製品情報｜納期約4週間：ALICATマスフローメーター/マスフローコントローラー / コリオリ式流量計・微少流量計・デジタル指示計

製品紹介
product

製品カテゴリー

マスフローメーター

1台で混合ガス含めて130種類のガスに対応。精度も高く高速応答。腐食/冷媒ガス対応や低圧力モデルもラインナップ。詳細はこちら
マスフローコントローラー

標準タイプのMC/MCRシリーズを筆頭にさまざまな環境に対応したマスフローコントローラーがラインナップ。詳細はこちら
液体用フローメーター

マスフローメーターと同様なラミナーフロー方式。安定した出力が特徴。純水の他、いろいろな薬液にも対応可能な液体用流量計。詳細はこちら
液体用フローコントローラー

100msの応答速度で指定流量へすばやく制御。希望流量を短時間で得られます。流量設定はフロントスイッチにより簡単操作。詳細はこちら

コリオリシリーズ

食品関係の低流量から高圧での流体まで正確に測定。可変流体混合物、腐食性の液体にも対応。表示応答時間：<100ms (40g/h-10kg/h) 詳細はこちら
ポータブルシリーズ

持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーターです。フル充電で約18時間の稼動が可能。（モノクロディスプレイ）詳細はこちら
バイオシリーズ

長期間の安定性：極めて低いゼロドリフト。プロセス水汚染に対する保証。高コントラスト、くっきりディスプレイ。詳細はこちら
BASISシリーズ

OEM供給用に開発された小型でローコストのマスフローコントローラー。対応ガスはAirを含めて8種類。詳細はこちら

マスフローコントローラー

混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確度で100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。詳細はこちら
SEMI規格

混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確度で100msの制御応答。※SEMI規格コンパチブル製品です。詳細はこちら
BASIS

標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用。100msの制御応答。アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載。本シリーズはOEM製品です。詳細はこちら
圧力コントローラー

高速応答で安定性のある圧力制御。アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。±(0.25% FS) の高い圧力精度。詳細はこちら

MXM 精密ガスミキサー

単一ガスの工業用高流量操作から複雑なガス混合の研究開発まで、何百もの一般的な用途向けに構築されます。
200 SCCM ～ 50,000 SLPM の流量で最大 10 種類のガスのブレンドが可能。
流量コントロール、圧力コントロールが同時に制御可能です。詳細はこちらカタログ
IMX 工業用ガスミキサー

ガス混合プラットフォームは、パーセントレベルの高流量の施設インフラストラクチャアプリケーション向けに設計されており、大規模な商業規模の運用に最適。
100SLPM ～ 3200SLPM の範囲の組み合わせ流量で、最大4つのガスの正確なブレンドが可能で、流量コントロール、圧力コントロールが同時に制御可能です。詳細はこちら

背圧レギュレーター(研究モデル)

Researchシリーズの背圧レギュレータは、世界中のラボおよびガス分析システムの重要な性能問題を解決します。特に、触媒研究や貯留層コア分析などの用途で人気があります。詳細はこちら
背圧レギュレーター(一般モデル)

唯一の可動部分としてフレキシブルダイヤフラムを採用し、摩擦のない安定した動作を実現します。Equilibar のドーム型マルチオリフィス設計は、最も複雑なアプリケーションに対して瞬時の制御と優れた精度を提供します。詳細はこちら
背圧レギュレーター(産業用モデル)

産業用BDシリーズ背圧バルブは、より大きなサイズとより高いスループットを必要とするアプリケーション向けに設計されています。ポートサイズは1.5インチから4インチまでの標準で、ご要望に応じてカスタムサイズもご用意しています。詳細はこちら
EPR 500高精度電子圧力調整器

窒素や空気などの不活性ガスの静的から低流量のアプリケーション向けに設計されています。すべての非腐食性ガスに対応。0.25%の精度で非常に高い分解能。デジタルまたはアナログ通信に対応。キーパッドから直接制御。最大500 psigの圧力を制御可能。詳細はこちら