日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・ガスミキシング・コリオリ式流量計・半導体装置向けMFC・微少流量計・液体用流量計 / Equilibar レギュレーター

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ALICAT マスフローメーター

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TFTカラー液晶 ・リモートディスプレイ等 さまざまなオプションがございます。

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▼機械仕様

流量範囲　

※1500SLPMタイプは生産終了しました。(2019.7)

流量レンジ 標準・高圧タイプ 腐食性対応 低圧力損失
M/MB MQ/MBQシリーズ(MQ/MBQは10SCCM〜5000SLPM) MS/MBSシリーズ MW/MWBシリーズ
レンジ比 200:1 100:1 200:1
0.5SCCM
(mL/min)		 0.0025 - 0.5 0.005 - 0.5 0.0025 - 0.5
1SCCM
(mL/min)		 0.005 - 1.0 0.01 - 1.0 0.005 - 1.0
2SCCM
(mL/min)		 0.01 - 2.0 0.02 - 2.0 0.01 - 2.0
5SCCM
(mL/min)		 0.025 - 5.0 0.05 - 5.0 0.025 - 5.0
10SCCM
(mL/min)		 0.05 - 10 0.1 - 10 0.05 - 10
20SCCM
(mL/min)		 0.1 - 20 0.2 - 20 0.1 - 20
50SCCM
(mL/min)		 0.25 - 50 0.5 - 50 0.25 - 50
100SCCM
(mL/min)		 0.5 - 100 1.0 - 100 0.5 - 100
200SCCM
(mL/min)		 1.0 - 200 2.0 - 200 1.0 - 200
500SCCM
(mL/min)		 2.5 - 500 5.0 - 500 2.5 - 500
1SLPM
(L/min)		 0.005 - 1.0 0.01 - 1.0 0.005 - 1.0
2SLPM
(L/min)		 0.01 - 2.0 0.02 - 2.0 0.01 - 2.0
5SLPM
(L/min)		 0.025 - 5.0 0.05 - 5.0 0.025 - 5.0
10SLPM
(L/min)		 0.05 - 10 0.1 - 10 0.05 - 10
20SLPM
(L/min)		 0.1 - 20 0.2 - 20 0.1 - 20
40SLPM
(L/min)		 - - 0.2 - 40
50SLPM
(L/min)		 0.25 - 50 0.5 - 50 0.25 - 50
100SLPM
(L/min)		 0.5 - 100 1.0 - 100 0.5 - 100
250SLPM
(L/min)		 1.25 - 250 2.5 - 250 1.25 - 250
500SLPM
(L/min)		 2.5 - 500 5.0 - 500 2.5 - 500
1000SLPM
(L/min)		 5.0 - 1000 10 - 1000 5.0 - 1000
2000SLPM
(L/min)		 10 - 2000 20 - 2000 -
3000SLPM
(L/min)		 15 - 3000 30 - 3000 -
5000SLPM
(L/min)		 25 - 5000 50 - 5000 -

外形寸法

(単位：mm)

流量レンジ 標準・高圧タイプ 腐食性対応 低圧力損失
  M MQシリーズ(MQ/MBQは10SCCM〜5000SLPM) MSシリーズ MWシリーズ
0.5SCCM H98.98
W60.33
D26.67		 H111.68
W60.33
D26.67		 H98.98
W60.33
D26.67
1SCCM H98.98
W60.33
D26.67		 H111.68
W60.33
D26.67		 H98.98
W60.33
D26.67
2SCCM H98.98
W60.33
D26.67		 H111.68
W60.33
D26.67		 H98.98
W60.33
D26.67
5SCCM H98.98
W60.33
D26.67		 H111.68
W60.33
D26.67		 H98.98
W60.33
D26.67
10SCCM H98.98
W60.33
D26.67		 H111.68
W60.33
D26.67		 H98.98
W60.33
D26.67
20SCCM H98.98
W60.33
D26.67		 H111.68
W60.33
D26.67		 H98.98
W60.33
D26.67
50SCCM H98.98
W60.33
D26.67		 H111.68
W60.33
D26.67		 H103.30
W60.33
D26.67
100SCCM H103.3
W60.33
D26.67		 H116.0
W60.33
D26.67		 H103.30
W60.33
D26.67
200SCCM H103.3
W60.33
D26.67		 H116.0
W60.33
D26.67		 H103.30
W60.33
D26.67
500SCCM H103.3
W60.33
D26.67		 H116.0
W60.33
D26.67		 H103.30
W60.33
D26.67
1SLPM H103.3
W60.33
D26.67		 H116.0
W60.33
D26.67		 H103.30
W60.33
D26.67
2SLPM H103.3
W60.33
D26.67		 H116.0
W60.33
D26.67		 H103.30
W60.33
D26.67
5SLPM H103.3
W60.33
D26.67		 H116.0
W60.33
D26.67		 H105.84
W60.33
D26.67
10SLPM H103.3
W60.33
D26.67		 H116.0
W60.33
D26.67		 H106.86
W66.68
D26.67
20SLPM H103.3
W60.33
D26.67		 H116.0
W60.33
D26.67		 H110.92
W101.6
D40.64
40SLPM - - H126.16
W101.6
D40.64
50SLPM H110.92
W101.6
D40.64		 H128.7
W101.6
D40.64		 H126.16
W101.6
D40.64
100SLPM H110.92
W101.6
D40.64		 H128.7
W101.6
D40.64		 H126.16
W101.6
D40.64
250SLPM H126.16
W101.6
D40.64		 H143.94
W101.6
D40.64		 H126.16
W101.6
D40.64
500SLPM H126.16
W101.6
D40.64		 H143.94
W101.6
D40.64		 H134.29
W132.08
D73.66
1000SLPM H126.16
W101.6
D40.64		 H143.94
W101.6
D40.64		 H159.18
W132.08
D97.54
2000SLPM H134.29
W132.08
D73.66		 H152.07
W132.08
D73.66		 -
3000SLPM H134.29
W132.08
D73.66		 H152.07
W132.08
D73.66		 -
5000SLPM H159.18
W132.08
D97.54		 H179.91
W142.24
D97.54		 -

