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製品紹介

マスフローメーター 特長



■ 多種多彩なガスが測定可能
  • 混合ガスを含めM/MWシリーズは98種類、MSシリーズは腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種類のガスが1台で測定可能。
  • ガスの選択はフロントのスイッチ操作で簡単選択。
  • また、登録されているガスから任意に混合ガスデータの作成も可能。
 

PURE NON-CORROSIVE GASES
C2H2アセチレンD2重水素Neネオン
Air 空気 C2H6 エタン N2 窒素
Ar アルゴン C2H4 エチレン N2O 亜酸化窒素
i-C4H10イソブタン He ヘリウム O2 酸素
n-C4H10ブタン H2 水素 C3H8 プロパン
CO2 二酸化炭素 Kr クリプトン SF6 六フッ化硫黄
CO 一酸化炭素 CH4 メタン Xe キセノン

PURE CORROSIVES (腐食性ガス) MSシリーズ
NH3 アンモニアCOS硫化カルボニル NO 一酸化窒素
1Butene 1-ブテン CI2 塩素 C3H6 プロピレン
cButene cis-2-ブテン CH3OCH3 ジメチルエーテル SiH4 シラン
iButene iso-ブテン H2S 硫化水素 SO2 二酸化硫黄
tButene trans-ブテン NF3 三フッ化窒素

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■ 10ミリ秒の高速応答
  • ラミナーフロー方式と差圧センサーにより高速応答を実現。
  • 流量変化にすばやく追従し、リアルタイムに流量を確認できます。

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■ ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の優れた測定精度
  • 精度の高い差圧センサーで優れた測定精度を実現。
  • さらに ±(0.4% Reading +0.2% F.S.) の高精度オプションも選択可能。
  • 繰り返し精度 ±0.2% の高い再現性により安定した流量を確認できます。

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■ 200:1の幅広い流量レンジ ※MSシリーズは100:1
  • 超微少流量の 0.5SCCM から大流量の 5000SLPM までラインアップ (※MWシリーズは 500SLPM まで)
  • 200:1 の流量レンジ比で 0.5SCCM は超微少の 0.0025mL/min から測定可能。

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■ バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載
  • バックライト付きのモノクロ液晶を標準搭載。ボタン操作で簡単にON/OFFが行えます。
  • 画面中央に大きく測定値を表示。マスフローの他、体積流量、絶対圧、温度も同時に確認できます。(※マスフローは体積流量を標準状態における値に換算したものです。)
  • より視認性の良いTFTカラー液晶や離れた場所でも確認できるリモートディスプレイもオプションで選択できます。
  

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■ アナログ出力/RS-232C通信を標準搭載
  • 標準で0-5VDC出力を搭載。マスフローをアナログ出力します。またオプションでアナログ第2出力も可能です。
  • 出力データはマスフローの他、体積流量、絶対圧、温度も可能。また、0-10VDC、1-5VDC、4-20mA出力もご指定できます。
  • RS-232C通信ではマスフロー、体積流量、絶対圧、温度、測定ガス種を出力します。またオプションでRS-485も選択できます。

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■ オプション機能 (積算/高温度/防爆など)
  • 積算流量オプションをつけることにより積算流量表示が可能です。
  • 高温度オプションにより100℃までのガスが測定可能です。
  • 防爆仕様が可能です。(CSA規格およびATEX規格)
  • NPTめねじの接続口をVCRの溶接継手に変更が可能です。
  • バッテリーを搭載したポータブルタイプ。フル充電で約18時間稼動します。
  

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■ 校正
  • 通常校正は20℃1atmですが、ご指示いただければ0℃1atmでの校正も可能です。
  • また実ガスによる校正も行っています。
    (※高精度校正となります。また流量レンジ、流体により対応できない場合がございます。)
  • 20℃1atmの校正であっても基準温度を変更することで、0℃1atmでの測定が可能です。

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■ 信頼性
  • 製品すべてにNISTトレーサブル検査成績書が付属します。
  • またトレーサビリティ体系図の発行も可能です。


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■ アプリケーション:リークテスト



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