HOME > 製品紹介 > ALICAT マスフローメーター
ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローメーター ラインナップ



■ Mシリーズ(標準タイプ)
ALICAT マスフローメーター Mシリーズ

  • 混合ガスを含め98種のガスに対応。
  • ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確度で10msの高速応答。
  • 超微少流量(0.5SCCM)から大流量(5000SLPM)までラインナップ。

■ MSシリーズ(腐食性ガス/冷媒ガス対応)
ALICAT マスフローメーター MSシリーズ

  • 標準のガス種に加え、腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種に対応。
  • 材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。
  • 標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。

■ MWシリーズ(低圧力損失タイプ)
ALICAT マスフローメーター MWシリーズ(TFTカラー液晶タイプ

  • 標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。
  • 超微少流量タイプではフルスケール時の損失が414Pa(0.06PSID)。
  • リークなど低圧アプリケーションに最適です。


■ MB/MBS/MWBシリーズ(ポータブルマスフローメーター)
ALICAT マスフローメーター MWBシリーズ

  • 持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーター。
  • フル充電で約18時間の稼動が可能。
  • MBシリーズは標準タイプ、MBSシリーズは腐食性ガス対応、MWBシリーズは低圧力損失タイプです。

■ PCUシリーズ(ポータブルキャリブレーションユニット)
ポータブルキャリブレーションユニット

  • ポータブルケースにマスフローメーターを搭載。
  • 2本の9V形アルカリ電池で駆動。
  • 持ち運びが容易な校正器としてお使いいただけます。

このページのトップへ

ALICAT マスフローメーターについてのお問い合わせ