流体が内部層流素子を流れると流体の持つ粘性により圧力降下が起き、上流圧と下流圧の圧力差から体積流量を算出します。
高精度な流量制御／高速応答制御を可能にし、半導体製造装置市場において新たに注目を集めています。
ALICATでは様々な用途に対応した機種の開発を行っており、多様なニーズに対応できます。
ラミナーフロー方式（層流方式）を採用しており、本体内部で層流を作成します。
それにより直管部分が必要なくなり、コンパクトな配管が可能です。
現在流通してる高精度の流量計は1%F.Sの精度ですが、ALICATの流量計は0.6%F.Sの高精度で計測が可能です。ALICAT製品の通常モデルでも0.6%F.Sを実現しています。
微小流量・大流量においても、高精度の計測ができます。高精度校正をオプションにて選択した場合0.4%F.Sでの高精度も実現できます。一度お問合せください。
バルブ開栓時より、0.1秒での高速制御を実現しています。微小流量・大流量においても、高速制御が可能です。
※オプションにて最高温度100℃まで設定可能です。コリオリ式のCODAシリーズは-35℃まで、通常モデルは+60℃まで対応可能です。
オプションにてリモートディスプレイが対応可能です。高温での使用条件の場合に配管から離れた場所で流量の確認が可能。ケーブル長は最大3.6m。モノクロ液晶の他、カラー液晶もございます。
1台でガス選択に対応できます。ボタン操作で切り替えが可能です。任意の混合ガスの登録も可能です。
標準シリーズにて様々なガス98種類に対応できます。| PURE NON-CORROSIVE GASES | ||
|---|---|---|
| ガスNo | ガス名絶対粘度 | |
| 0 | Air | 空気 |
| 1 | Ar | アルゴン |
| 2 | CH4 | メタン |
| 3 | CO | 一酸化炭素 |
| 4 | CO2 | 二酸化炭素 |
| 5 | C2H6 | エタン |
| 6 | H2 | 水素 |
| 7 | He | ヘリウム |
| 8 | N2 | 窒素 |
| 9 | N2O | 亜酸化窒素 |
| 10 | Ne | ネオン |
| 11 | O2 | 酸素 |
| 12 | C3H8 | プロパン |
| 13 | n-C4H10 | ブタン |
| 14 | C2H2 | アセチレン |
| 15 | C2H4 | エチレン |
| 16 | i-C4H10 | イソブタン |
| 17 | Kr | クリプトン |
| 18 | Xe | キセノン |
| 19 | SF6 | 六フッ化硫黄 |
| 60 | D2 | 重水素 |
| PURE NON-CORROSIVE GASES | ||
|---|---|---|
| ガスNo | ガス名絶対粘度 | |
| 30 | NO | 一酸化窒素 |
| 31 | NF3 | 三フッ化窒素 |
| 32 | NH3 | アンモニア |
| 33 | CI2 | 塩素 |
| 34 | H2S | 硫化水素 |
| 35 | SO2 | 二酸化硫黄 |
| 36 | C3H6 | プロピレン |
| 80 | 1Butene | 1-ブテン |
| 81 | cButene | cis-2-ブテン |
| 82 | iButene | iso-ブテン |
| 83 | tButene | trans-ブテン |
| 84 | COS | 硫化カルボニル |
| 85 | CH3OCH3 | ジメチルエーテル |
| 86 | SiH4 | シラン |
▼ BIOREACTOR (バイオリアクターガス） [M/MS/MWシリーズ対応]
▼ STACK [M/MS/MWシリーズ対応]
▼ CHROMATOGRAPHY (クロマトグラフ用ガス) [M/MS/MWシリーズ対応]
▼ 冷媒ガス（MSシリーズ のみ対応します） [MSシリーズのみ対応]
▼ FUEL（燃料ガス） [○Mシリーズ ○MSシリーズ ○MWシリーズ]
▼ LASER（レーザーガス） [○Mシリーズ ○MSシリーズ ○MWシリーズ]
▼ O2 CONCENTRATOR [○Mシリーズ ○MSシリーズ ○MWシリーズ]
測定するガスを、ラミナーフロー方式（層流方式）で 差圧を高速測定します。
流体が内部層流素子を流れると流体の持つ粘性により圧力降下が起き、上流圧と下流圧の圧力差から体積流量を算出します。
高精度な流量制御／高速応答制御を可能にし、あらゆる市場において新たに注目を集めています。
ALICATのマスフローメーター・コントローラーはラミナーフロー方式を採用しているため、整流のための直間部分が必要ありません。
従来よりコンパクトな配管が可能になりました。ぜひ一度お問合せください。
以下モデルの納期は 約4週間 となります。
フルスケール 2 mL/min ～ 500 L/minの標準仕様のモデル (M/MBシリーズ)
フルスケール 2 mL/min ～ 100 L/minの標準仕様のモデル (MCシリーズ)
フルスケール 2 mL/min ～ 100 L/minの低圧力損失のモデル (MW/MWBシリーズ)
フルスケール 2 mL/min ～ 2 L/minの低圧力損失のモデル (MCWシリーズ)
それ以外のモデルの納期は 約2～3ヶ月 です。
ご迷惑をお掛けいたしますが、ご了承のほどよろしくお願いいたします。
※納期は機種、圧力条件により異なりますので、詳しくはお見積り内容をご記入の上、お問合せ下さい。
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標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失で測定可能です。超微少流量タイプではフルスケール時の損失が482Pa(0.07PSID)。リークなど低圧アプリケーションに最適です。
モノクロディスプレイ18時間、カラーディスプレイで5時間使用可能です。正確・頑丈・効率的なポータブルタイプです。
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日本スターテクノ株式会社