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ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローメーター 特長



■ 多種多様なガスが測定可能
  • 混合ガスを含めM/MWシリーズは98種類、MSシリーズは腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種類のガスが1台で測定可能。
  • ガスの選択はフロントのボタン操作で簡単選択。
  • また任意の比率の混合ガスの測定も可能。
 

PURE NON-CORROSIVE GASES
C2H2アセチレンD2重水素Neネオン
Air 空気 C2H6 エタン N2 窒素
Ar アルゴン C2H4 エチレン N2O 亜酸化窒素
i-C4H10イソブタン He ヘリウム O2 酸素
n-C4H10ブタン H2 水素 C3H8 プロパン
CO2 二酸化炭素 Kr クリプトン SF6 六フッ化硫黄
CO 一酸化炭素 CH4 メタン Xe キセノン

PURE CORROSIVES (腐食性ガス) MSシリーズ
NH3 アンモニアCOS硫化カルボニル NO 一酸化窒素
1Butene 1-ブテン CI2 塩素 C3H6 プロピレン
cButene cis-2-ブテン CH3OCH3 ジメチルエーテル SiH4 シラン
iButene iso-ブテン H2S 硫化水素 SO2 二酸化硫黄
tButene trans-ブテン NF3 三フッ化窒素

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■ 10ミリ秒の高速応答 / ±(0.8% Reading +0.2% F.S.) の高い正確性
  • ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。
  • 流量変化にすばやく追従し、リアルタイムに流量の確認ができます。
  • 精度の高い差圧センサーを搭載し、より正確な流量測定を実現。
  • さらに正確度の高い ±(0.4% Reading +0.2% F.S.) のご指定も可能です。
  • 繰り返し性 ±0.2% Full Scale により安定した流量を確認できます。

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■ 200:1の幅広い流量レンジ ※MSシリーズは100:1
  • 超微少流量の 0.5SCCM から大流量の 5000SLPM までラインナップ。
    (※MWシリーズは 1000SLPM まで)
  • 流量範囲は0.5%~100% F.S.200:1。0.5SCCM は超微少の 0.0025mL/min から測定が可能です。
M series 超微少 MS Series M series 大流量
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■ マスフロー(質量流量)の他、圧力、温度も測定
  • 表示画面にはマスフローに加え、体積流量、圧力、温度も表示します。
    (※マスフローは体積流量を標準温度圧力に換算した値となります。)
  • また各データの表示単位も変更が可能です。その単位に換算した値が表示されます。
    (例えば圧力単位をPSIAからkPaAに変更など)
  • 各データそばのボタンを押すことで、そのデータを画面中央に大きく表示できます。
表示画面

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■ バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載
  • バックライト付きのモノクロ液晶を標準搭載。バックライトはボタン操作で簡単にON/OFFが行えます。
  • より視認性の良いTFTカラー液晶にもオプションで対応が可能です。
  • また配管から離れた場所や盤に取り付け可能なリモートディスプレイもオプションで選択できます。
バックライト TFTカラー液晶 リモートディスプレイ リモートカラーディスプレイ

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■ アナログ出力/RS-232C通信を標準搭載
  • 標準で0-5VDC出力を搭載。マスフローをアナログ出力します。またオプションでアナログ第2出力も可能です。
  • 出力データはマスフローの他、体積流量、圧力、温度も可能。また、0-10VDC、1-5VDC、4-20mA出力もご指定できます。
  • RS-232C通信ではマスフロー、体積流量、圧力、温度、ガス種を出力します。またオプションでRS-485通信も選択できます。

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■ 積算流量が可能(オプション)
  • 積算流量オプションをつけることにより積算流量表示が可能です。
  • 電源投入後およびリセット後から流量の積算を開始します。
  • 測定中のピーク流量や経過時間も同時に測定します。
積算流量

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■ 高温ガスにも対応(オプション)
  • 100℃までの高温ガスの測定が可能です。
    ガス温度:-10~100℃
    周囲温度:-10~85℃
  • センサー部と表示部は分離したタイプとなります。
  • Mシリーズ、MSシリーズ、MWシリーズと全シリーズ対応可能です。
高温ガス対応モデル

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■ 双方向の流量を測定(オプション)※Mシリーズのみ
  • 標準の正方向に加え、逆方向に流れる流量も測定。
  • 逆方向に流れる流量はマイナスで表示します。
  • 校正で双方向オプションをご指定ただくことで双方向の測定が可能になります。

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■ 防爆仕様(オプション)
  • CSA/ATEXの認証を受けた防爆仕様。
    CSA規格「Class 1 Division 2 Group A, B, C and D T4」
    ATEX指令「Ex Ⅱ 3G EEx nA IIC T4」
  • 外部電気接続は6ピンのロック式コネクタとなります。
防爆仕様

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■ 配管
  • 接続口径はNPT規格のめねじとなります。(機械仕様参照)
  • VCR継手やSwagelok継手を溶接するオプションもございます。
 
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■ 校正
  • 校正はメーカーにて行います。通常20℃ 1atmで校正を行いますが、0℃ 1atmでの校正もご指定ただけます。
  • 実ガスによる校正にも対応が可能です。
    ※流量レンジおよび流体により対応できない場合がございます。詳しくはお問い合わせください。
  • NISTトレーサブル校正書(兼試験成績書)がすべてに付属します。またトレーサビリティ体系図の発行も可能です。

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