日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター
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ALICAT マスフローメーター
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特長
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ラインナップ
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対応ガス
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機械仕様
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仕様
オプション＆アクセサリー
TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等
さまざまなオプションがございます。
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ラインナップ
Mシリーズ（標準タイプ）
Mシリーズ
カタログ
混合ガスを含め98種のガスに対応。
±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確度で10msの高速応答。
超微少流量(0.5SCCM)から大流量(5000SLPM)までラインナップ。
▼Youtubeで英語の動画を日本語の翻訳字幕を設定する方法
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MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応）
MSシリーズ
カタログ
標準のガス種に加え、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種に対応。
材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。
標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。
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MWシリーズ（低圧力損失タイプ）
MWシリーズ
カタログ
標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。
超微少流量タイプではフルスケール時の損失が482Pa(0.07PSID)。
リークなど低圧アプリケーションに最適です。
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IS-Max シリーズ（本質安全防爆仕様）
IS-Maxシリーズ
カタログ
CSA/ATEXの認証を受けた防爆仕様。CSA規格「Class 1 Division 2 Group A, B, C and D T4」ATEX指令「Ex Ⅱ 3G EEx nA IIC T4」
相対湿度センサーオプション搭載可能です。
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MQシリーズ（高圧タイプ）
MQシリーズ
カタログ
最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。
標準タイプ同様98種のガスに対応。
耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。
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Pシリーズ（圧力計）
Pシリーズ
カタログ[英語版]
高速応答で安定性のある圧力制御。
アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。
±(0.25% FS) の高い圧力精度。
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MB/MBQ/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター）
MB/MBQ/MBS/MWB
シリーズ
カタログ[英語版]
持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーター。
フル充電で約18時間の稼動が可能。
MBシリーズは標準タイプ、MBSシリーズは腐食性ガス対応、MWBシリーズは低圧力損失タイプです。
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[熱式流量計]BASISシリーズ（小型ローコストマスフローメーター）
BASISシリーズ
カタログ
標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。
100msの制御応答。
アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載。
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PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット）
PCUシリーズ
ポータブルケースにマスフローメーターを搭載。
2本の9V形アルカリ電池で駆動。
持ち運びが容易な校正器としてお使いいただけます。
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特長
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ラインナップ
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対応ガス
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機械仕様
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