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ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローコントローラー 特長



■ さまざまな用途に対応
  • 標準タイプのMC/MCRシリーズを筆頭にさまざまな環境に対応したマスフローコントローラーがラインナップ。
  • 低圧のアプリケーションに対応した低圧力損失のMCW/MCRWシリーズ。
  • 腐食性ガスや冷媒ガスに対応したMCS/MCRSシリーズ。
  • 双方向の制御が可能なMCD/MCRDシリーズ。
  • 真空域など気密性が求められる環境に対応したシャットオフバルブ搭載のMCVシリーズ。
  

■ 多種多様なガスが制御可能
  • 標準タイプは混合ガスを含め98種類のガスに対応します。また腐食性ガス/冷媒ガス対応タイプは標準のガス種を加え128種類のガスに対応します。
  • ガスの選択はフロントのボタン操作で簡単選択。
  • また任意の比率の混合ガスの制御も可能です。
 

PURE NON-CORROSIVE GASES
C2H2アセチレンD2重水素Neネオン
Air 空気 C2H6 エタン N2 窒素
Ar アルゴン C2H4 エチレン N2O 亜酸化窒素
i-C4H10イソブタン He ヘリウム O2 酸素
n-C4H10ブタン H2 水素 C3H8 プロパン
CO2 二酸化炭素 Kr クリプトン SF6 六フッ化硫黄
CO 一酸化炭素 CH4 メタン Xe キセノン

PURE CORROSIVES (腐食性ガス) MCS/MCRSシリーズ
NH3 アンモニアtButenetrans-ブテン NF3三フッ化窒素
1Butene 1-ブテン COS 硫化カルボニル NO 一酸化窒素
cButene cis-2-ブテン CH3OCH3 ジメチルエーテル C3H6 プロピレン
iButene iso-ブテン H2S 硫化水素 SiH4 シラン

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■ 100ミリ秒の速い制御応答
  • ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。
  • 流量変化にすばやく追従し、指定流量へ短時間で制御します。
  • 制御流量の設定はボタン操作で簡単に行えます。またアナログ入力、通信でも設定可能です。

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■ ±(0.8% Reading +0.2% F.S.) の高い正確性
  • 精度の高い差圧センサーを搭載し、より正確な流量制御を実現。
  • さらに正確度の高い ±(0.4% Reading +0.2% F.S.) のご指定も可能です。
  • 繰り返し性 ±0.2% Full Scale により安定した制御を行います。

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■ 200:1の幅広い流量レンジ   ※MCS/MCRS/MCVSシリーズは100:1
  • 超微少流量の 0.5SCCM から大流量の 5000SLPM までラインアップ。
    (※MC/MCR/MS/MCRS/MCD/MCRDシリーズ)
  • 200:1 の流量レンジ比で 0.5SCCM は超微少の 0.0025mL/min から制御可能。
    (腐食ガス対応機種は 100:1)
MCW series TFT type MCS series MCRH-5000SLPM-D
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■ マスフロー(質量流量)の他、圧力、温度も測定
  • 表示画面にはマスフローに加え、体積流量、圧力、温度も表示します。
    (※マスフローは体積流量を標準温度圧力に換算した値となります。)
  • また各データの表示単位も変更が可能です。その単位に換算した値が表示されます。
    (例えば圧力単位をPSIAからkPaAに変更など)
  • 各データそばのボタンを押すことで、そのデータを画面中央に大きく表示できます。SETPTボタンは制御流量設定を呼び出します。
表示画面

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■ バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載
  • バックライト付きのモノクロ液晶を標準搭載。バックライトはボタン操作で簡単にON/OFFが行えます。
  • より視認性の良いTFTカラー液晶にもオプションで対応が可能です。
  • また配管から離れた場所や盤に取り付け可能なリモートディスプレイもオプションで選択できます。
バックライト TFTカラー液晶 リモートディスプレイ リモートカラーディスプレイ

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■ アナログ出力/RS-232C通信を標準搭載
  • 標準で0-5VDC出力を搭載。マスフローをアナログ出力します。またオプションでアナログ第2出力も可能です。
  • 出力データはマスフローの他、体積流量、圧力、温度も可能。また、0-10VDC、1-5VDC、4-20mA出力もご指定できます。
  • RS-232C通信ではマスフロー、体積流量、圧力、温度、設定流量、ガス種を出力します。またオプションでRS-485も指定できます。

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■ 積算流量が可能(オプション)
  • 積算流量オプションをつけることにより積算流量表示が可能です。
  • 電源投入後およびリセット後から流量の積算を開始します。
  • 測定中のピーク流量や経過時間も同時に測定します。

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■ バッチ制御が可能 (積算表示オプション搭載機種)
  • 指定の流量に制御しながら目標の積算量に到達した時点で流量制御を止めます。
  • 目標の積算量はボタン操作で任意に設定が行えます。
  • 目標量に到達後、積算量をリセットすることで再度バッチ制御を開始します。


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■ 高温ガスにも対応(オプション)
  • 100℃までの高温ガスの制御が可能です。
    ガス温度:-10~100℃
    周囲温度:-10~85℃
  • センサー部と表示部は分離したタイプとなります。
高温ガス対応モデル

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■ 防爆仕様(オプション)
  • CSA/ATEXの認証を受けた防爆仕様。
    CSA規格「Class 1 Division 2 Group A, B, C and D T4」
    ATEX指令「Ex Ⅱ 3G EEx nA IIC T4」
  • 外部電気接続は6ピンのロック式コネクタとなります。
防爆仕様

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■ 配管
  • 接続口径はNPT規格のめねじとなります。(機械仕様参照)
  • VCR継手やSwagelok継手を溶接するオプションもございます。
 
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■ 校正
  • 校正はメーカーにて行います。通常20℃ 1atmで校正を行いますが、0℃ 1atmでの校正もご指定ただけます。
  • 実ガスによる校正にも対応が可能です。
    ※流量レンジおよび流体により対応できない場合がございます。詳しくはお問い合わせください。
  • NISTトレーサブル校正書(兼試験成績書)がすべてに付属します。またトレーサビリティ体系図の発行も可能です。

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