HOME > 製品紹介 > マスフローメーター
製品紹介

マスフローメーター 機械仕様



流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 流量範囲

流量レンジ (標準タイプ)
M/MBシリーズ
(腐食性ガス対応)
MS/MBSシリーズ
(低圧力損失タイプ)
MW/MWBシリーズ
レンジ比 200:1 100:1 200:1
0.5 SCCM 0.0025 - 0.5 mL/min 0.005 - 0.5 mL/min 0.0025 - 0.5 mL/min
1 SCCM 0.005 - 1.0 mL/min 0.01 - 1.0 mL/min 0.005 - 1.0 mL/min
2 SCCM 0.01 - 2.0 mL/min 0.02 - 2.0 mL/min 0.01 - 2.0 mL/min
5 SCCM 0.025 - 5.0 mL/min 0.05 - 5.0 mL/min 0.025 - 5.0 mL/min
10 SCCM 0.05 - 10 mL/min 0.1 - 10 mL/min 0.05 - 10 mL/min
20 SCCM 0.1 - 20 mL/min 0.2 - 20 mL/min 0.1 - 20 mL/min
50 SCCM 0.25 - 50 mL/min 0.5 - 50 mL/min 0.25 - 50 mL/min
100 SCCM 0.5 - 100 mL/min 1.0 - 100 mL/min 0.5 - 100 mL/min
200 SCCM 1.0 - 200 mL/min 2.0 - 200 mL/min 1.0 - 200 mL/min
500 SCCM 2.5 - 500 mL/min 5.0 - 500 mL/min 2.5 - 500 mL/min
1 SLPM 0.005 - 1.0 L/min 0.01 - 1.0 L/min 0.005 - 1.0 L/min
2 SLPM 0.01 - 2.0 L/min 0.02 - 2.0 L/min 0.01 - 2.0 L/min
5 SLPM 0.025 - 5.0 L/min 0.05 - 5.0 L/min 0.025 - 5.0 L/min
10 SLPM 0.05 - 10 L/min 0.1 - 10 L/min 0.05 - 10 L/min
20 SLPM 0.1 - 20 L/min 0.2 - 20 L/min 0.1 - 20 L/min
40 SLPM - - 0.2 - 40 L/min
50 SLPM 0.25 - 50 L/min 0.5 - 50 L/min 0.25 - 50 L/min
100 SLPM 0.5 - 100 L/min 1.0 - 100 L/min 0.5 - 100 L/min
250 SLPM 1.25 - 250 L/min 2.5 - 250 L/min 1.25 - 250 L/min
500 SLPM 2.5 - 500 L/min 5.0 - 500 L/min 2.5 - 500 L/min
1000 SLPM 5.0 - 1000 L/min 10 - 1000 L/min -
1500 SLPM 7.5 - 1500 L/min 15 - 1500 L/min -
2000 SLPM 10 - 2000 L/min 20 - 2000 L/min -
3000 SLPM 15 - 3000 L/min 30 - 3000 L/min -
4000 SLPM 20 - 4000 L/min 40 - 4000 L/min -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 外形寸法
(単位:mm) 
流量レンジ (標準タイプ)
Mシリーズ
(腐食性ガス対応)
MSシリーズ
(低圧力損失タイプ)
MWシリーズ
0.5 SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
1 SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
2 SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
5 SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
10 SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
20 SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H98.98
W60.33
D26.67
50 SCCM H98.89
W60.33
D26.67
H111.68
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
100 SCCM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
200 SCCM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
500 SCCM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
1 SLPM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
2 SLPM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
5 SLPM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H103.30
W60.33
D26.67
10 SLPM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H106.86
W66.68
D26.67
20 SLPM H103.3
W60.33
D26.67
H116.0
W60.33
D26.67
H110.92
W101.6
D40.64
40 SLPM - - H126.16
W101.6
D40.64
50 SLPM H110.92
W101.6
D40.64
H128.7
W101.6
D40.64
H126.16
W101.6
D40.64
100 SLPM H110.92
W101.6
D40.64
H128.7
W101.6
D40.64
H126.16
W101.6
D40.64
250 SLPM H126.16
W101.6
D40.64
H143.94
W101.6
D40.64
H126.16
W101.6
D40.64
500 SLPM H126.16
W101.6
D40.64
H143.94
W101.6
D40.64
H134.29
W132.08
D73.66
1000 SLPM H126.16
W101.6
D40.64
H143.94
W101.6
D40.64
-
1500 SLPM H126.16
W101.6
D40.64
H143.94
W101.6
D40.64
-
2000 SLPM H134.29
W132.08
D73.66
H152.07
W132.08
D73.66
-
3000 SLPM H134.29
W132.08
D73.66
H152.07
W132.08
D73.66
-
4000 SLPM H192.58
W132.08
D73.66
H210.36
W132.08
D73.66
-

