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ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローメーター 仕様



M/MBシリーズ
標準タイプ		 MS/MBSシリーズ
腐食性対応タイプ		 MW/MWBシリーズ
低圧力損失タイプ
対応ガス種 98種類 130種類 98種類
不確かさ
(TARE後の校正条件において)		 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)
<オプション>
±(0.4% Reading +0.2% F.S.)
※5SCCM以上500SLPM以下の機種に適用
繰り返し性 ±0.2% F.S.
ゼロシフト
スパンシフト		 0.02% F.S./℃/Atm
流量範囲 0.5～100% F.S.
(200:1)		 1.0～100% F.S.
(100:1)		 0.5～100% F.S.
(200:1)
測定可能
最大流量		 128% F.S.
応答速度
(Typical)		 10ms
バッテリー
持続時間		 <MB/MBS/MWBシリーズ>
モノクロ液晶：約18時間（コントラスト10において）
カラー液晶：約5時間（明るさ調整5において）
充電時間
 <MB/MBS/MWBシリーズ>
約3.5時間（2A供給、電源OFFにおいて）

標準温度圧力(STP) 20℃ 1atm  または 0℃ 1atm 
動作温度 流体温度： -10～ 50℃ ／ 周囲温度： -10～ 50℃
<オプション>
流体温度： -10～100℃ ／ 周囲温度： -10～ 80℃
（M/MSシリーズのみ対応）
動作湿度 0～100% (結露無きこと)
最大動作圧力 0.7MPa(G) 0.7MPa(G) 0.2MPa(G)
最大差圧
（上下流間）		 275kPa(D) 275kPa(D) 100kPa(D)
取付姿勢 自由
IP保護 IP40
接ガス部材質 ・SUS303,302
・Viton(R)
・熱硬化型シリコンゴム
・熱硬化型エポキシ
・ガラス強化ポリフェニレンスルファイド
・アルミニウム
・金
・黄銅		 ・SUS316L
・FFKM(Kalrez)		 ・SUS303,302
・Viton(R)
・熱硬化型シリコンゴム
・熱硬化型エポキシ
・ガラス強化ポリフェニレンスルファイド
・アルミニウム
・金
・黄銅

表示器 バックライト付きモノクロ液晶
<オプション>
カラー液晶、リモート表示
デジタル出力 RS-232C (標準) / RS-485 (オプション)
出力データ：質量流量、体積流量、圧力、温度
アナログ出力
(標準)		 0～5VDC
出力データ：質量流量(SCCM値またはSLPM値)
アナログ出力
(オプション)		 0～5VDC / 0～10VDC / 1～5VDC / 4～20mADC
(※0-10VDC出力はMB、MBS、MWBシリーズに非対応)
出力データ：質量流量、体積流量、圧力、温度のいずれか
(※ご注文時にご指定ください。標準は質量流量SLPM/SCCMとなります。)
ｱﾅﾛｸﾞ第2出力
(オプション)		 0～5VDC / 0～10VDC / 1～5VDC / 4～20mADC
(※0-10VDC出力はMB、MBS、MWBシリーズに非対応)
出力データ：質量流量、体積流量、圧力、温度のいずれか
(※ご注文時にご指定ください。)
インターフェース ミニDINコネクタ8ピン
<オプション>
ロック式コネクタ／Dサブコネクタ9ピンまたは15ピン
※ケーブルはオプションとなります >> ケーブル
供給電源 7～30VDC 100mA (4～20mA 出力付きは15VDC以上)
コネクタまたはジャックより供給
※AC電源アダプタが付属します。
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