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ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローコントローラー 特長



■ 多種多彩なガスが制御/測定可能
  • 混合ガスを含め98種類のガスに対応。また腐食性ガス/冷媒ガス対応機種は128種類のガスに対応。
  • ガスの選択はフロントのスイッチ操作で簡単選択。
  • また、登録されているガスから任意に混合ガスデータの作成も可能。
 

PURE NON-CORROSIVE GASES
C2H2アセチレンD2重水素Neネオン
Air 空気 C2H6 エタン N2 窒素
Ar アルゴン C2H4 エチレン N2O 亜酸化窒素
i-C4H10イソブタン He ヘリウム O2 酸素
n-C4H10ブタン H2 水素 C3H8 プロパン
CO2 二酸化炭素 Kr クリプトン SF6 六フッ化硫黄
CO 一酸化炭素 CH4 メタン Xe キセノン

PURE CORROSIVES (腐食性ガス) MCS/MCRSシリーズ
NH3 アンモニアtButenetrans-ブテン NF3三フッ化窒素
1Butene 1-ブテン COS 硫化カルボニル NO 一酸化窒素
cButene cis-2-ブテン CH3OCH3 ジメチルエーテル C3H6 プロピレン
iButene iso-ブテン H2S 硫化水素 SiH4 シラン

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■ 100ミリ秒の速い制御応答
  • ラミナーフロー方式により高速応答を実現。
  • 流量変化にすばやく追従し、指定流量へ短時間で制御。
  • 流量の設定はフロントスイッチで簡単操作。またアナログ入力、通信でも設定可能。

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■ ±(0.8% Reading +0.2% F.S.) の高い正確性
  • 精度の高い差圧センサーを搭載し、より正確な流量測定を実現。
  • さらに正確度の高い ±(0.4% Reading +0.2% F.S.) のご指定も可能です。
  • 繰り返し性 ±0.2% Full Scale により安定した流量を確認できます。

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■ 200:1の幅広い流量レンジ   ※MCS/MCRS/MCVSシリーズは100:1
  • 超微少流量の 0.5SCCM から大流量の 5000SLPM までラインアップ。
    (※MC/MCR/MS/MCRS/MCD/MCRDシリーズ)
  • 200:1 の流量レンジ比で 0.5SCCM は超微少の 0.0025mL/min から制御可能。
    (腐食ガス対応機種は 100:1)

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■ バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載
  • バックライト付きのモノクロ液晶を標準搭載。ボタン操作で簡単にON/OFFが行えます。
  • 画面中央に大きく測定値を表示。マスフローの他、設定流量や絶対圧、温度、体積流量も同時に確認できます。(※マスフローは体積流量を標準状態における値に換算したものです。)
  • より視認性の良いTFTカラー液晶や離れた場所でも確認できるリモートディスプレイもオプションで選択できます。
  

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■ アナログ出力/RS-232C通信を標準搭載
  • 標準で0-5VDC出力を搭載。マスフローをアナログ出力します。またオプションでアナログ第2出力も可能です。
  • 出力データはマスフローの他、体積流量、絶対圧、温度も可能。また、0-10VDC、1-5VDC、4-20mA出力もご指定できます。
  • RS-232C通信ではマスフロー、体積流量、絶対圧、温度、設定流量、測定ガス種を出力します。またオプションでRS-485も指定できます。

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■ オプション機能 (高温度/積算表示/防爆タイプなど)
  • 高温度オプションにより100℃までのガスが測定可能です。
  • 積算流量オプションをつけることにより積算流量表示が可能です。
  • 防爆仕様が可能です。(CSA規格およびATEX規格)
  • NPTめねじの接続口をVCRの溶接継手に変更が可能です。

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■ バッチ制御が可能 (積算表示オプション搭載機種)
  • 指定の流量に制御しながら目標の積算量に到達した時点で流量制御を止めます。
  • 目標の積算量はボタン操作で任意に設定が行えます。
  • 目標量に到達後、積算量をリセットすることで再度バッチ制御を開始します。


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■ 校正
  • 通常校正は20℃1atmですが、ご指示いただければ0℃1atmでの校正も可能です。
  • 実ガスによる校正も行っています。
    (※高精度校正となります。またレンジ、ガス種により対応できない場合がございます。)
  • 20℃1atmの校正であっても基準温度を変更することで、0℃1atmでの測定が可能です。

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■ 信頼性
  • 製品すべてにNISTトレーサブル検査成績書が付属します。
  • また、トレーサビリティ体系図の発行も可能です。


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