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 接続口径

流量レンジ (標準タイプ)
M/MBシリーズ
(腐食性ガス対応)
MS/MBSシリーズ
(低圧力損失タイプ)
MW/MWBシリーズ
0.5 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
1 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
2 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
5 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
10 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
20 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ
50 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/8inch NPTめねじ
100 SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
200 SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
500 SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
1 SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
2 SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
5 SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ
10 SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ
20 SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ
40 SLPM - - 1/2inch NPTめねじ
50 SLPM 1/4inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
100 SLPM 1/4inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
250 SLPM 1/2inch NPTめねじ 1/2inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
500 SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ
1000 SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
1500 SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
2000 SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
3000 SLPM 1-1/4inch NPTめねじ 1-1/4inch NPTめねじ -
4000 SLPM 2inch NPTめねじ 2inch NPTめねじ -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 圧力損失(下流大気開放でのF.S.流量時)

流量レンジ (標準タイプ)
M/MBシリーズ
(腐食性ガス対応)
MS/MBSシリーズ
(低圧力損失タイプ)
MW/MWBシリーズ
0.5 SCCM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.414 kPa(D)
1 SCCM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.414 kPa(D)
2 SCCM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.414 kPa(D)
5 SCCM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.483 kPa(D)
10 SCCM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.483 kPa(D)
20 SCCM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.483 kPa(D)
50 SCCM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.483 kPa(D)
100 SCCM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.414 kPa(D)
200 SCCM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.414 kPa(D)
500 SCCM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.483 kPa(D)
1 SLPM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.483 kPa(D)
2 SLPM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.483 kPa(D)
5 SLPM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.483 kPa(D)
10 SLPM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 0.552 kPa(D)
20 SLPM 6.89 kPa(D) 6.89 kPa(D) 1.724 kPa(D)
40 SLPM - - 0.827 kPa(D)
50 SLPM 13.79 kPa(D) 13.79 kPa(D) 0.965 kPa(D)
100 SLPM 17.24 kPa(D) 17.24 kPa(D) 1.655 kPa(D)
250 SLPM 14.48 kPa(D) 14.48 kPa(D) 4.137 kPa(D)
500 SLPM 27.58 kPa(D) 27.58 kPa(D) 2.689 kPa(D)
1000 SLPM 41.37 kPa(D) 41.37 kPa(D) -
1500 SLPM 62.05 kPa(D) 62.05 kPa(D) -
2000 SLPM 34.47 kPa(D) 34.47 kPa(D) -
3000 SLPM 48.95 kPa(D) 48.95 kPa(D) -
4000 SLPM 30.34 kPa(D) 30.34 kPa(D) -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 型式 (シリーズ名 - レンジ - 表示タイプ - オプション1 / オプション2)

シリーズ レンジ 表示タイプ オプション1 オプション2
M
MS
MW
上表参照 -D
-TFT
-RD
-TFTRD
-REMOTE
-485
-X
など
TOT
HC
NTP:0℃
など

<表示タイプ>
-D  モノクロ液晶
-TFT  カラー液晶
-RD  センサー部表示部セパレートタイプ モノクロ液晶
-TFTRD  センサー部表示部セパレートタイプ カラー液晶

<オプション1> 主なオプション
-REMOTE  高温度ガス対応 (流体温度:-10~100℃/周囲温度:-10~85℃)
-485  RS-485通信対応
-X  防爆対応 (CSA規格およびATEX規格)

<オプション2> 主なオプション
TOT  積算機能搭載
HC  高精度校正 ±(0.4% Reading +0.2% F.S.)
NPT:0℃  ノルマル校正 (標準は STP:20℃ の20℃校正)

【例】 シリーズ名 - 流量レンジ - 表示タイプ - オプション1 / オプション2
M-20SCCM-D
MB-100SCCM-D/TOT,HC
M-500SLPM-D-REMOTE/TOT
MW-0.5SCCM-D/HC
MW-5SCCM-TFT/NTP:0℃

このページのトップへ

マスフローメーターについてのお問い合わせ