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ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローメーター 機械仕様



流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 流量範囲

流量レンジ (標準タイプ)
M/MBシリーズ
(腐食性ガス対応)
MS/MBSシリーズ
(低圧力損失タイプ)
MW/MWBシリーズ
レンジ比 200:1 100:1 200:1
0.5SCCM 0.0025 - 0.5mL/min 0.005 - 0.5mL/min 0.0025 - 0.5mL/min
1SCCM 0.005 - 1.0mL/min 0.01 - 1.0mL/min 0.005 - 1.0mL/min
2SCCM 0.01 - 2.0mL/min 0.02 - 2.0mL/min 0.01 - 2.0mL/min
5SCCM 0.025 - 5.0mL/min 0.05 - 5.0mL/min 0.025 - 5.0mL/min
10SCCM 0.05 - 10mL/min 0.1 - 10mL/min 0.05 - 10mL/min
20SCCM 0.1 - 20mL/min 0.2 - 20mL/min 0.1 - 20mL/min
50SCCM 0.25 - 50mL/min 0.5 - 50mL/min 0.25 - 50mL/min
100SCCM 0.5 - 100mL/min 1.0 - 100mL/min 0.5 - 100mL/min
200SCCM 1.0 - 200mL/min 2.0 - 200mL/min 1.0 - 200mL/min
500SCCM 2.5 - 500mL/min 5.0 - 500mL/min 2.5 - 500mL/min
1SLPM 0.005 - 1.0L/min 0.01 - 1.0L/min 0.005 - 1.0L/min
2SLPM 0.01 - 2.0L/min 0.02 - 2.0L/min 0.01 - 2.0L/min
5SLPM 0.025 - 5.0L/min 0.05 - 5.0L/min 0.025 - 5.0L/min
10SLPM 0.05 - 10L/min 0.1 - 10L/min 0.05 - 10L/min
20SLPM 0.1 - 20L/min 0.2 - 20L/min 0.1 - 20L/min
40SLPM - - 0.2 - 40L/min
50SLPM 0.25 - 50L/min 0.5 - 50L/min 0.25 - 50L/min
100SLPM 0.5 - 100L/min 1.0 - 100L/min 0.5 - 100L/min
250SLPM 1.25 - 250L/min 2.5 - 250L/min 1.25 - 250L/min
500SLPM 2.5 - 500L/min 5.0 - 500L/min 2.5 - 500L/min
1000SLPM 5.0 - 1000L/min 10 - 1000L/min -
1500SLPM 7.5 - 1500L/min 15 - 1500L/min -
2000SLPM 10 - 2000L/min 20 - 2000L/min -
3000SLPM 15 - 3000L/min 30 - 3000L/min -
4000SLPM 20 - 4000L/min 40 - 4000L/min -
5000SLPM 25 - 5000L/min - -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 外形寸法
(単位:mm) 
流量レンジ (標準タイプ)
Mシリーズ
(腐食性ガス対応)
MSシリーズ
(低圧力損失タイプ)
MWシリーズ
0.5SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
1SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
2SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
5SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
10SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
20SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
50SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
100SCCM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
200SCCM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
500SCCM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
1SLPM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
2SLPM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
5SLPM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
10SLPM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H106.86
W66.68
D26.67
20SLPM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H110.92
W101.6
D40.64
40SLPM - - H126.16
W101.6
D40.64
50SLPM H110.92
W101.6
D40.64
H128.7
W101.6
D40.64
H126.16
W101.6
D40.64
100SLPM H110.92
W101.6
D40.64
H128.7
W101.6
D40.64
H126.16
W101.6
D40.64
250SLPM H126.16
W101.6
D40.64
H143.94
W101.6
D40.64
H126.16
W101.6
D40.64
500SLPM H126.16
W101.6
D40.64
H143.94
W101.6
D40.64
H134.29
W132.08
D73.66
1000SLPM H126.16
W101.6
D40.64
H143.94
W101.6
D40.64
-
1500SLPM H126.16
W101.6
D40.64
H143.94
W101.6
D40.64
-
2000SLPM H134.29
W132.08
D73.66
H152.07
W132.08
D73.66
-
3000SLPM H134.29
W132.08
D73.66
H152.07
W132.08
D73.66
-
4000SLPM H192.58
W132.08
D73.66
H210.36
W132.08
D73.66
-
5000SLPM H159.18
W132.08
D97.54
- -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 接続口径

