日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター

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製品紹介
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ALICAT 液体用フローコントローラー

ALICAT 液体用フローコントローラー商品画像

マスフローメーターと同じ原理を用いた液体用のフローメーター/コントローラー。高速応答で精度の高い計測を行います。
対応液体:純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン
これらの他にも対応できる場合もございます。詳しくはお問い合わせください。

オプション&アクセサリー
アリキャットロゴ

TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等 さまざまなオプションがございます。

特長

100msの応答速度で指定流量へすばやく制御



仕様
型式 LC/LCSシリーズ LCR/LCRSシリーズ
流量精度
(TARE後の校正条件において)
±2% F.S.
繰り返し性 ±2% F.S.
動作範囲 2〜100% F.S.
流量レンジ比
(ターンダウン比)
50:1
応答速度
(Typical)
100ms
流体
導電率400ppm以下の純水または
メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、
ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン
※いずれか1種で校正。
流体温度 -10〜60℃(凍結していないこと)
動作温度 -10〜60℃(凍結していないこと)
ゼロシフト 0.02% F.S./℃/Atm
スパンシフト 0.02% F.S./℃/Atm
制御可能流量 102.4% F.S.
最大圧力 100PSIG (689kPa)
流量設定 表示部スイッチ / アナログ入力 / 通信
デジタル出力 RS-232C(標準) / RS-485(オプション)
出力データ:流量、温度、圧力
アナログ出力
(標準)
0〜5VDC
または0〜10VDC / 1〜5VDC / 4〜20mADC
出力データ:流量(CCM/LPM)
または圧力、温度のいずれか
アナログ第2出力
(オプション)
0〜5VDC / 0〜10VDC / 1〜5VDC / 4〜20mADC
出力データ:流量、温度、圧力のいずれか
アナログ入力
(流量設定)
標準:0〜5VDC
オプション:0〜10VDC / 1〜5VDC / 4〜20mADC
信号接続 ミニDINコネクタ8ピン
<オプション>
ロック式コネクタ/Dサブコネクタ9ピンまたは15ピン
※ケーブルはオプションとなります >> ケーブル
供給電圧 12〜30VDC (*1) 24VDC
供給電流 250mA 600mA
接液面材質 SUS316L, 303, 430FR
FKM(LC), FFKM(LCS)
SUS316, 303, 410, 430FR
FKM(LCR), FFKM(LCRS)

(*1)アナログ電流 4〜20mADC出力にはDC15V以上の電源電圧が必要です。
機種
機種名 寸法 (mm) 継手 圧力損失
(FS流量時)
LCシリーズ
LCS-0.5CCM H114.00 x W84.79 x D26.67 M5 (10-32 UNF) めねじ 34.47kPaD
LCS-1CCM H114.00 x W84.79 x D26.67 M5 (10-32 UNF) めねじ 34.47kPaD
LCS-2CCM H118.31 x W91.14 x D26.67 1/8" NPTめねじ 17.24kPaD
LC-5CCM H118.31 x W91.14 x D26.67 1/8" NPTめねじ 34.47kPaD
LC-10CCM H118.31 x W91.14 x D26.67 1/8" NPTめねじ 34.47kPaD
LC-20CCM H118.31 x W91.14 x D26.67 1/8" NPTめねじ 34.47kPaD
LC-50CCM H118.31 x W91.14 x D26.67 1/8" NPTめねじ 34.47kPaD
LC-100CCM H118.31 x W91.14 x D26.67 1/8" NPTめねじ 34.47kPaD
LC-200CCM H118.31 x W91.14 x D26.67 1/8" NPTめねじ 51.71kPaD
LC-500CCM H118.31 x W91.14 x D26.67 1/8" NPTめねじ 51.71kPaD
LCRシリーズ
LCR-1LPM H149.30 x W194.31 x D57.15 1/4" NPTめねじ 27.58kPaD
LCR-2LPM H149.30 x W194.31 x D57.15 1/4" NPTめねじ 27.58kPaD
LCR-5LPM H149.30 x W194.31 x D57.15 1/4" NPTめねじ 68.95kPaD
LCR-10LPM H149.30 x W194.31 x D57.15 1/4" NPTめねじ 172.37kPaD