日本スターテクノ株式会社 - ALICAT マスフローメーター・マスフローコントローラー・人工ダイヤモンド製造向けMFC・半導体装置向けMFC・コリオリ式流量計・微少流量計・液体用流量計 / デジタル指示計の販売

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ALICAT マスフローメーター

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オプション＆アクセサリー

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TFTカラー液晶・リモートディスプレイ等さまざまなオプションがございます。

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▼ラインナップ

Mシリーズ（標準タイプ）

Mシリーズ

Mシリーズ（標準タイプ）商品写真

混合ガスを含め98種のガスに対応。
±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確度で10msの高速応答。
超微少流量(0.5SCCM)から大流量(5000SLPM)までラインナップ。

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MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応）

MSシリーズ

MSシリーズ商品写真

標準のガス種に加え、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種に対応。
材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。
標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。

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MWシリーズ（低圧力損失タイプ）

MWシリーズ

MWシリーズ商品写真

標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。
超微少流量タイプではフルスケール時の損失が482Pa(0.07PSID)。
リークなど低圧アプリケーションに最適です。

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MQシリーズ（高圧タイプ）

MQシリーズ

MQシリーズ商品写真

最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。
標準タイプ同様98種のガスに対応。
耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。

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Pシリーズ（圧力計）

Pシリーズ

Pシリーズ商品写真

カタログ[英語版]

高速応答で安定性のある圧力制御。
アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。
±(0.25% FS) の高い圧力精度。

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MB/MBQ/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター）

MB/MBQ/MBS/MWB
シリーズ
MB/MBS/MWB/MBQシリーズ商品写真

MB/MBS/MWB/MBQシリーズ商品写真

カタログ[英語版]

持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーター。
フル充電で約18時間の稼動が可能。
MBシリーズは標準タイプ、MBSシリーズは腐食性ガス対応、MWBシリーズは低圧力損失タイプです。

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PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット）

PCUシリーズ

PCUシリーズ商品写真

ポータブルケースにマスフローメーターを搭載。
2本の9V形アルカリ電池で駆動。
持ち運びが容易な校正器としてお使いいただけます。

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