)

0℃ 1atm

表示器

バックライト付きモノクロ液晶(標準)
<オプション>
TFTカラー液晶、リモート表示(モノクロ/TFTカラー)