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ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローメーター ラインナップ



■ Mシリーズ(標準タイプ)
ALICAT マスフローメーター Mシリーズ

・標準タイプのマスフローメーター。混合ガスを含め98種のガスが測定可能。
・±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の精度、10msの高速応答。
・超微少流量(0.5SCCM)から大流量(5000SLPM)まで機種がラインナップ。

■ MSシリーズ(腐食性ガス/冷媒ガス対応)
ALICAT マスフローメーター MSシリーズ

・標準タイプで測定可能な98種類に加え、腐食性ガス/冷媒ガスを含め
 130種のガスが測定可能。
・材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。
・標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。

■ MWシリーズ(低圧力損失タイプ)
ALICAT マスフローメーター MWシリーズ(TFTカラー液晶タイプ

・標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。
・超微少流量タイプではフルスケール時の損失が414Pa(0.06PSID)。
・リークなどの低圧力のアプリケーションに最適です。


■ MB/MBS/MWBシリーズ(ポータブルマスフローメーター)
ALICAT マスフローメーター MWBシリーズ

・持ち運びに便利なバッテリー付きのポータブルマスフローメーター。
・フル充電で約18時間の稼動が可能。
・MBシリーズは標準タイプ、MBSシリーズは腐食性ガス対応、
 MWBシリーズは低圧力損失タイプです。

■ PCUシリーズ(ポータブルキャリブレーションユニット)
ポータブルキャリブレーションユニット

・ポータブルケースにマスフローメーターを搭載。
・9V型アルカリ電池で駆動。
・持ち運びが容易な校正器としてお使いいただけます。

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