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納品アイコン標準仕様モデル 納期1カ月。お問合せください。

微小流量から大流量まで対応できます

最小0.5SCCMから最大5000SLPMまで対応

用途に特化した各機種

ALICATでは様々な用途に対応した機種の開発を行っており、多様なニーズに対応できます。

コンパクトな配管に

ラミナーフロー方式(層流方式)を採用しており、本体内部で層流を作成します。 それにより直管部分が必要なくなり、コンパクトな配管が可能です。

流量レンジ

最小0.5SCCMが測定できる機種から、最大5000SLPMまで最測定できる機種までのラインナップがそろっています。

メーター

コントローラー

0.6%F.Sの高精度で計測が可能です

一般的な高精度製品より高精度で計測が可能です

精度の比較

現在流通してる高精度の流量計は1%F.Sの精度ですが、ALICATの流量計は0.6%F.Sの高精度で計測が可能です。ALICAT製品の通常モデルでも0.6%F.Sを実現しています。

微小流量・大流量製品も高精度を実現

微小流量・大流量においても、高精度の計測ができます。高精度校正をオプションにて選択した場合0.4%F.Sでの高精度も実現できます。一度お問合せください。

制御開始時より0.1秒での高速制御を実現しました

一般的な標準製品よりも高速制御が可能です。

バルブ制御の応答時間

バルブ開栓時より、0.1秒での高速制御を実現しています。

微小流量・大流量製品も高速制御を実現

微小流量・大流量においても、高速制御が可能です。

広範囲の使用温度域

幅広い温度条件での流体の計測が可能です。

対応温度

※オプションにて最高温度100℃まで設定可能です。コリオリ式のCODAシリーズは-35℃まで、通常モデルは+60℃まで対応可能です。

リモートディスプレイ

オプションにてリモートディスプレイが対応可能です。高温での使用条件の場合に配管から離れた場所で流量の確認が可能。ケーブル長は最大3.6m。モノクロ液晶の他、カラー液晶もございます。

マルチガス対応

1台でガス選択98種選択切り替え可能です。

ガス選択

1台でガス選択に対応できます。ボタン操作で切り替えが可能です。任意の混合ガスの登録も可能です。

多種なガスに対応

標準シリーズにて様々なガス98種類に対応できます。
※腐食ガス・冷媒ガス対応機種もあります。任意の混合ガスの登録も可能です。
+ 対応ガス一覧 ▽
▼ 標準ガス  [M/MS/MWシリーズ対応]
PURE NON-CORROSIVE GASES
ガスNoガス名絶対粘度
0 Air 空気
1 Ar アルゴン
2 CH4 メタン
3 CO 一酸化炭素
4 CO2 二酸化炭素
5 C2H6 エタン
6 H2 水素
7 He ヘリウム
8 N2 窒素
9 N2O 亜酸化窒素
10 Ne ネオン
11 O2 酸素
12 C3H8 プロパン
13 n-C4H10 ブタン
14 C2H2 アセチレン
15 C2H4 エチレン
16 i-C4H10 イソブタン
17 Kr クリプトン
18 Xe キセノン
19 SF6 六フッ化硫黄
60 D2 重水素
▼ 腐食性ガス  [MSシリーズのみ対応]
PURE NON-CORROSIVE GASES
ガスNoガス名絶対粘度
30 NO 一酸化窒素
31 NF3 三フッ化窒素
32 NH3 アンモニア
33 CI2 塩素
34 H2S 硫化水素
35 SO2 二酸化硫黄
36 C3H6 プロピレン
80 1Butene 1-ブテン
81 cButene cis-2-ブテン
82 iButene iso-ブテン
83 tButene trans-ブテン
84 COS 硫化カルボニル
85 CH3OCH3 ジメチルエーテル
86 SiH4 シラン
▼ WELDING (溶接用ガス)  [M/MS/MWシリーズ対応] ▼ BIOREACTOR (バイオリアクターガス)  [M/MS/MWシリーズ対応] ▼ STACK  [M/MS/MWシリーズ対応] ▼ CHROMATOGRAPHY (クロマトグラフ用ガス)  [M/MS/MWシリーズ対応] ▼ 冷媒ガス(MSシリーズ のみ対応します)  [MSシリーズのみ対応]
▼ BREATHING [○Mシリーズ ○MSシリーズ ○MWシリーズ] ▼ FUEL(燃料ガス) [○Mシリーズ ○MSシリーズ ○MWシリーズ] ▼ LASER(レーザーガス) [○Mシリーズ ○MSシリーズ ○MWシリーズ] ▼ O2 CONCENTRATOR [○Mシリーズ ○MSシリーズ ○MWシリーズ]

低圧力損失対応

低圧力損失に対応したモデルがあります。

極めて小さな圧力損失

標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失で測定可能です。超微少流量タイプではフルスケール時の損失が482Pa(0.07PSID)。リークなど低圧アプリケーションに最適です。

ポータブルタイプあり

モノクロディスプレイ18時間、カラーディスプレイで5時間使用可能です。正確・頑丈・効率的なポータブルタイプです。

差圧センサーを搭載したラミナーフロー方式採用

測定するガスを、ラミナーフロー方式(層流方式)で 差圧を高速測定します。 流体が内部層流素子を流れると流体の持つ粘性により圧力降下が起き、上流圧と下流圧の圧力差から体積流量を算出します。 高精度な流量制御/高速応答制御を可能にし、あらゆる市場において新たに注目を集めています。


ラミナーフロー方式 vs. 温度センサー方式

ALICATのマスフローメーター・コントローラーはラミナーフロー方式を採用しているため、整流のための直間部分が必要ありません。
従来よりコンパクトな配管が可能になりました。ぜひ一度お問合せください。

お問合せ

! 重要なお知らせ !

以下モデルの納期は 約1ヶ月 となります。
フルスケール 2 mL/min ~ 100 L/minの標準仕様のモデル (M/MCシリーズ)
フルスケール 2 mL/min ~ 2 L/minの低圧力損失のモデル (MW/MCWシリーズ)
それ以外のモデルの納期は 約4ヶ月 です。
ご迷惑をお掛けいたしますが、ご了承のほどよろしくお願いいたします。
※納期は機種、圧力条件により異なりますので、詳しくはお見積り内容をご記入の上、お問合せ下さい。

お問い合わせは下記のボタンリンクから
日本スターテクノ株式会社のメールフォームよりお問い合わせください。

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受付時間 平日9:30~17:30 

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FAX 03-6432-4010
24時間受付

用途に特化した専用モデル

  • ウィスパー
    ウィスパー写真
    標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。低圧のアプリケーションに対応。0.5SCCMから1000SLPMまでラインナップ。
  • コリオリ
    コリオリ<写真
    食品関係の低流量から高圧での流体まで正確に測定できます。可変流体混合物、腐食性の液体にも対応します。
  • ポータブル
    ポータブル写真
    持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーター。フル充電で約18時間の稼動が可能。
  • バイオ
    バイオ写真
    バイオリアクター向け高精度フローコントローラー。極めて低いゼロドリフトによる長期間安定。プロセス水による汚染を防止。
  • BASIS
    BASIS写真
    OEM供給用に開発された小型でローコストのマスフローコントローラー。対応ガスはAirを含めて8種類。
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