流量レンジ (標準タイプ)
M/MBシリーズ
(腐食性ガス対応)
MS/MBSシリーズ
(低圧力損失タイプ)
MW/MWBシリーズ
0.5SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
1SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
2SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
5SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
10SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
20SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
50SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/8inch NPTめねじ
100SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
200SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
500SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
1SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
2SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
5SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
10SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ
20SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ
40SLPM - - 1/2inch NPTめねじ
50SLPM 1/4inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
100SLPM 1/4inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
250SLPM 1/2inch NPTめねじ 1/2inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
500SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
1000SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
1500SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
2000SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
3000SLPM 1-1/4inch NPTめねじ 1-1/4inch NPTめねじ -
4000SLPM 2inch NPTめねじ 2inch NPTめねじ -
5000SLPM 2inch NPTめねじ - -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ F.S.流量時の圧力損失(下流大気圧開放において)

流量レンジ (標準タイプ)
M/MBシリーズ
(腐食性ガス対応)
MS/MBSシリーズ
(低圧力損失タイプ)
MW/MWBシリーズ
0.5SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.414kPa(D)
1SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.414kPa(D)
2SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.414kPa(D)
5SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
10SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
20SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
50SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
100SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.414kPa(D)
200SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.414kPa(D)
500SCCM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
1SLPM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
2SLPM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
5SLPM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.483kPa(D)
10SLPM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 0.552kPa(D)
20SLPM 6.89kPa(D) 6.89kPa(D) 1.724kPa(D)
40SLPM - - 0.827kPa(D)
50SLPM 13.79kPa(D) 13.79kPa(D) 0.965kPa(D)
100SLPM 17.24kPa(D) 17.24kPa(D) 1.655kPa(D)
250SLPM 14.48kPa(D) 14.48kPa(D) 4.137kPa(D)
500SLPM 27.58kPa(D) 27.58kPa(D) 2.689kPa(D)
1000SLPM 41.37kPa(D) 41.37kPa(D) -
1500SLPM 62.05kPa(D) 62.05kPa(D) -
2000SLPM 34.47kPa(D) 34.47kPa(D) -
3000SLPM 48.95kPa(D) 48.95kPa(D) -
4000SLPM 30.34kPa(D) 30.34kPa(D) -
5000SLPM 23.44kPa(D) - -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 型式 (シリーズ名 - レンジ - 表示タイプ - オプション1 / オプション2)

シリーズ レンジ 表示タイプ オプション1 オプション2
M
MS
MW
上表参照 -D
-TFT
-RD
-TFTRD
-REMOTE
-485
-X
など
TOT
HC
NTP:0℃
など

<表示タイプ>
-D  モノクロ液晶
-TFT  カラー液晶
-RD  センサー部表示部セパレートタイプ モノクロ液晶
-TFTRD  センサー部表示部セパレートタイプ カラー液晶

<オプション1> 主なオプション
-REMOTE  高温度ガス対応 (流体温度:-10~100℃/周囲温度:-10~85℃)
-485  RS-485通信対応
-X  防爆対応 (CSA規格およびATEX規格)

<オプション2> 主なオプション
TOT  積算機能搭載
HC  高精度校正 ±(0.4% Reading +0.2% F.S.)
NPT:0℃  ノルマル校正 (標準は STP:20℃ の20℃校正)

【例】 シリーズ名 - 流量レンジ - 表示タイプ - オプション1 / オプション2
M-20SCCM-D
MB-100SCCM-D/TOT,HC
M-500SLPM-D-REMOTE/TOT
MW-0.5SCCM-D/HC
MW-5SCCM-TFT/NTP:0℃

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