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ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローコントローラー ラインアップ



■ MC/MCRシリーズ(標準タイプ)
マスフローコントローラー MCシリーズ

・標準タイプのマスフローコントローラー。混合ガスを含め98種のガスが
 制御/測定できます。
・±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の精度、100msの制御応答。
・積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。


■ MCS/MCRSシリーズ(腐食性ガス/冷媒ガス対応)
マスフローコントローラー MCSシリーズ

・標準タイプで測定可能な98種類に加え、腐食性ガス/冷媒ガスを含め
 128種のガスが制御/測定可能。
・材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。
・標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。


■ MCW/MCRWシリーズ(低圧力損失タイプ)
マスフローコントローラー MCWシリーズ(TFTカラー液晶タイプ)

・標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。
・超微少流量タイプではフルスケール時の損失が414Pa(0.06PSID)。
・流量レンジ比は200:1。流量は0.5SCCMから500SLPMタイプまで。


■ MCV/MCVSシリーズ(真空引き対応)
マスフローコントローラー MCVシリーズ

・シャットオフバルブを搭載した真空対応のマスフローコントローラー。
・接続部は溶接されたVCR継手。
・MCVSシリーズは腐食性ガスに対応します。


■ MCD/MCRDシリーズ(デュアルバルブ)
マスフローコントローラー MCDシリーズ

・バルブを2基搭載した双方向制御が可能なマスフローコントローラー。
・加圧や真空引きでの制御が可能。
・腐食性ガス対応タイプおよび低圧力損失タイプもラインアップ。


■マスフロー制御 Mass Flow (or Volumetric Flow) Control
マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ


■真空引き Inverse Mass Flow (or Volumetric Flow) Control with Vacuum
マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ


■双方向 Bidirectional Mass Flow (or Volumetric Flow) Control
マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ


■絶対圧制御 Flowing Absolute Pressure Control
マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ


■絶対圧制御 Dead-Ended Absolute Pressure Control
マスフローコントローラー MCD/MCRDシリーズ


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