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ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローコントローラー 機械仕様



流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 流量範囲

流量レンジ < 標準タイプ >
MC/MCR
(シングルバルブ)
MCD/MCRD
(デュアルバルブ)
< 腐食性対応 >
MCS/MCRS
(シングルバルブ)
MCDS/MCRDS
(デュアルバルブ)
< 低圧力損失 >
MCW/MCRW
(シングルバルブ)
MCDW/MCRDW
(デュアルバルブ)
< 真空対応 >
MCV/MCRV
レンジ比 200:1 100:1 200:1 MCV 200:1
MCVS 100:1
0.5SCCM
(mL/min)
0.0025 - 0.5 0.005 - 0.5 0.0025 - 0.5 0.0025 - 0.5
(0.005 - 0.5)
1SCCM
(mL/min)
0.005 - 1.0 0.01 - 1.0 0.005 - 1.0 0.005 - 1.0
(0.01 - 1.0)
2SCCM
(mL/min)
0.01 - 2.0 0.02 - 2.0 0.01 - 2.0 0.01 - 2.0
(0.02 - 2.0)
5SCCM
(mL/min)
0.025 - 5.0 0.05 - 5.0 0.025 - 5.0 0.025 - 5.0
(0.05 - 5.0)
10SCCM
(mL/min)
0.05 - 10 0.1 - 10 0.05 - 10 0.05 - 10
(0.1 - 10)
20SCCM
(mL/min)
0.1 - 20 0.2 - 20 0.1 - 20 0.1 - 20
(0.2 - 20)
50SCCM
(mL/min)
0.25 - 50 0.5 - 50 0.25 - 50 0.25 - 50
(0.5 - 50)
100SCCM
(mL/min)
0.5 - 100 1.0 - 100 0.5 - 100 0.5 - 100
(1.0 - 100)
200SCCM
(mL/min)
1.0 - 200 2.0 - 200 1.0 - 200 1.0 - 200
(2.0 - 200)
500SCCM
(mL/min)
2.5 - 500 5.0 - 500 2.5 - 500 2.5 - 500
(5.0 - 500)
1SLPM
(L/min)
0.005 - 1.0 0.01 - 1.0 0.005 - 1.0 0.005 - 1.0
(0.01 - 1.0)
2SLPM
(L/min)
0.01 - 2.0 0.02 - 2.0 0.01 - 2.0 0.01 - 2.0
(0.02 - 2.0)
5SLPM
(L/min)
0.025 - 5.0 0.05 - 5.0 0.025 - 5.0 0.025 - 5.0
(0.05 - 5.0)
10SLPM
(L/min)
0.05 - 10 0.1 - 10 0.05 - 10 0.05 - 10
(0.1 - 10)
20SLPM
(L/min)
0.1 - 20 0.2 - 20 0.1 - 20 0.1 - 20
(0.2 - 20)
40SLPM
(L/min)
- - 0.2 - 40 -
50SLPM
(L/min)
0.25 - 50 0.5 - 50 0.25 - 50 -
100SLPM
(L/min)
0.5 - 100 1.0 - 100 0.5 - 100 -
250SLPM
(L/min)
1.25 - 250 2.5 - 250 1.25 - 250 -
500SLPM
(L/min)
2.5 - 500 5.0 - 500 2.5 - 500 -
1000SLPM
(L/min)
5.0 - 1000 10 - 1000 - -
1500SLPM
(L/min)
7.5 - 1500 15 - 1500 - -
2000SLPM
(L/min)
10 - 2000 20 - 2000 - -
3000SLPM
(L/min)
15 - 3000 30 - 3000 - -
5000SLPM
(L/min)
25 - 5000 - - -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 外形寸法
(単位:mm) 
流量レンジ MC/MCRシリーズ MCS/MCRSシリーズ MCW/MCRWシリーズ
0.5SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
1SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
2SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
5SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
10SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
20SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
50SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
100SCCM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
200SCCM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
500SCCM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
1SLPM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
2SLPM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
5SLPM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H139.56
W194.31
D57.15
10SLPM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H139.56
W194.31
D57.15
20SLPM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H139.56
W194.31
D57.15
40SLPM - - H139.56
W194.31
D57.15
50SLPM H139.56
W194.31
D57.15
H144.45
W184.79
D57.15
H139.56
W184.79
D57.15
100SLPM H139.56
W194.31
D57.15
H144.45
W184.79
D57.15
H139.56
W184.79
D57.15
250SLPM H139.56
W194.31
D57.15
H152.07
W194.31
D57.15
H139.56
W184.79
D57.15
500SLPM H139.56
W184.79
D57.15
H151.79
W184.79
D57.15
H139.56
W205.74
D73.66
1000SLPM H139.56
W184.79
D57.15
H151.79
W184.79
D57.15
-
1500SLPM H139.56
W184.79
D57.15
H151.79
W184.79
D57.15
-
2000SLPM H139.56
W205.74
D73.66
H152.07
W205.74
D73.66
-
3000SLPM H139.56
W226.06
D73.66
H152.07
W226.06
D73.66
-
5000SLPM H159.18
W248.92
D114.30
- -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 接続口径

