日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・人工ダイヤモンド製造向けMFC・半導体装置向けMFC・コリオリ式流量計・微少流量計・液体用流量計 / デジタル指示計の販売

100msの応答速度で指定流量へすばやく制御

• 100msの応答速度で指定流量へすばやく制御。希望流量を短時間で得られます。
• 流量設定はフロントスイッチにより簡単操作。アナログ入力､通信による設定も可能。
• 液晶表示器を標準搭載。すばやい応答速度によりリアルタイムに流量を確認。
• 外部出力として0〜5VDC出力およびRS-232C通信を標準搭載。
• NISTトレーサブル検査成績証が標準で付属。
• 対応液体：純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトンのいずれか１種で校正。その他液体についてはお問い合わせ下さい。※使用液体の切り替えはできません。

型式	LC/LCSシリーズ	LCR/LCRSシリーズ
流量精度 (TARE後の校正条件において)	±2% F.S.
繰り返し性	±2% F.S.
動作範囲	2〜100% F.S.
流量レンジ比 (ターンダウン比)	50:1
応答速度 (Typical)	100ms
流体	導電率400ppm以下の純水または メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、 ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン ※いずれか１種で校正。
流体温度	-10〜60℃(凍結していないこと)
動作温度	-10〜60℃(凍結していないこと)
ゼロシフト	0.02% F.S./℃/Atm
スパンシフト	0.02% F.S./℃/Atm
制御可能流量	102.4% F.S.
最大圧力	100PSIG (689kPa)
流量設定	表示部スイッチ / アナログ入力 / 通信
デジタル出力	RS-232C(標準) / RS-485(オプション) 出力データ：流量、温度、圧力
アナログ出力 (標準)	0〜5VDC または0〜10VDC / 1〜5VDC / 4〜20mADC 出力データ：流量(CCM/LPM) または圧力、温度のいずれか
アナログ第2出力 （オプション）	0〜5VDC / 0〜10VDC / 1〜5VDC / 4〜20mADC 出力データ：流量、温度、圧力のいずれか
アナログ入力 （流量設定）	標準：0〜5VDC オプション：0〜10VDC / 1〜5VDC / 4〜20mADC
信号接続	ミニDINコネクタ8ピン <オプション> ロック式コネクタ／Dサブコネクタ9ピンまたは15ピン ※ケーブルはオプションとなります >> ケーブル
供給電圧	12〜30VDC (*1)	24VDC
供給電流	250mA	600mA
接液面材質	SUS316L, 303, 430FR FKM(LC), FFKM(LCS)	SUS316, 303, 410, 430FR FKM(LCR), FFKM(LCRS)

(*1)アナログ電流 4〜20mADC出力にはDC15V以上の電源電圧が必要です。