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製品紹介

マスフローコントローラー 対応ガス



■ 全登録ガスデータ

対応ガス1
 
対応ガス4
 
対応ガス5
 
対応ガス6
 
対応ガス7
 
対応ガス8
 
対応ガス9
 
対応ガス10
 
対応ガス11
 
▼腐食性ガス
MSシリーズおよびMCS/MCRSシリーズのみ対応します。
対応ガス2
※MCS/MCRSシリーズはCI2には対応しておりません。またSO2は特殊バルブ搭載で対応可能です。
 
▼冷媒ガス
MSシリーズおよびMCS/MCRSシリーズのみ対応します。
対応ガス3

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