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製品紹介

マスフローコントローラー 機械仕様



流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 流量範囲

流量レンジ < 標準タイプ >
MC/MCR
(シングルバルブ)
MCD/MCRD
(デュアルバルブ)
< 腐食性対応 >
MCS/MCRS
(シングルバルブ)
MCDS/MCRDS
(デュアルバルブ)
< 低圧力損失 >
MCW/MCRW
(シングルバルブ)
MCDW/MCRDW
(デュアルバルブ)
< 真空対応 >
MCV/MCRV
レンジ比 200:1 100:1 200:1 MCV 200:1
MCVS 100:1
0.5 SCCM
(mL/min)
0.0025 - 0.5 0.005 - 0.5 0.0025 - 0.5 -
1 SCCM
(mL/min)
0.005 - 1.0 0.01 - 1.0 0.005 - 1.0 -
2 SCCM
(mL/min)
0.01 - 2.0 0.02 - 2.0 0.01 - 2.0 -
5 SCCM
(mL/min)
0.025 - 5.0 0.05 - 5.0 0.025 - 5.0 -
10 SCCM
(mL/min)
0.05 - 10 0.1 - 10 0.05 - 10 0.05 - 10
(0.1 - 10)
20 SCCM
(mL/min)
0.1 - 20 0.2 - 20 0.1 - 20 0.1 - 20
(0.2 - 20)
50 SCCM
(mL/min)
0.25 - 50 0.5 - 50 0.25 - 50 0.25 - 50
(0.5 - 50)
100 SCCM
(mL/min)
0.5 - 100 1.0 - 100 0.5 - 100 0.5 - 100
(1.0 - 100)
200 SCCM
(mL/min)
1.0 - 200 2.0 - 200 1.0 - 200 1.0 - 200
(2.0 - 200)
500 SCCM
(mL/min)
2.5 - 500 5.0 - 500 2.5 - 500 2.5 - 500
(5.0 - 500)
1 SLPM
(L/min)
0.005 - 1.0 0.01 - 1.0 0.005 - 1.0 0.005 - 1.0
(0.01 - 1.0)
2 SLPM
(L/min)
0.01 - 2.0 0.02 - 2.0 0.01 - 2.0 0.01 - 2.0
(0.02 - 2.0)
5 SLPM
(L/min)
0.025 - 5.0 0.05 - 5.0 0.025 - 5.0 0.025 - 5.0
(0.05 - 5.0)
10 SLPM
(L/min)
0.05 - 10 0.1 - 10 0.05 - 10 0.05 - 10
(0.1 - 10)
20 SLPM
(L/min)
0.1 - 20 0.2 - 20 0.1 - 20 0.1 - 20
(0.2 - 20)
40 SLPM
(L/min)
- - 0.2 - 40 -
50 SLPM
(L/min)
0.25 - 50 0.5 - 50 0.25 - 50 -
100 SLPM
(L/min)
0.5 - 100 1.0 - 100 0.5 - 100 -
250 SLPM
(L/min)
1.25 - 250 2.5 - 250 1.25 - 250 -
500 SLPM
(L/min)
2.5 - 500 5.0 - 500 2.5 - 500 -
1000 SLPM
(L/min)
5.0 - 1000 10 - 1000 - -
1500 SLPM
(L/min)
7.5 - 1500 15 - 1500 - -
2000 SLPM
(L/min)
10 - 2000 20 - 2000 - -
3000 SLPM
(L/min)
15 - 3000 30 - 3000 - -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 外形寸法
(単位:mm) 
流量レンジ MC/MCRシリーズ MCS/MCRSシリーズ MCW/MCRWシリーズ
0.5 SCCM H98.98
W84.77D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
1 SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
2 SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
5 SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
10 SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
20 SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H98.98
W84.77
D26.67
50 SCCM H98.98
W84.77
D26.67
H111.68
W84.77
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
100 SCCM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
200 SCCM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
500 SCCM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
1 SLPM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
2 SLPM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H103.3
W91.12
D26.67
5 SLPM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H139.56
W194.31
D57.15
10 SLPM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H139.56
W194.31
D57.15
20 SLPM H103.3
W94.95
D26.67
H116.0
W91.12
D26.67
H139.56
W194.31
D57.15
40 SLPM - - H139.56
W194.31
D57.15
50 SLPM H139.56
W194.31
D57.15
H144.45
W184.79
D57.15
H139.56
W184.79
D57.15
100 SLPM H139.56
W194.31
D57.15
H144.45
W184.79
D57.15
H139.56
W184.79
D57.15
250 SLPM H139.56
W194.31
D57.15
H152.07
W194.31
D57.15
H139.56
W184.79
D57.15
500 SLPM H139.56
W184.79
D57.15
H151.79
W184.79
D57.15
H139.56
W205.74
D73.66
1000 SLPM H139.56
W184.79
D57.15
H151.79
W184.79
D57.15
-
1500 SLPM H139.56
W184.79
D57.15
H151.79
W184.79
D57.15
-
2000 SLPM H139.56
W205.74
D73.66
H152.07
W205.74
D73.66
-
3000 SLPM H139.56
W226.06
D73.66
H152.07
W226.06
D73.66
-

