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ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローコントローラー ラインナップ



■ MC/MCRシリーズ(標準タイプ)
マスフローコントローラー MCシリーズ

  • 混合ガスを含め98種のガスに対応。
  • ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確度で100msの制御応答。
  • 積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。

※負圧および真空引きでご使用の場合は別途ご相談ください。


■ MCS/MCRSシリーズ(腐食性ガス/冷媒ガス対応)
マスフローコントローラー MCSシリーズ

  • 標準タイプで可能なガスに加え、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種のガスに対応。
  • 材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。
  • 標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。

※負圧および真空引きでご使用の場合は別途ご相談ください。


■ MCW/MCRWシリーズ(低圧力損失タイプ)
マスフローコントローラー MCWシリーズ(TFTカラー液晶タイプ)

  • 標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。
  • 低圧のアプリケーションに対応。
  • 0.5SCCMから1000SLPMまでラインナップ。

※負圧および真空引きでご使用の場合は別途ご相談ください。


■ MCV/MCVSシリーズ(シャットオフバルブ搭載)
マスフローコントローラー MCVシリーズ

  • 流路に制御バルブを内蔵し、外部にシャットオフバルブを搭載。
  • より気密性が求められるアプリケーションに対応。
  • MCVSシリーズは腐食性ガスに対応します。


■ MCD/MCRDシリーズ(デュアルバルブ)
マスフローコントローラー MCDシリーズ

  • バルブを2基搭載し、双方向制御が可能。
  • 加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。
  • 腐食性ガスおよび低圧力損失に対応したモデルもラインナップ。


■マスフロー制御 Mass Flow (or Volumetric Flow) Control
マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ


■真空引き Inverse Mass Flow (or Volumetric Flow) Control with Vacuum
マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ


■双方向 Bidirectional Mass Flow (or Volumetric Flow) Control
マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ


■絶対圧制御 Flowing Absolute Pressure Control
マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ


■絶対圧制御 Dead-Ended Absolute Pressure Control
マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ


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