接続口径

※1500SLPMタイプは生産終了しました。(2019.7)

流量レンジ 標準・高圧タイプ 腐食性対応 低圧力損失
  M/MB MQ/MBQシリーズ(MQ/MBQは10SCCM〜5000SLPM) MS/MBSシリーズ MW/MWBシリーズ
0.5SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
1SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
2SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
5SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
10SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
20SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
50SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/8inch NPTめねじ
100SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
200SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
500SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
1SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
2SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
5SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
10SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ
20SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ
40SLPM - - 1/2inch NPTめねじ
50SLPM 1/4inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
100SLPM 1/4inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
250SLPM 1/2inch NPTめねじ 1/2inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
500SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
1000SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ 2inch NPTめねじ
2000SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
3000SLPM 1-1/4inch NPTめねじ 1-1/4inch NPTめねじ -
5000SLPM 1-1/2inch NPTめねじ 1-1/2inch NPTめねじ -

F.S.流量時の圧力損失　

（下流大気圧開放において）

流量レンジ 標準・高圧タイプ 腐食性対応 低圧力損失
M/MB MQ/MBQシリーズ(MQ/MBQは10SCCM〜5000SLPM) MS/MBSシリーズ MW/MWBシリーズ
0.5SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
1SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
2SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
5SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
10SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
20SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
50SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
100SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
200SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
500SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
1SLPM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
2SLPM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
5SLPM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.482kPa(D)
10SLPM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.552kPa(D)
20SLPM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 1.723kPa(D)
40SLPM - - 0.827kPa(D)
50SLPM 13.79kPa(D) 13.79kPa(D) 0.965kPa(D)
100SLPM 17.24kPa(D) 17.24kPa(D) 1.655kPa(D)
250SLPM 14.48kPa(D) 14.48kPa(D) 4.137kPa(D)
500SLPM 27.58kPa(D) 27.58kPa(D) 2.689kPa(D)
1000SLPM 41.37kPa(D) 41.37kPa(D) 1.655kPa(D)
2000SLPM 34.47kPa(D) 34.47kPa(D) -
3000SLPM 48.95kPa(D) 48.95kPa(D) -
5000SLPM 23.44kPa(D) 23.44kPa(D) -

型式

（シリーズ名-レンジ-表示タイプ - オプション1 / オプション2）

シリーズ レンジ 表示タイプ オプション1 オプション2
M
MQ
MS
MW		 上表参照 -D
-TFT
-RD
-TFTRD		 -REMOTE
-485
-X
など
 TOT
HC
NTP:0℃
など


表示タイプ
-D  モノクロ液晶
-TFT  カラー液晶
-RD  センサー部表示部セパレートタイプ モノクロ液晶
-TFTRD  センサー部表示部セパレートタイプ カラー液晶
[オプション1] 主なオプション
-REMOTE  高温度ガス対応 (流体温度:-10〜100℃/周囲温度:-10〜85℃)
-485  RS-485通信対応
-X  防爆対応 (CSA規格およびATEX規格)
[オプション2] 主なオプション
TOT  積算機能搭載
HC  流量精度 ±(0.4% Reading +0.2% F.S.)
NPT:0℃  ノルマル校正 (標準は STP:20℃ の20℃校正)
【例】 シリーズ名 − 流量レンジ − 表示タイプ − オプション1 ／ オプション2
M-20SCCM-D
MB-100SCCM-D/TOT,HC
M-500SLPM-D-REMOTE/TOT
MW-0.5SCCM-D/HC
MW-5SCCM-TFT/NTP:0℃
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