
ALICAT マスフローメーター 仕様
M/MBシリーズ 標準タイプ |
MS/MBSシリーズ 腐食性対応タイプ |
MW/MWBシリーズ 低圧力損失タイプ |
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対応ガス種 | 98種類 | 130種類 | 98種類 |
流量精度 (TARE後の校正条件において) |
±(0.8% Reading +0.2% F.S.) <オプション> ±(0.4% Reading +0.2% F.S.) ※5SCCM以上500SLPM以下の機種に適用 |
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繰り返し性 | ±0.2% F.S. | ||
ゼロシフト スパンシフト |
0.02% F.S./℃/Atm | ||
流量範囲 | 0.5~100% F.S. (200:1) |
1.0~100% F.S. (100:1) |
0.5~100% F.S. (200:1) |
測定可能 最大流量 |
128% F.S. | ||
応答速度 (Typical) |
10ms | ||
バッテリー 持続時間 |
<MB/MBS/MWBシリーズ> モノクロ液晶:約18時間(コントラスト10において) カラー液晶:約5時間(明るさ調整5において) |
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充電時間 |
<MB/MBS/MWBシリーズ> 約3.5時間(2A供給、電源OFFにおいて) |
標準温度圧力(STP) | 20℃ 1atm または 0℃ 1atm  | ||
動作温度 | 流体温度: -10~ 50℃ / 周囲温度: -10~ 50℃ <オプション> 流体温度: -10~100℃ / 周囲温度: -10~ 80℃ (M/MSシリーズのみ対応) |
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動作湿度 | 0~100% (結露無きこと) | ||
最大動作圧力 | 0.7MPa(G) | 0.7MPa(G) | 0.2MPa(G) |
最大差圧 (上下流間) |
275kPa(D) | 275kPa(D) | 100kPa(D) |
取付姿勢 | 自由 | ||
IP保護 | IP40 | ||
接ガス部材質 | ・SUS303,302 ・Viton(R) ・熱硬化型シリコンゴム ・熱硬化型エポキシ ・ガラス強化ポリフェニレンスルファイド ・アルミニウム ・金 ・黄銅 |
・SUS316L ・FFKM(Kalrez) |
・SUS303,302 ・Viton(R) ・熱硬化型シリコンゴム ・熱硬化型エポキシ ・ガラス強化ポリフェニレンスルファイド ・アルミニウム ・金 ・黄銅 |
表示器 | バックライト付きモノクロ液晶 <オプション> カラー液晶、リモート表示 |
デジタル出力 | RS-232C (標準) / RS-485 (オプション) 出力データ:質量流量、体積流量、圧力、温度 |
アナログ出力 (標準) |
0~5VDC または0~10VDC / 1~5VDC / 4~20mADC (※0-10VDC出力はMB、MBS、MWBシリーズに非対応) 出力データ:質量流量(SCCM値またはSLPM値) または体積流量、圧力、温度のいずれか (※ご注文時にご指定ください。) |
アナログ第2出力 (オプション) |
0~5VDC / 0~10VDC / 1~5VDC / 4~20mADC (※0-10VDC出力はMB、MBS、MWBシリーズに非対応) 出力データ:質量流量、体積流量、圧力、温度のいずれか (※ご注文時にご指定ください。) |
インターフェース | ミニDINコネクタ8ピン <オプション> ロック式コネクタ/Dサブコネクタ9ピンまたは15ピン ※ケーブルはオプションとなります >> ケーブル |
供給電源 | 7~30VDC 100mA (4~20mA 出力付きは15VDC以上) コネクタまたはジャックより供給 ※AC電源アダプタが付属します。 |
カタログ | ![]() |