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 接続口径

流量レンジ MC/MCR,MCD/MCRD
MCS/MCRS
MCDS/MCRDS
MCW/MCRW
MCDW/MCRDW
MCV/MCRV
0.5 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ -
1 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ -
2 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ -
5 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ -
10 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
20 SCCM M5(10-32) めねじ M5(10-32) めねじ 1/4inch VCRおねじ
50 SCCM M5(10-32) めねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
100 SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
200 SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
500 SCCM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
1 SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
2 SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/8inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
5 SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
10 SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
20 SLPM 1/8inch NPTめねじ 1/4inch NPTめねじ 1/4inch VCRおねじ
40 SLPM - 1/2inch NPTめねじ -
50 SLPM 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
100 SLPM 1/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
250 SLPM 1/2inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
500 SLPM 3/4inch NPTめねじ 3/4inch NPTめねじ -
1000 SLPM 3/4inch NPTめねじ - -
1500 SLPM 3/4inch NPTめねじ - -
2000 SLPM 3/4inch NPTめねじ - -
3000 SLPM 1-1/4inch NPTめねじ - -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 圧力損失(F.S.流量時)

流量レンジ MC/MCRシリーズ
MCD/MCRDシリーズ
MCS/MCRSシリーズ
MCDS/MCRDSシリーズ
MCW/MCRWシリーズ
MCDW/MCRDWシリーズ
0.5 SCCM 6.89 kPa 6.89 kPa 0.414 kPa
1 SCCM 6.89 kPa 6.89 kPa 0.414 kPa
2 SCCM 6.89 kPa 6.89 kPa 0.414 kPa
5 SCCM 6.89 kPa 6.89 kPa 0.552 kPa
10 SCCM 6.89 kPa 6.89 kPa 0.552 kPa
20 SCCM 6.89 kPa 6.89 kPa 0.483 kPa
50 SCCM 6.89 kPa 6.89 kPa 0.483 kPa
100 SCCM 6.89 kPa 6.89 kPa 0.483 kPa
200 SCCM 6.89 kPa 6.89 kPa 0.483 kPa
500 SCCM 6.89 kPa 6.89 kPa 0.552 kPa
1 SLPM 10.34 kPa 10.34 kPa 0.689 kPa
2 SLPM 20.68 kPa 20.68 kPa 1.241 kPa
5 SLPM 13.79 kPa 13.79 kPa 0.689 kPa
10 SLPM 37.92 kPa 37.92 kPa 0.827 kPa
20 SLPM 137.9 kPa 137.9 kPa 1.793 kPa
40 SLPM - - 0.965 kPa
50 SLPM 13.79 kPa 13.79 kPa 1.172 kPa
100 SLPM 22.06 kPa 22.06 kPa 2.068 kPa
250 SLPM 16.55 kPa 16.55 kPa 4.757 kPa
500 SLPM 44.82 kPa 44.82 kPa 4.757 kPa
1000 SLPM 96.53 kPa 96.53 kPa -
1500 SLPM 117.21 kPa 117.21 kPa -
2000 SLPM 197.19 kPa 197.19 kPa -
3000 SLPM 115.83 kPa 115.83 kPa -

流量範囲外形寸法接続口径圧力損失型式
■ 型式 (シリーズ名 - レンジ - 表示タイプ - オプション1 / オプション2)

シリーズ レンジ 表示タイプ オプション1 オプション2
MC/MCR
MCS/MCRS
MCW/MCRW
上表参照 -D
-TFT
-RD
-TFTRD
-REMOTE
-485
-X
など
TOT
HC
NTP:0℃
など

<表示タイプ>
-D  モノクロ液晶
-TFT  カラー液晶
-RD  センサー部表示部セパレートタイプ モノクロ液晶
-TFTRD  センサー部表示部セパレートタイプ カラー液晶

<オプション1> 主なオプション
-REMOTE  高温度ガス対応 (流体温度:-10~100℃/周囲温度:-10~85℃)
-485  RS-485通信対応
-X  防爆対応 (CSA規格およびATEX規格)

<オプション2> 主なオプション
TOT  積算機能搭載
HC  高精度校正 ±(0.4% Reading +0.2% F.S.)
NPT:0℃  ノルマル校正 (標準は STP:20℃ の20℃校正)

【例】 シリーズ名 - 流量レンジ - 表示タイプ - オプション1 / オプション2
MC-20SCCM-D
MC-100SCCM-D/TOT,HC
MC-500SLPM-D-REMOTE/TOT
MCW-0.5SCCM-D/HC
MCW-5SCCM-TFT/NTP:0℃

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