流量レンジ MC/MCR,MCD/MCRD
MCS/MCRS
MCDS/MCRDS
MCW/MCRW
MCDW/MCRDW
MCV/MCRV
0.5SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
1SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
2SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
5SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
10SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
20SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
50SCCM M5(10-32) めねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
100SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
200SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
500SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
1SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
2SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
5SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
10SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
20SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
40SLPM - 1/2inch NPTめねじ -
50SLPM 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
100SLPM 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
250SLPM 1/2inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
500SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
1000SLPM 3/4inch NPTめねじ - -
1500SLPM 3/4inch NPTめねじ - -
2000SLPM 3/4inch NPTめねじ - -
3000SLPM 1-1/4inch NPTめねじ - -
5000SLPM 2inch NPTめねじ - -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ F.S.流量時の圧力損失(下流大気圧開放において)

流量レンジ MC/MCRシリーズ
MCD/MCRDシリーズ
MCS/MCRSシリーズ
MCDS/MCRDSシリーズ
MCW/MCRWシリーズ
MCDW/MCRDWシリーズ
0.5SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.414kPa(D)
1SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.414kPa(D)
2SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.414kPa(D)
5SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.552kPa(D)
10SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.552kPa(D)
20SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
50SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
100SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
200SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
500SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.552kPa(D)
1SLPM 10.34kPa(D) 10.34kPa(D) 0.689kPa(D)
2SLPM 20.68kPa(D) 20.68kPa(D) 1.241kPa(D)
5SLPM 13.79kPa(D) 13.79kPa(D) 0.689kPa(D)
10SLPM 37.92kPa(D) 37.92kPa(D) 0.827kPa(D)
20SLPM 137.9kPa(D) 137.9kPa(D) 1.793kPa(D)
40SLPM - - 0.965kPa(D)
50SLPM 13.79kPa(D) 13.79kPa(D) 1.172kPa(D)
100SLPM 22.06kPa(D) 22.06kPa(D) 2.068kPa(D)
250SLPM 16.55kPa(D) 16.55kPa(D) 4.757kPa(D)
500SLPM 44.82kPa(D) 44.82kPa(D) 4.757kPa(D)
1000SLPM 96.53kPa(D) 96.53kPa(D) -
1500SLPM 117.21kPa(D) 117.21kPa(D) -
2000SLPM 197.19kPa(D) 197.19kPa(D) -
3000SLPM 115.83kPa(D) 115.83kPa(D) -
5000SLPM 97.22kPa(D) - -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 型式 (シリーズ名 - レンジ - 表示タイプ - オプション1 / オプション2)

シリーズ レンジ 表示タイプ オプション1 オプション2
MC/MCR
MCS/MCRS
MCW/MCRW
上表参照 -D
-TFT
-RD
-TFTRD
-REMOTE
-485
-X
など
TOT
HC
NTP:0℃
など

<表示タイプ>
-D  モノクロ液晶
-TFT  カラー液晶
-RD  センサー部表示部セパレートタイプ モノクロ液晶
-TFTRD  センサー部表示部セパレートタイプ カラー液晶

<オプション1> 主なオプション
-REMOTE  高温度ガス対応 (流体温度:-10~100℃/周囲温度:-10~85℃)
-485  RS-485通信対応
-X  防爆対応 (CSA規格およびATEX規格)

<オプション2> 主なオプション
TOT  積算機能搭載
HC  高精度校正 ±(0.4% Reading +0.2% F.S.)
NPT:0℃  ノルマル校正 (標準は STP:20℃ の20℃校正)

【例】 シリーズ名 - 流量レンジ - 表示タイプ - オプション1 / オプション2
MC-20SCCM-D
MC-100SCCM-D/TOT,HC
MC-500SLPM-D-REMOTE/TOT
MCW-0.5SCCM-D/HC
MCW-5SCCM-TFT/NTP:0℃

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